فرن RTP
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع حواف انزلاقية وقطر خارجي 50 مم للمعالجة الحرارية السريعة تسخين وتبريد سريع
رقم العنصر: TU-RT03
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الحرارة هذا خصيصًا لسد الفجوة بين الأفران الأنبوبية التقليدية ووحدات المعالجة الحرارية السريعة (RTP). من خلال دمج آلية سكك انزلاقية يدوية مع غرفة تسخين عالية الأداء بدرجة 1500°م، يسمح هذا الجهاز للباحثين بنقل أنابيب المعالجة إلى منطقة الحرارة العالية والخروج منها فورياً. هذه القدرة حاسمة لتطبيقات علوم المواد حيث يعتمد التحكم في البنية المجهرية على معدلات تسخين وتبريد دقيقة تتجاوز قدرات الأنظمة الحرارية الثابتة. تكمن القيمة المقترحة في قدرته على تحقيق تدرجات حرارية قصوى بتكلفة جزء بسيط من تكلفة أنظمة المعالجة الحرارية السريعة الآلية، مما يوفر أداة متعددة الاستخدامات لتخليق المواد المتقدمة.
تشمل حالات الاستخدام الأساسية لهذا الجهاز تطوير إلكتروليتات الحالة الصلبة، وتهيئة أشباه الموصلات، ودراسة تحولات الطور في السيراميك المتقدم. تتراوح الصناعات المستهدفة من الفضاء الجوي وتخزين الطاقة إلى الإلكترونيات الدقيقة والمختبرات الصناعية للبحث والتطوير. يعطي تصميم الوحدة الأولوية للمرونة، حيث يدعم كل من أنابيب الموليت والكوارتز لاستيعاب متطلبات الأجواء ودرجات الحرارة المختلفة. من خلال تمكين الإدخال السريع في غرفة مسخنة مسبقًا أو الاستخراج الفوري للتبريد بالهواء القسري، يوفر هذا النظام الرشاقة التشغيلية المطلوبة لسير العمل التجريبي التكراري.
يُدعم الثقة بهذا الجهاز من خلال بنيته القوية ومكوناته عالية الجودة. باستخدام عناصر تسخين من كربيد السيليكون (SiC) من درجة 1500°م ومزدوجة من المحرارات الكهربائية من النوع S، يضمن الجهاز أداءً متسقًا تحت دورات حرارية متطلبة. يضمن تضمين سكة مزدوجة منزلقة مصنوعة من الفولاذ المطلي بالكروم حركة سلسة وموثوقة على المدى الطويل. سواء كان التشغيل تحت تفريغ عالٍ أو في أجواء غاز خامل، يقدم هذا الفرن الدقة والموثوقية اللازمتين للبحث الصناعي عالي المخاطر وإنتاج المواد الحساسة للجودة.
الميزات الرئيسية
- قدرة المعالجة الحرارية السريعة: تسمح السكة المنزلقة المدمجة بنقل أنبوب المعالجة يدويًا إلى فرن مسخن مسبقًا لتسخين شبه فوري أو سحبه لتسريع التبريد، مما يقلل بشكل كبير من أوقات الدورة.
- إدارة ثنائية المتحكم لدرجة الحرارة: يدير متحكمان رقميان مستقلان لدرجة الحرارة مع 30 مقطعًا قابلًا للبرمجة درجة حرارة الفرن ويراقبان الملف الشخصي للعينة في الوقت الفعلي، مما يضمن أقصى شفافية للعملية.
- عناصر تسخين SiC دقيقة: مجهز بأربع قضبان عالية الجودة من كربيد السيليكون 1500°م، يوفر الفرن طاقة حرارية موثوقة ومستقلة للعمليات المستمرة حتى 1400°م والاستخدام المتقطع عند 1500°م.
