فرن أنبوبي
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع نظام مضخة توربينية جزيئية عالية التفريغ وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات
رقم العنصر: TU-83
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج


صُمم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لتطبيقات علوم المواد المتقدمة والأبحاث الصناعية التي تتطلب درجات حرارة قصوى وظروف جوية فائقة النقاء. من خلال دمج فرن أنبوبي من الألومينا بقدرة 1700 درجة مئوية مع محطة تفريغ توربينية جزيئية عالية الأداء ووحدة توصيل غاز دقيقة للتحكم في تدفق الكتلة، يوفر الجهاز حلاً جاهزًا لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) المعقدة، والانتشار، والتلبيد. يضمن التصميم القوي للباحثين تحقيق نتائج قابلة للتكرار بدرجة عالية مع الحفاظ على سلامة العينات الحساسة تحت مستوى تفريغ يصل إلى 10^-5 تور.
يستهدف هذا الجهاز تصنيع أشباه الموصلات، وتطوير الطيران، وهندسة السيراميك المتقدمة، حيث يسد الفجوة بين التجارب المختبرية والإنتاج التجريبي. تسمح بنيته متعددة الاستخدامات بالتحكم الدقيق في أنواع غازات متعددة، مما يجعله أداة أساسية لإنشاء الأغشية الرقيقة، والأسلاك النانوية، والمواد ثنائية الأبعاد المعقدة. يتم تركيب المجموعة بأكملها على عربة متنقلة للخدمة الشاقة، مما يسمح بسهولة النقل والتكامل السلس في الغرف النظيفة أو مساحات العمل المختبرية الحالية دون الحاجة إلى تركيبات دائمة معقدة.
تعتبر الموثوقية جوهر تصميم هذا الفرن. باستخدام عناصر تسخين من ثنائي سيليسيد الموليبدينوم (MoSi2) عالية الجودة وغرفة حرارية من الألومينا عالية النقاء، تم بناء النظام لتحمل الدورات الحرارية الصارمة المطلوبة في البحث والتطوير الصناعي. يضمن تضمين غلاف فولاذي مزدوج الطبقة مع تبريد مروحي مدمج بقاء درجات حرارة السطح الخارجية آمنة للمشغلين حتى أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية. هذا التركيز على السلامة، إلى جانب التحكم الدقيق في PID ومكونات التفريغ ذات الهندسة الألمانية، يوفر الاتساق التشغيلي طويل الأمد الذي تطلبه فرق المشتريات المهنية والباحثون الرئيسيون.
الميزات الرئيسية
- نطاق حراري استثنائي: يحقق هذا النظام درجة حرارة تسخين قصوى تبلغ 1650 درجة مئوية مع درجة حرارة عمل مستمرة تبلغ 1600 درجة مئوية، مدعومًا بثمانية عناصر تسخين MoSi2 عالية الجودة موضوعة خصيصًا لتحقيق التوحيد الحراري الأمثل.
- تكامل التفريغ العالي للغاية: مجهز بمضخة توربينية جزيئية أصلية من Pfeiffer، يصل النظام إلى ضغط نهائي أقل من 1E-7 ملي بار، مما يسهل بيئة خالية من الأكسجين ضرورية لتخليق المواد عالية النقاء والعمليات الحساسة للتلوث.
- التحكم الدقيق في تدفق الكتلة: تتميز محطة خلط الغاز المتكاملة بـ 2 إلى 4 قنوات من وحدات التحكم الرقمية في تدفق الكتلة (MFC)، مما يسمح بالتوصيل الدقيق لغازات العمليات مثل النيتروجين أو الهيليوم أو الهيدروجين مع تكرار عالٍ وإشراف عبر شاشة اللمس الرقمية.
- منطق تحكم PID متقدم: يستخدم جهاز التحكم في درجة الحرارة نظام مقاومة يعمل بزاوية الطور ومحدد للتيار مع 30 مقطعًا قابلاً للبرمجة، مما يحافظ على دقة ±1 درجة مئوية عبر منحنى التسخين بالكامل.
- هندسة غرفة قوية: يستخدم الفرن أنبوب معالجة من الألومينا عالي النقاء بقطر خارجي 60 مم وغرفة حرارية من الألومينا عالية النقاء لتقليل الفقد الحراري ومنع التلوث الكيميائي المتبادل أثناء دورات الحرارة العالية.
- إدارة ذكية للتفريغ: تتميز محطة التفريغ العالي بتشغيل بضغطة زر واحدة للمضخة الغشائية والمضخة التوربينية، مع سرعات دوران يتم التحكم فيها بواسطة النظام والتي تتكيف تلقائيًا بناءً على مستوى التفريغ ومعدلات التسرب.
