فرن أنبوب عمودي قابل للفتح 0-1700 درجة مئوية نظام مختبر عالي الحرارة لمعالجة CVD والمعالجة الحرارية الفراغية

نظرة عامة على المنتج

يمثل هذا المعدّات التجريبية عالية الحرارة قمة الهندسة الحرارية، مصممة خصيصًا لأبحاث وتطوير المواد الصارمة والتحقق من العملية. من خلال دمج التسخين العالي الحرارة، والتحكم المتطور في الغلاف الجوي الفراغي، وقدرات المعالجة الحرارية السريعة، تخدم المعدّات كمنصة متعددة الاستخدامات لأكثر بيئات المختبرات تطلبًا. تم تصميم الهيكل العمودي القابل للفتح لتحقيق أقصى قدر من الوصول والمرونة، مما يسمح للباحثين بالانتقال بسلاسة من التلبيس الأساسي للمواد إلى الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) المعقد أو التبييض الفراغي. تم بناء هذه الوحدة بمتانة صناعية، وتوفر الدقة المطلوبة من قبل علماء المواد في مختبرات الجامعات، ومراكز البحث والتطوير لأشباه الموصلات، وتصنيع الطيران. إنه يعكس التزامًا بالتميز الهندسي، مما يضمن أن كل دورة حرارية تكون متسقة وقابلة للتكرار وآمنة، حتى عند التشغيل في درجات حرارة تصل إلى 1700 درجة مئوية في أجواء غازية عالية الفراغ أو متخصصة.

الميزات الرئيسية

• الهيكل العمودي القابل للفتح: تم تصميم جسم الفرن للانفصال عموديًا، مما يوفر وصولاً بزاوية 180 درجة لأنبوب التفاعل لسهولة التحميل والصيانة ودمج أجهزة استشعار المراقبة الداخلية أو وحدات التبريد السريع.
• التسخين الدقيق ثلاثي المناطق: يضمن البرمجة المتقدمة متعددة المراحل من خلال التنظيم المستقل لثلاث مناطق حرارية منفصلة منطقة ثابتة الحرارة واسعة مع تعويض حراري محسن لتوحيد ±1.5 درجة مئوية.
• عزل الألومينا عالي النقاء: تستخدم الغرفة ألياف الألومينا متعددة البلورات من الدرجة 1700 عالية النقاء، وهي مادة مختارة لسعتها الحرارية المنخفضة للغاية ومقاومتها المتفوقة للصدمات الحرارية، مما يضمن تسخينًا سريعًا وكفاءة في استهلاك الطاقة.
• عناصر التسخين المتقدمة MoSi2: مجهزة بقضبان سيليكون الموليبدينوم عالية الكثافة، قادر نظام التسخين على التشغيل المستدام في درجات الحرارة القصوى، مع ترقيات اختيارية متاحة للبيئات التي تتطلب ما يصل إلى 1800 درجة مئوية.
• نظام التبريد السريع المتكامل: يسهل نظام التبريد بالهواء المدمج الدائرية وأطراف التبريد بالماء الاختيارية انخفاضًا حراريًا عالي السرعة، مما يتيح للعينات الخضوع لمعالجة التبريد السريع خلال 10 ثوانٍ لدراسات تغير الطور.
• التسديد الفراغي المتطور: تتميز المعدّات بنظام تسديد مطاطي فلوري مزدوج من النوع O وأطراف مبردة بالماء، لتحقيق معدل تسرب فراغي ≤5×10⁻⁴ Pa-m³/s عند اقترانه بوحدات المضخة الجزيئية عالية الأداء.
• منطق التحكم الذكي PID: باستخدام أدوات القياس اليابانية الممتازة Shimaden أو الأوروبية Continental، يدعم النظام برمجة 50 مقطعًا، واتصال RS485، وتخزين ملفات عمليات مسبقة الإعداد متعددة.
• مجموعة إدارة الغلاف الجوي: يسمح نظام مقياس التدفق الكتلي ثنائي الاتجاه مع صمامات كهربائية عالية الدقة ومنظمات الضغط بإدخال غازات خاملة أو متفاعلة بشكل مسيطر عليه، بما في ذلك الهيدروجين.
• أقفال السلامة الشاملة: النظام محمي بطبقات أمان متعددة، بما في ذلك إيقاف الطاقة التلقائي عند تجاوز الحرارة، وإنذارات كسر الثرمكوبل، ومراقبة ضغط الماء، وصمامات تخفيف الضغط الطارئ.
• توافق التوسع المعياري: مصمم لتعدد الاستخدامات، تدعم المنصة وحدات خارجية مثل منصات العينات الدوارة، ومقاييس الحرارة بالأشعة تحت الحمراء، ومحللات الغازات للتكيف مع متطلبات البحث المتطورة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختارنا

• موثوقية طويلة الأمد مثبتة: مبني بمكونات على مستوى صناعي وغلاف مزدوج الطبقات، تم تصميم هذا الفرن للتشغيل المستمر في بيئات البحث عالية المخاطر دون تدهور في الأداء.
• دقة حرارية استثنائية: توفر تقنية التعويض المستقل ثلاثية المناطق مستوى من التوحيد والاستقرار الحراري الحاسم لنجاح عمليات الترسيب الكيميائي للبخار والتلبيس الحساسة.
• مرونة معيارية لا مثيل لها: سواء كنت تحتاج إلى فراغ عالي، أو دوائر غاز متخصصة، أو منصات عينات دوارة، تم تصميم هذا النظام لينمو مع احتياجات بحثك من خلال واجهته المعيارية.
• معايير سلامة صارمة: من التعامل مع غاز الهيدروجين إلى تخفيف الضغط العالي، يدمج النظام آليات أمان زائدة عن الحاجة لحماية موظفي مختبرك وموادك عالية القيمة.
• تصنيع دقيق: تخضع كل وحدة للمعايرة الصارمة واختبار تسرب الفراغ لضمان استيفائها لمعاييرنا الدقيقة للمتانة الصناعية والتميز التقني.

اتصل بفريق المبيعات التقني لدينا اليوم للحصول على عرض سعر مفصل أو لمناقشة حل مخصص مصمم خصيصًا لمتطلبات معالجة المواد المحددة الخاصة بك.