- تقنية ختم تفريغ متقدمة: مع وجود حواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مزودة بمقاييس رقمية مدمجة، يمكن للنظام تحقيق مستويات تفريغ تصل إلى 10E-5 تور عند إقرانه بمضخة جزيئية، مما يجعله مثاليًا للعمليات الحساسة للأكسجين.
- أنابيب معالجة قابلة للتبديل: يتضمن الجهاز أنابيب موليت من صنع الولايات المتحدة وأنابيب كوارتز عالية النقاء، مما يسمح للمستخدمين باختيار المادة المثلى لاحتياجاتهم المحددة من درجة الحرارة والتوافق الكيميائي.
- تغذية راجعة حرارية في الوقت الفعلي: يتم استكمال المحرار الكهربائي الداخلي من النوع S بمسبار ثانوي يُدخل مباشرة في الأنبوب، مما يوفر قراءة دقيقة 1:1 للبيئة الحرارية الفعلية للعينة.
- سكة انزلاقية من الدرجة الصناعية: يوفر نظام السكة المزدوجة المصنوعة من الفولاذ المطلي بالكروم بطول 350 مم واجهة ميكانيكية مستقرة وسلسة للتحريك اليدوي للأنبوب أثناء التحولات الحرارية عالية السرعة.
- واجهة تحكم محوسبة: يسمح منفذ RS485 المدمج بالتكامل الكامل للنظام مع برامج المختبر، مما يتيح تسجيل البيانات الآلي والإدارة عن بعد للوصفات الحرارية المعقدة.
- هندسة أمان محسنة: تتيح إنذارات ارتفاع درجة الحرارة المدمجة ودوائر الحماية التلقائية للنظام التشغيل بأمان دون إشراف مستمر، لحماية كل من الجهاز والعينة.
- منطقة ثابتة لدرجة الحرارة محسنة: توفر هندسة منطقة التسخين منطقة مستقرة طولها 100 مم ضمن ±1°م، مما يضمن توزيعًا حراريًا موحدًا على طول العينة بأكملها.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| إلكتروليتات الحالة الصلبة | تحضير مسحوق إلكتروليت الحالة الصلبة LPS باستخدام تقنيات التبريد السريع. | يعزز التوصيل الأيوني من خلال التحكم في أطوار التبلور أثناء التبريد. |
| تهيئة أشباه الموصلات | التهيئة الحرارية السريعة لرقائق السليكون أو أشباه الموصلات المركبة تحت أجواء مسيطر عليها. | يقلل من انتشار الشوائب مع تنشيط الأنواع المزروعة بالأيونات بكفاءة. |
| تصليد السيراميك | تصليد بدورات سريعة للسيراميك التقني المتقدم للحد من نمو الحبيبات. | ينتج مكونات سيراميكية عالية الكثافة ذات خواص ميكانيكية فائقة. |
| تحول الطور | دراسة تأثيرات التبريد المفاجئ السريع على البنى المجهرية المعدنية والسبائكية. | يسمح بالتقاط الأطوار شبه المستقرة من خلال معدلات تبريد عالية. |
| أبحاث CVD / PECVD | يعمل كقاعدة حرارية لتجارب الترسيب الكيميائي للبخار. | يوفر بيئة تفريغ عالٍ مستقرة لنمو الأغشية الرقيقة الدقيقة. |
| نمو المواد النانوية | تخليق أنابيب الكربون النانوية أو الأسلاك النانوية التي تتطلب تسخينًا دقيقًا لدرجة الحرارة. | تسهل معدلات التسخين العالية تحكمًا أفضل في حركية التكون والنمو. |
| اختبار المحفزات | اختبار الثبات الحراري وفعالية المحفزات تحت دورات عالية السرعة. | يسرع اختبارات التقادم من خلال تقصير الوقت بين المراحل الحرارية. |