- بروتوكولات سلامة محسنة: تراقب آلية الحماية الذاتية المدمجة حالات السخونة الزائدة والتيار الزائد، مما يؤدي إلى إبطاء التوربين أو إيقافه تلقائيًا إذا تجاوزت معدلات التسرب عتبات التشغيل الآمن لمنع تلف المضخة.
- خيارات واجهة مرنة: يتضمن النظام منفذ اتصال RS485 وهو متوافق مع مجموعات برمجيات متقدمة للتحكم عن بعد عبر الكمبيوتر، وتكامل LabVIEW، وتسجيل البيانات الشامل لتدقيق ضمان الجودة.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) | تخليق الأغشية الرقيقة والمواد النانوية مثل الجرافين أو أنابيب الكربون النانوية باستخدام سلائف غازية خاضعة للتحكم. | التحكم الدقيق في نسب الغاز يضمن توحيد الفيلم وهياكل شبكية عالية الجودة. |
| تطعيم أشباه الموصلات | إدخال الشوائب في رقائق أشباه الموصلات عند درجات حرارة عالية لتعديل الخصائص الكهربائية. | سلامة التفريغ العالي تمنع الأكسدة غير المقصودة أو تلوث ركيزة أشباه الموصلات. |
| تلبيد السيراميك | دمج مساحيق السيراميك المضغوطة في مكونات هيكلية كثيفة وعالية القوة عند درجات حرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية. | المناطق الحرارية المستقرة وأنابيب الألومينا عالية النقاء تمنع الشوائب من إضعاف مصفوفة السيراميك. |
| اختبار سبائك الطيران | تعريض السبائك المتقدمة لبيئات حرارية قاسية تحت التفريغ لمحاكاة ظروف الارتفاعات العالية أو الفضاء. | التحكم الدقيق في رفع درجة الحرارة واستقرار التفريغ يحاكي البيئات القاسية التي تتم مواجهتها في الطيران المداري. |
| ميتالورجيا المساحيق | المعالجة الحرارية لمساحيق المعادن لإنشاء أجزاء معقدة من خلال الترابط في الحالة الصلبة دون الوصول إلى نقطة الانصهار. | بيئة التفريغ تقضي على الغازات الجوية التي تسبب الهشاشة أو الأكسدة السطحية في المعادن التفاعلية. |
| تلدين البصريات | تخفيف الضغوط الداخلية في الزجاج البصري المتخصص أو البلورات من خلال مراحل تبريد بطيئة ومتحكم فيها. | يسمح جهاز التحكم PID القابل للبرمجة بـ 30 خطوة بمعدلات تبريد دقيقة للغاية لمنع الصدمات الحرارية. |
المواصفات الفنية
مواصفات الفرن الأساسية (TU-83)
| المعلمة | التفاصيل الفنية |
|---|---|
| عناصر التسخين | 8 قطع من ثنائي سيليسيد الموليبدينوم (MoSi2) بدرجة 1800 درجة مئوية |
| درجة الحرارة القصوى | 1650 درجة مئوية |
| درجة حرارة العمل المستمرة | 1600 درجة مئوية |
| أنبوب المعالجة القياسي | ألومينا عالية النقاء، قطر خارجي 60 مم × طول 1000 مم |
| طول منطقة التسخين | 457 مم (18 بوصة) |
| منطقة درجة الحرارة الثابتة | 150 مم (6 بوصات) بدقة ±1 درجة مئوية |
| معدل التسخين | ≤ 5 درجات مئوية/دقيقة |
| دقة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية |
| نوع المزدوجة الحرارية | النوع B (بلاتين-روديوم) |
| استهلاك الطاقة | 6.0 كيلو واط |
| جهد الإدخال | تيار متردد 208-240 فولت أحادي الطور، 50/60 هرتز |
| أبعاد الفرن | 550 × 380 × 520 مم |
مواصفات محطة التفريغ العالي
| المعلمة | التفاصيل الفنية |
|---|---|
| الشركة المصنعة للمضخة | Pfeiffer Vacuum (ألمانيا) |
| معدل تدفق النيتروجين | 33 لتر/ثانية |
| الضغط النهائي | <1E-8 ملي بار (حالة خالية من التسرب) |
| نطاق العمل | 1000 ملي بار إلى <1E-7 ملي بار |
| واجهة التحكم | رقمية LCD مع وظيفة التشغيل/الإيقاف بضغطة زر واحدة |
| أنظمة الحماية | حماية ذاتية من السخونة الزائدة والتيار الزائد |
