فرن فراغ عمودي 1100 درجة مئوية عالي الحرارة مع نظام شفة تبريد مائي وغرفة كوارتز 8 بوصة

نظرة عامة على المنتج

يمثل هذا النظام العمودي المختوم بالفراغ وعالي الحرارة ذروة المعالجة الحرارية لعلوم المواد وأبحاث أشباه الموصلات. تم تصميم هذه الوحدة لتسهيل عمليات التلدين والتكليس الدقيقة، وتتميز بتوجه عمودي يعمل على تحسين المساحة مع توفير بيئة حرارية موحدة للركائز الأكبر حجماً. تم بناء المعدات حول غرفة كوارتز شديدة التحمل قادرة على الوصول إلى درجات حرارة تشغيل تصل إلى 1100 درجة مئوية تحت الضغط المحيط، مما يجعلها أداة أساسية للمختبرات التي تركز على تطوير المواد عالية النقاء والمكونات الإلكترونية المتقدمة.

تم تصميم النظام خصيصاً لاستيعاب رقائق أشباه الموصلات التي يصل قطرها إلى 8 بوصات، مما يوفر منصة متعددة الاستخدامات لكل من المعالجة في بيئة الفراغ وتجارب الغلاف الجوي الغازي المتحكم فيه. من خلال دمج شفة إغلاق من الفولاذ المقاوم للصدأ مع تبريد مائي متكامل، يحافظ النظام على السلامة الهيكلية وطول عمر الإغلاق حتى أثناء دورات الحرارة العالية الطويلة. تعد هذه المعدات الخيار المفضل لمراكز البحث والتطوير الصناعية والمؤسسات الأكاديمية التي تتطلب حلاً موثوقاً وقابلاً للتكرار وعالي السعة للمعالجة الحرارية للركائز الحساسة.

تم تصميم هذه الوحدة للمعالجة الحرارية لتكون موثوقة في ظل الظروف الصناعية الصعبة، وتستخدم سلك مقاومة عالي الجودة ومواد حرارية متقدمة لضمان أداء ثابت. تم اختيار كل مكون، بدءاً من وحدة التحكم الرقمية المعتمدة من NRTL وصولاً إلى آلية الإغلاق ذات الحلقة المزدوجة من السيليكون، لتزويد فرق المشتريات وكبار المهندسين بالثقة في الاستقرار التشغيلي طويل الأمد للنظام. توفر هذه الوحدة المتانة المطلوبة لبيئات البحث التي تعمل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع حيث تعد الدقة ووقت التشغيل مقاييس حاسمة للنجاح.

الميزات الرئيسية

• غرفة كوارتز عالية السعة: يتميز النظام بأنبوب كوارتز GE214 كبير القطر بقطر خارجي 8 بوصات، مصمم خصيصاً لمعالجة رقائق أشباه الموصلات وعينات المواد ذات الدفعات الكبيرة بوضوح ونقاء لا مثيل لهما.
• شفة إغلاق متطورة مبردة بالماء: يحمي غلاف التبريد المائي المدمج مجموعة إغلاق الفراغ من التحلل الحراري، مما يسمح لشفة الفولاذ المقاوم للصدأ بالحفاظ على إغلاق محكم عند درجات حرارة تتجاوز 1100 درجة مئوية دون صهر حلقات السيليكون.
• تحكم دقيق في درجة الحرارة PID: توفر وحدة التحكم الرقمية المعتمدة من NRTL 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة للرفع والتبريد والمكوث، مما يضمن دقة ±1 درجة مئوية للملفات الحرارية الحساسة المطلوبة في تصنيع أشباه الموصلات.
• أداء فراغ فائق: تم تصميم هذه الوحدة لتعمل بسلاسة مع محطات مضخات الفراغ العالي، ويمكنها تحقيق مستويات فراغ تصل إلى 10^-5 تور عند استخدام مضخة توربينية، وهو أمر ضروري لمهام التكليس والتلدين الحساسة للأكسجين.
• تصميم عنصر تسخين قوي: باستخدام سلك مقاومة Ni-Cr-Al عالي الجودة، يوفر النظام معدلات تسخين سريعة تصل إلى 20 درجة مئوية في الدقيقة مع الحفاظ على متانة ممتازة عبر الدورات الحرارية المتكررة.
• السلامة والإنذارات المتكاملة: تتضمن المعدات إنذارات مدمجة لدرجة الحرارة الزائدة وفشل المزدوجة الحرارية، مما يوفر حماية آلية لكل من الفرن والمواد القيمة التي تتم معالجتها بالداخل.
• إدارة مرنة للغلاف الجوي: مجهز بصمامات إبرية عالية الدقة ومنافذ متعددة لدخول/خروج الغاز، مما يسمح بالإدخال الدقيق للغازات الخاملة أو التفاعلية أثناء عملية التسخين.
• خيارات مراقبة قابلة للتوسع: تشتمل الوحدة على مقياس فراغ ميكانيكي كمعيار قياسي، مع خيارات لمقاييس فراغ رقمية مستقلة عن الغاز ومنافذ اتصال بالكمبيوتر لتسجيل البيانات في الوقت الفعلي والمراقبة عن بعد.
• قدرة تحميل ثقيلة: تم تصميم بنية الغرفة العمودية لدعم وزن مادة يصل إلى 40 كجم، وهي معززة للتعامل مع أحمال العينات ذات الدرجة الصناعية دون المساس بالسلامة الهيكلية.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار TU-QF02

• هندسة دقيقة للحجم: على عكس الأفران المختبرية القياسية، يوفر هذا النظام منطقة معالجة ضخمة بقطر 8 بوصات، مما يتيح الانتقال المباشر من البحث والتطوير للعينات الصغيرة إلى الإنتاج على نطاق تجريبي دون تغيير المعلمات الحرارية.
• إدارة حرارية فائقة: يضمن دمج نظام الشفة المبرد بالماء أنه حتى في درجات الحرارة القصوى، تظل سلامة الإغلاق غير منقوصة، مما يطيل عمر المواد الاستهلاكية ويقلل تكاليف الصيانة بشكل كبير.
• بنية فراغ قابلة للتكيف: سواء كنت تحتاج إلى مستويات فراغ ميكانيكية أساسية أو بيئات فراغ فائقة عبر مضخات توربينية جزيئية، فإن واجهة KF25 المرنة للنظام وصمامات الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودة تدعم احتياجات عمليتك المحددة.
• السلامة والموثوقية المعتمدة: مع وحدات تحكم معتمدة من NRTL وامتثال CE، تلبي هذه المعدات معايير السلامة والجودة الصارمة التي تتطلبها التصنيع الصناعي الحديث ومرافق الأبحاث عالية المخاطر.
• خيارات تحكم قابلة للتخصيص: من وحدات التحكم عالية الدقة Eurotherm إلى محطات خلط الغاز الرقمية، نوفر النمطية في الأجهزة اللازمة لتكييف النظام مع بروتوكولات معالجة المواد المتخصصة.

فريقنا الفني جاهز لمساعدتك في الحصول على تكوين مخصص أو عرض سعر رسمي لمنشأتك. اتصل بنا الآن لمناقشة كيف يمكن لنظام الفراغ العمودي هذا تعزيز قدرات المعالجة الحرارية لديك.