المواصفات الفنية
| الميزة | تفاصيل المواصفات لـ TU-RT03 |
|---|---|
| رقم الموديل | TU-RT03 |
| هيكل الفرن | حافة انزلاقية مفردة على الجانب الأيمن؛ سكة يدوية لنقل الأنبوب؛ مقياس تفريغ رقمي مدمج |
| أداء التفريغ | 10E-5 تور (مضخة تربينية)؛ 10E-2 تور (مضخة ميكانيكية) |
| القدرة الكهربائية | 2.5 كيلوواط (يتطلب قاطع 20 أمبير) |
| جهد الدخل | تيار متردد أحادي الطور 208-240 فولت، 50/60 هرتز |
| أقصى درجة حرارة | 1500°م |
| درجة حرارة العمل المستمر | 1400°م (مع أنبوب موليت) |
| دقة درجة الحرارة | ± 1°م |
| طول منطقة التسخين | 6 بوصة (152 مم) |
| منطقة درجة الحرارة الثابتة | 100 مم (±1°م) ضمن مدى 800 - 1500°م |
| عناصر التسخين | 4 قطع من قضبان SiC درجة 1500°م |
| المحرارات الكهربائية | مزدوج من النوع S (واحد للتحكم في الفرن، واحد لمراقبة العينة) |
| متحكمات درجة الحرارة | متحكمان رقميان قابلان للبرمجة بمقاطع 30 مع منفذ RS485 |
| مواصفات أنبوب الموليت | قطر خارجي 50 مم × قطر داخلي 44 مم × طول 304.8 مم؛ أقصى 1500°م (هواء) / 1300°م (تفريغ) |
| مواصفات أنبوب الكوارتز | قطر خارجي 50 مم × قطر داخلي 44 مم × طول 304.8 مم؛ أقصى 1200°م (هواء) / 1000°م (تفريغ) |
| نوع السكة المنزلقة | سكة مزدوجة من الفولاذ المطلي بالكروم؛ طول انزلاق 350 مم |
| معدل التسخين (الموليت) | 10°م/ثانية (من درجة حرارة الغرفة إلى 800°م)؛ 7°م/ثانية (800-1000°م)؛ 1.5°م/ثانية (1200-1300°م) |
| معدل التبريد (الموليت) | 14°م/ثانية (1350-1000°م)؛ 7°م/ثانية (1000-800°م)؛ 2.5°م/ثانية (500-400°م) |
| معدل التسخين (الكوارتز) | 30°م/ثانية (من درجة حرارة الغرفة إلى 500°م)؛ 12°م/ثانية (500-800°م)؛ 1°م/ثانية (1000-1100°م) |
| معدل التبريد (الكوارتز) | 16°م/ثانية (1100-800°م)؛ 9°م/ثانية (800-600°م)؛ 2.5°م/ثانية (400-300°م) |
| المطابقة | معتمد CE؛ NRTL/CSA متاح عند الطلب |
لماذا تختارنا
- رشاقة حرارية لا مثيل لها: يوفر التصميم المنزلق اليدوي بديلاً فعال التكلفة لأنظمة المعالجة الحرارية السريعة الآلية باهظة الثمن، مع تقديم معدلات تبريد تصل إلى 16°م/ثانية وتسخين يصل إلى 30°م/ثانية لفحص المواد السريع.
- هندسة ومراقبة دقيقة: مع محرارين كهربائيين مزدوجين من النوع S ومتحكمين مستقلين، يلغي هذا النظام التخمين من خلال توفير بيانات في الوقت الفعلي لكل من بيئة الفرن وظروف الأنبوب الداخلية.
- تفريغ عالٍ ومعالجة نظيفة: تتيح تقنية الختم من الفولاذ المقاوم للصدأ والمراقبة الرقمية معالجة فائقة النظافة تصل إلى 10E-5 تور، وهو أمر أساسي لأبحاث أشباه الموصلات والإلكتروليت عالية النقاء.
- بناء صناعي متين: مصمم بأسطح من الفولاذ المطلي بالكروم وعناصر SiC عالية الجودة، صُمم هذا النظام للدوام والأداء المتسق في بيئات البحث والتطوير المكثفة على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع.