| أبعاد العربة | 600 (طول) × 600 (عرض) × 700 (ارتفاع) مم |
| مقياس التفريغ | مستشعر رقمي مع مراقبة الضغط في الوقت الفعلي |
نظام التحكم في تدفق الغاز (MFC)
| المعلمة | التفاصيل الفنية |
|---|---|
| عدد القنوات | قناتان (قياسي)، حتى 4 قنوات (اختياري) |
| مادة الصمام | فولاذ مقاوم للصدأ 316 |
| حجم خزان الخلط | Φ80 × 120 مم |
| حد معدل التدفق | < 200 SCCM (التكوين القياسي) |
| واجهة التحكم | شاشة لمس ملونة مقاس 6 بوصات مع وضع تبديل عن بعد عبر الكمبيوتر |
| صمامات الأمان | صمامات إبرة دقيقة ومقاييس ضغط ميكانيكية متضمنة |
لماذا تختار هذا النظام عالي الحرارة
يمثل هذا الحل المتكامل استثمارًا كبيرًا في القدرة المختبرية، حيث يوفر مستوى من الدقة والموثوقية لا يمكن للمكونات المستقلة مطابقته. من خلال وضع الفرن ومحطة التفريغ ووحدة خلط الغاز في منصة متنقلة واحدة مصممة هندسيًا، يلغي النظام استكشاف الأخطاء وإصلاحها المعقد الذي يرتبط غالبًا بالإعدادات متعددة الموردين. يضمن استخدام مكونات متميزة، مثل مضخة Pfeiffer التوربينية الجزيئية الألمانية وعناصر MoSi2 عالية الجودة، أن يحافظ النظام على الاتساق التشغيلي على مدى سنوات من الاستخدام المكثف في بيئات البحث والتطوير الصناعية.
علاوة على ذلك، تم تصميم النظام مع مراعاة القابلية للتوسع والتخصيص. سواء كنت بحاجة إلى قنوات غاز إضافية لعمليات CVD معقدة متعددة السلائف أو أجهزة تحكم في درجة الحرارة مطورة من Eurotherm لتوافق LabVIEW، فإن هذه البنية تتكيف مع متطلبات بحثك المحددة. يوفر التصميم المعتمد من CE وخيار الحصول على شهادة NRTL/UL/CSA لفرق المشتريات الثقة بأن هذا الجهاز يلبي أعلى معايير السلامة والجودة الدولية. هذا ليس مجرد فرن، بل بيئة معالجة حرارية كاملة مصممة لأكثر تحديات علوم المواد تطلبًا.
يرجى الاتصال بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم للحصول على عرض أسعار مفصل أو لمناقشة تكوين مخصص مصمم خصيصًا لمتطلبات بحثك المحددة.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي مكتبي عالي الحرارة 1700°C مع منطقة تسخين بطول 5 بوصات وأنبوب ألومينا عالي النقاء وأطراف إحكام بالفراغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي عالي الحرارة 1700°C بمنطقة تسخين بطول خمس بوصات وأنبوب ألومينا للأبحاث المتقدمة في المواد. حقّق تحكمًا دقيقًا في الجو ومستويات فراغ تصل إلى 50 ملي تور للتلبيد والتلدين والترسيب الكيميائي بالبخار.
فرن أنبوبي من الألومينا بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية مع منطقة تسخين 18 بوصة وحواف إغلاق مفرغة من الهواء
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الاحترافي بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية بمنطقة تسخين بطول ثماني عشرة بوصة وأنابيب ألومينا عالية النقاء لأبحاث المواد المتقدمة. صُمم للعمل تحت التفريغ والأجواء الخاضعة للتحكم، ويوفر استقراراً حرارياً وموثوقية استثنائية لعمليات المختبرات الصناعية الصعبة.
فرن أنبوبي عمودي بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية لكروية المساحيق وتلبيد المواد
يُحسّن نظام الفرن الأنبوبي العمودي هذا بسعة 1700 درجة مئوية عملية كروية المساحيق لأقطاب البطاريات والطباعة ثلاثية الأبعاد. بفضل الم feeder الآلي والتحكم ثنائي المناطق، يضمن الوحدة معالجة عالية النقاء تحت ظروف فراغ أو أجواء مضبوطة لتطبيقات ممتازة في أبحاث المواد الصناعية.