- توافق متعدد الاستخدامات للمواد: يضمن تضمين كل من أنابيب الموليت عالية الحرارة وأنابيب الكوارتز عالية النقاء أن النظام جاهز لمجموعة واسعة من المتطلبات الكيميائية والحرارية مباشرة بعد الفتح.
يضمن الاستثمار في نظام المعالجة الحرارية السريعة هذا أن يكون لدى مختبرك السرعة والدقة المطلوبتين لتطوير المواد من الجيل القادم. اتصل بفريق المبيعات الفني لدينا اليوم للحصول على عرض مفصل أو لمناقشة تكوين مخصص يتناسب مع معايير بحثك المحددة.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي منزلق بحد أقصى 1200 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي 80 مم وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية السريعة والتسخين والتبريد السريع
حقق معالجة حرارية سريعة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق الذي تصل حرارته إلى 1200 درجة مئوية. يتميز بأنبوب كوارتز بقطر خارجي 80 مم وآلية انزلاق يدوية، ويوفر معدلات تسخين وتبريد استثنائية تصل إلى 100 درجة مئوية في الدقيقة لأبحاث المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي منزلق للمعالجة الحرارية السريعة مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصة وتسخين بالأشعة تحت الحمراء حتى 900 درجة مئوية
قم بتحسين عمليات تصنيع المواد باستخدام فرن المعالجة الحرارية السريعة (RTP) المنزلق الذي يصل إلى 900 درجة مئوية. صُمم هذا الفرن للتسخين السريع بالأشعة تحت الحمراء بمعدل 50 درجة مئوية/ثانية مع تبريد آلي، مما يوفر تحكماً دقيقاً لأبحاث الجرافين، وأنابيب الكربون النانوية، وخلايا البيروفسكايت الشمسية.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1500 درجة مئوية لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية تحت التفريغ والجو المتحكم فيه
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الحرارة (1500 درجة مئوية) معالجة حرارية دقيقة لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات التلبيد الصناعي، ويتميز بهيكل مزدوج الغلاف، ونظام تحكم PID مدمج، وشفاه من الفولاذ المقاوم للصدأ جاهزة للتفريغ لضمان أداء موثوق في المختبرات المتطلبة.
فرن أنبوبي منزلق عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مقاس 5 بوصات للمعالجة الحرارية السريعة (RTP) وتلدين الرقائق
سرّع أبحاث المواد الخاصة بك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية والمصمم للمعالجة الحرارية السريعة. يتميز بأنبوب كوارتز مقاس 5 بوصات ووحدات تحكم PID مزدوجة، مما يوفر معدلات تسخين وتبريد دقيقة لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة.
فرن أنبوبي دوار مزدوج المنطقة عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع تسخين بكربيد السيليكون لتصنيع المواد المتقدمة
حسّن عمليات المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار عالي الدقة ذي المنطقتين. يتميز بدرجات حرارة قصوى تصل إلى 1500 درجة مئوية وعناصر تسخين متطورة من كربيد السيليكون (SiC)، مما يضمن نتائج موحدة للبحث والتطوير الصناعي، والترسيب الكيميائي للبخار، وتطبيقات علوم المواد المتطورة في المختبرات العالمية.
فرن أنبوبي منقسم بدرجة 1500°C مع أنبوب ألومينا وشفاه إحكام تفريغ لأبحاث المواد
حسّن البحث والتطوير باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنقسم الفاخر بدرجة 1500°C والمزود بعناصر تسخين SiC وتحكم PID دقيق. مثالي للمعالجة في الفراغ أو في أجواء مضبوطة، ويوفر تجانسًا حراريًا ممتازًا وإمكانية وصول سريعة إلى العينة لتطبيقات أبحاث علوم المواد المتطلبة.
فرن دثر وأنبوبي هجين عالي الحرارة بقدرة 1500 درجة مئوية مع مجموعة حافة تفريغ الهواء
فرن هجين متطور بقدرة 1500 درجة مئوية يدمج بين وظائف الفرن الصندوقي والأنبوبي. يتميز بغرفة بحجم 6×6×6 بوصة وأنبوب موليت مقاس 2 بوصة مع حواف تفريغ الهواء، ويوفر هذا النظام تحكماً دقيقاً بنظام PID وعزلاً فائقاً بالألومينا لأبحاث المواد عالية الحرارة وتطبيقات البحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي منزلق للمعالجة الحرارية السريعة بدرجة حرارة قصوى 900 درجة مئوية مع تسخين سريع بالأشعة تحت الحمراء وأنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصات
عزز كفاءة البحث والتطوير إلى أقصى حد مع هذا الفرن الأنبوبي المنزلق للمعالجة الحرارية السريعة بدرجة حرارة 900 درجة مئوية، الذي يتميز بتسخين سريع بالأشعة تحت الحمراء، ومعدلات ارتفاع درجة الحرارة 50 درجة مئوية في الثانية، وتبريد آلي لنمو الجرافين، وتصنيع الأنابيب النانوية الكربونية، وتبريد متقدم لرقائق أشباه الموصلات في ظروف الفراغ أو الغلاف الجوي.
فرن أنبوبي منزلق آلي للتسخين والتبريد السريع بقطر خارجي 2 بوصة ودرجة حرارة قصوى 1100 درجة مئوية
قم بتحسين أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق الآلي عالي الأداء. يوفر هذا النظام الذي يعمل بدرجة حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية تسخيناً وتبريداً فائق السرعة بمعدل 100 درجة مئوية في الدقيقة، مما يضمن معالجة حرارية دقيقة لأشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو وتطبيقات البحث والتطوير الصناعية التي تتطلب دورات حرارية سريعة.
فرن أنبوبي مدمج عالي الحرارة 1500 درجة مئوية بقطر خارجي 2 بوصة مع حواف تفريغ وملحقات كاملة
فرن أنبوبي مدمج مصمم بدقة بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية، يتميز بأنبوب ألومينا عالي النقاء بقطر 2 بوصة وعناصر تسخين من كربيد السيليكون (SiC). تم تصميم هذا النظام لأبحاث وتطوير علوم المواد المتطلبة، ويشمل ملحقات إغلاق بالتفريغ كاملة، وتحكم رقمي PID، وميزات أمان متقدمة لتطبيقات المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن انزلاقي رأسي عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع إمكانيات المعالجة الحرارية السريعة والأنبوب المفرغ الهجين
قم بتحقيق أقصى قدر من كفاءة البحث باستخدام هذا الفرن الانزلاقي الرأسي 1200 درجة مئوية مع إمكانيات المعالجة الحرارية السريعة. يقدم هذا النظام الهجين وظيفتي صندوق وأنبوب مفرغ مزدوجتين، مما يوفر تحكماً دقيقاً في درجة الحرارة وتسخيناً أو تبريداً فائق السرعة لتطبيقات علوم المواد المتقدمة.