فرن أنبوب منقسم عالي الحرارة 1700°م بست مناطق مع أنبوب من الألومينا وشفاه مبردة بالماء
فرن أنبوب منقسم دقيق بست مناطق بقدرة 1700°م، مصمم لأبحاث المواد وتطبيقات الترسيب البخاري الصناعي. يوفر هذا النظام متعدد الاستخدامات تحكمًا مستقلاً في مناطق الحرارة وشفاهًا جاهزة للتفريغ لضمان المعالجة الحرارية المتسقة ومتطلبات تطوير المواد المتقدمة، بما يضمن أقصى أداء.
فرن أنبوب عمودي قابل للفتح 0-1700 درجة مئوية نظام مختبر عالي الحرارة لمعالجة CVD والمعالجة الحرارية الفراغية
مصمم لأبحاث المواد المتقدمة، يتميز هذا الفرن الأنبوبي العمودي القابل للفتح بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية بتسخين دقيق ثلاثي المناطق وقدرات تبريد سريع. مثالي لعمليات CVD والتبييض الفراغي، ويوفر موثوقية على مستوى صناعي، وتحكمًا في الغلاف الجوي، ومرونة معيارية لبيئات البحث والتطوير المتطلبة.
فرن أنبوبي للغلاف الجوي بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1800 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية الدقيقة بالتلبيد الفراغي
حقق معالجة حرارية دقيقة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ذو درجة الحرارة العالية (1800 درجة مئوية) الذي يتميز بعناصر تسخين MoSi2 من فئة 1900 ونظام تحكم Shimaden PID. صُمم خصيصاً لتجارب الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلدين الفراغي، وتلبيد الغلاف الجوي في أبحاث علوم المواد المتقدمة أو مختبرات البحث والتطوير الصناعية.
فرن هجين عالي الحرارة (موفل وأنبوبي) 1700 درجة مئوية، نظام صندوقي بتحكم رقمي PID قابل للبرمجة مع حواف تفريغ وأنبوب معالجة من الألومينا
قم بتحسين مساحة مختبرك باستخدام هذا الفرن الهجين متعدد الاستخدامات الذي يعمل بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية، والذي يجمع بين قدرات الفرن الصندوقي والفرن الأنبوبي. يتميز بتحكم قابل للبرمجة بـ 30 مرحلة وتوافق مع التفريغ العالي، مما يجعله الحل الأمثل للمعالجة الحرارية الدقيقة في بيئات البحث والتطوير في علوم المواد المتطلبة.
فرن أنبوبي عمودي يعمل بالتفريغ والجو المتحكم فيه بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا 80 مم
يوفر هذا الفرن الأنبوبي العمودي عالي الدقة تجانساً حرارياً استثنائياً يصل إلى 1700 درجة مئوية لتخليق المواد. يتميز بأنبوب ألومينا بقطر 80 مم وحواف إغلاق متطورة للتفريغ، مما يوفر جواً مستقراً لعمليات البحث والتطوير الصناعية المتطلبة والمعالجات الحرارية المتخصصة.
فرن أنبوبي عمودي منقسم عالي الحرارة 1700 درجة مئوية لتبريد المواد ونمو البلورات الأحادية
يوفر هذا الفرن الأنبوبي العمودي المنقسم المتطور بقدرة 1700 درجة مئوية معالجة حرارية دقيقة لتبريد المواد ونمو البلورات الأحادية. تم تصميم النظام لتميز البحث والتطوير، ويتميز بتوافق مع الفراغ وتحكم PID للحصول على نتائج موثوقة وقابلة للتكرار في بيئات مختبرات الأبحاث الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع صمامات حواف تفريغ وأنبوب ألومينا 60 مم
حقق دقة عالية في معالجة المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم الذي يصل إلى 1700 درجة مئوية، والمزود بأنابيب ألومينا مقاس 60 مم وحواف تفريغ (Vacuum Flanges). مثالي لتطبيقات البحث والتطوير التي تتطلب تحكماً دقيقاً في الجو المحيط، وبرمجة PID متقدمة، ومعالجة حرارية موثوقة وعالية النقاء في بيئات المختبرات المتطلبة.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا وحواف مبردة بالماء
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المتقدم ثلاثي المناطق عالي الحرارة معالجة حرارية دقيقة تصل إلى 1700 درجة مئوية وتحكماً في الغلاف الجوي. يُعد النظام مثالياً لأبحاث أشباه الموصلات، وعلم المعادن المتقدم، وتلبيد السيراميك، حيث يوفر تجانساً فائقاً عبر وحدات تحكم PID مستقلة لدرجة الحرارة.
فرن أنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفة منزلقة لأنظمة CVD
يتميز هذا الفرن الأنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفات منزلقة لتحميل العينات بسرعة وتوافق مع الفراغ العالي. تم تصميمه لعمليات CVD الدقيقة وأبحاث المواد المتقدمة، ويقدم أداءً موثوقًا بشكل استثنائي في البيئات المختبرية المتطلبة.