فرن أنبوبي منزلق 1200 درجة مئوية للمعالجة الحرارية السريعة ونمو الجرافين بتقنية CVD بسعة قطر خارجي 100 مم
سرّع وتيرة أبحاثك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق الذي تصل حرارته إلى 1200 درجة مئوية، والمصمم خصيصاً لتطبيقات المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وترسيب البخار الكيميائي (CVD). يتميز بنظام تحكم PLC عالي الدقة وسكة انزلاق آلية لدورات تسخين وتبريد فائقة السرعة في مختبرات علوم المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي 1200 درجة مئوية مع انزلاق مغناطيسي داخلي للعينة للترسيب المباشر بالتبخير والمعالجة الحرارية السريعة
يتميز فرن الأنابيب الاحترافي هذا بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية بآلية انزلاق يدوية مغناطيسية للعينة مصممة خصيصًا للترسيب المباشر بالتبخير والمعالجة الحرارية السريعة. يضمن التحكم الدقيق في درجة الحرارة ونمو المواد المتسق لتطبيقات علوم المواد البحثية والصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي هجين 1500 درجة مئوية سعة 1.7 لتر مع أنبوب موليت 2 بوصة ووحدة تحكم PID قابلة للبرمجة
قم بتحسين مساحة المختبر باستخدام هذا الفرن الهجين الذي يصل إلى 1500 درجة مئوية، والذي يتميز بغرفة صهر سعة 1.7 لتر وإمكانية استخدام أنبوب موليت مقاس 2 بوصة. تجعل وحدة التحكم PID الدقيقة وخيارات الغلاف الجوي المتعددة منه خياراً مثالياً لأبحاث علوم المواد المتقدمة وتطبيقات المختبرات الصناعية للمعالجة الحرارية عالية الحرارة.
فرن أنبوبي مدمج عالي الحرارة 1600 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا 50 مم وحواف تفريغ لتلبيد المواد
عزز قدرات مختبرك مع هذا الفرن الأنبوبي المدمج عالي الحرارة (1600 درجة مئوية) الذي يتميز بأنبوب ألومينا بقطر 50 مم وحواف تفريغ. مثالي لتلبيد المواد والبحوث الكيميائية، حيث يوفر معالجة حرارية دقيقة وموثوقية استثنائية لتطبيقات البحث والتطوير الصناعية.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بحد أقصى 1200 درجة مئوية، قطر خارجي 6 بوصات مع أنبوب وشفة
قم بتحسين المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الذي يصل إلى 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بسعة قطر خارجي 6 بوصات وتحكم متطور عبر شاشة اللمس. يضمن هذا النظام عالي الدقة توزيعاً موحداً لدرجة الحرارة لأبحاث المواد المتقدمة، وتلدين أشباه الموصلات، وتطبيقات المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفة منزلقة لأنظمة CVD
يتميز هذا الفرن الأنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفات منزلقة لتحميل العينات بسرعة وتوافق مع الفراغ العالي. تم تصميمه لعمليات CVD الدقيقة وأبحاث المواد المتقدمة، ويقدم أداءً موثوقًا بشكل استثنائي في البيئات المختبرية المتطلبة.
فرن أنبوبي عمودي منقسم عالي الحرارة 1700 درجة مئوية لتبريد المواد ونمو البلورات الأحادية
يوفر هذا الفرن الأنبوبي العمودي المنقسم المتطور بقدرة 1700 درجة مئوية معالجة حرارية دقيقة لتبريد المواد ونمو البلورات الأحادية. تم تصميم النظام لتميز البحث والتطوير، ويتميز بتوافق مع الفراغ وتحكم PID للحصول على نتائج موثوقة وقابلة للتكرار في بيئات مختبرات الأبحاث الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي مكتبي عالي الحرارة 1700°C مع منطقة تسخين بطول 5 بوصات وأنبوب ألومينا عالي النقاء وأطراف إحكام بالفراغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي عالي الحرارة 1700°C بمنطقة تسخين بطول خمس بوصات وأنبوب ألومينا للأبحاث المتقدمة في المواد. حقّق تحكمًا دقيقًا في الجو ومستويات فراغ تصل إلى 50 ملي تور للتلبيد والتلدين والترسيب الكيميائي بالبخار.
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع نظام مضخة توربينية جزيئية عالية التفريغ وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات
يدمج هذا الفرن الأنبوبي المتقدم عالي الحرارة (1700 درجة مئوية) نظام مضخة تفريغ توربينية جزيئية دقيقة وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات، مما يوفر أداءً استثنائيًا لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والانتشار، وعلوم المواد في بيئات البحث والتطوير الصناعية المتطلبة.