فرن أنبوبي فراغي جوي مخبري عالي الحرارة 1750 درجة مئوية مع عناصر تسخين Kanthal Super 1800 وأنبوب معالجة من الألومينا بقطر 60 مم
فرن أنبوبي فراغي عالي الأداء بدرجة حرارة 1750 درجة مئوية يتميز بعناصر تسخين Kanthal Super-1800 وأنابيب ألومينا عالية النقاء. مثالي لأبحاث المواد الدقيقة، يوفر هذا النظام دقة تبلغ ±1 درجة مئوية وتحكمًا قابلاً للبرمجة بـ 30 مرحلة للمعالجة الحرارية المختبرية المتطلبة والتلبيد تحت جو محكوم.
فرن أنبوبي دوار مزدوج المنطقة عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع تسخين بكربيد السيليكون لتصنيع المواد المتقدمة
حسّن عمليات المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار عالي الدقة ذي المنطقتين. يتميز بدرجات حرارة قصوى تصل إلى 1500 درجة مئوية وعناصر تسخين متطورة من كربيد السيليكون (SiC)، مما يضمن نتائج موحدة للبحث والتطوير الصناعي، والترسيب الكيميائي للبخار، وتطبيقات علوم المواد المتطورة في المختبرات العالمية.
فرن أنبوبي مفرغ مدمج عالي الحرارة 1800 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا بقطر خارجي 60 مم وعناصر تسخين Kanthal MoSi2
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المفرغ المدمج عالي الحرارة (1800 درجة مئوية) بعناصر تسخين Kanthal ممتازة وأنبوب ألومينا بقطر خارجي 60 مم. صُمم لأبحاث المواد وعمليات التلبيد، ويوفر معالجة حرارية دقيقة تحت ظروف الفراغ أو الجو المتحكم فيه لأغراض البحث والتطوير المختبري.
فرن أنبوبي مفرغ مزدوج المنطقة عالي الحرارة لأبحاث المواد وعمليات CVD
عزّز قدرات مختبرك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المفرغ مزدوج المنطقة عالي الدقة. صُمم لأبحاث المواد المتقدمة وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، ويتميز بتحكم مستقل في درجة الحرارة، ومعدلات تسخين سريعة، وإحكام تفريغ متين لتحقيق نتائج معالجة حرارية صناعية متسقة.
فرن عمودي عالي الحرارة ومتحكم في الغلاف الجوي مع تحميل سفلي أوتوماتيكي وقدرة تصل إلى 1700 درجة مئوية لأبحاث المواد المتقدمة
فرن عمودي متطور للتحكم في الغلاف الجوي يصل إلى 1700 درجة مئوية، يتميز بتحميل سفلي آلي وقدرة على العمل تحت الفراغ. صُمم هذا النظام عالي النقاء بدقة لعمليات التلبيد والتلدين، ويشمل غرفاً مبردة بالماء ونظام تحكم Eurotherm PID لتلبية احتياجات البحث والتطوير الصناعي الصارمة.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1500 درجة مئوية لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية تحت التفريغ والجو المتحكم فيه
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الحرارة (1500 درجة مئوية) معالجة حرارية دقيقة لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات التلبيد الصناعي، ويتميز بهيكل مزدوج الغلاف، ونظام تحكم PID مدمج، وشفاه من الفولاذ المقاوم للصدأ جاهزة للتفريغ لضمان أداء موثوق في المختبرات المتطلبة.
فرن أنبوبي مدمج عالي الحرارة 1600 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا 50 مم وحواف تفريغ لتلبيد المواد
عزز قدرات مختبرك مع هذا الفرن الأنبوبي المدمج عالي الحرارة (1600 درجة مئوية) الذي يتميز بأنبوب ألومينا بقطر 50 مم وحواف تفريغ. مثالي لتلبيد المواد والبحوث الكيميائية، حيث يوفر معالجة حرارية دقيقة وموثوقية استثنائية لتطبيقات البحث والتطوير الصناعية.
فرن أنبوبي كوارتز بقطر كبير 1100 درجة مئوية مع منطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء
يتميز فرن أنبوب الكوارتز ذو القطر الكبير بقدرة 1100 درجة مئوية بمنطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء لمعالجة دقيقة بتقنية CVD. مثالي لأبحاث المواد والبحث والتطوير الصناعي، ويوفر استقراراً حرارياً استثنائياً وأداءً حرارياً قوياً.