فرن أنبوبي ثنائي المناطق 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 11 بوصة وفلانشات تفريغ لمعالجة رقاقات 8 بوصات

نظرة عامة على المنتج

هذا الفرن الأنبوبي ثنائي المناطق عالي الأداء هو نظام معالجة حرارية متطور مصمم لأبحاث المواد المتقدمة والتطوير الصناعي. مزود بأنبوب كوارتز منصهر كبير الحجم بقطر خارجي 11 بوصة، يوفر الجهاز بيئة تسخين واسعة مناسبة للعينات كبيرة الحجم ورقاقات أشباه الموصلات بقطر يصل إلى 8 بوصات. يسمح التكوين ثنائي المناطق بإنشاء تدرجات حرارية دقيقة أو منطقة ثابتة الحرارة أوسع، مما يوفر للباحثين مرونة لا مثيل لها في إدارة ملفات المعالجة الحرارية المعقدة. من خلال دمج عزل ليفي من الألومينا عالي النقاء، يضمن هذا النظام أقصى كفاءة طاقة وأوقات استجابة حرارية سريعة.

تم تصميم الجهاز خصيصًا للتطبيقات عالية النقاء، بما في ذلك تلبيد عينات المواد الجديدة ومعالجة رقاقات أشباه الموصلات تحت التفريغ أو الأجواء الغازية المسيطر عليها. تتراوح الصناعات المستهدفة من تصنيع أشباه الموصلات وعلم المعادن إلى تكنولوجيا النانو وأبحاث الطاقة المتجددة. تسمح غرفة المعالجة كبيرة القطر بإنتاجية أعلى واستيعاب بواتق وأوعية متخصصة، مما يجعله الخيار المثالي للمختبرات التي تنتقل من التجارب الصغيرة النطاق إلى التطوير على نطاق تجريبي. توفر قدراته القوية على التفريغ وميزات التعامل مع الغازات تحكمًا دقيقًا في البيئة الكيميائية خلال مراحل المعالجة الحرجة.

الموثوقية والاتساق هما السمتان المميزتان لتصميم هذه الوحدة. مصممة لتحمل ظروف التشغيل الصناعية الصارمة، يستخدم النظام وحدات تحكم رقمية عالية الدقة وعناصر تسخين سلكية مقاومة من NiCrAl للحفاظ على أداء مستقر لفترات طويلة. تضمين فلانشات الفولاذ المقاوم للصدأ المبردة بالماء يحمي سلامة أختام التفريغ، مما يضمن بيئة خالية من التسرب حتى أثناء الدورات عالية الحرارة. يضمن هذا الالتزام بالتميز الهندسي أن كل عملية، من التكليس الأساسي إلى ترسيب البخار الكيميائي المتقدم، تُنفذ بنتائج عالية الدقة وقابلة للتكرار يمكن للباحثين المحترفين الاعتماد عليها.

الميزات الرئيسية

• التحكم الدقيق في درجة الحرارة ثنائي المناطق: يتميز النظام بمنطقتين تسخين يتم التحكم فيهما بشكل مستقل، طول كل منهما 300 ملم، وتدار بواسطة وحدات تحكم رقمية PID عالية الدقة. هذا يسمح بإنشاء تدرجات حرارية مستقرة أو منطقة ثابتة الحرارة مجتمعة طولها 300 ملم بدقة ±1 درجة مئوية، وهو أمر ضروري لعمليات مثل نمو شرائط النانو TMD.
• غرفة كوارتز كبيرة الحجم 11 بوصة: مزود بأنبوب كوارتز منصهر ضخم بقطر خارجي 279 ملم، يستوعب هذا الفرن عينات كبيرة الحجم، بما في ذلك رقاقات أشباه الموصلات القياسية 8 بوصات. توفر مادة الكوارتز عالية النقاء مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية والخمول الكيميائي، مما يضمن بيئة خالية من الملوثات.
• فلانشات تفريغ متطورة بمفصلات: تتميز فلانشات التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بتصميم مفصلي لتحميل وتفريغ العينات بسهولة. توفر قنوات التبريد المدمجة في هيكل الفلانش المزدوج الطبقة حماية فعالة لأختام الحلقة-O، مما يحافظ على سلامة التفريغ أثناء التشغيل المستمر في درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية.
• عزل حراري عالي الكفاءة: باستخدام عزل ليفي من الألومينا عالي النقاء، يقلل الجهاز من فقدان الحرارة ويخفض استهلاك الطاقة. يتيح هذا العزل خفيف الوزن وعالي الأداء أيضًا معدلات تسخين وتبريد أسرع، مما يحسن وقت الدورة الكلي لإنتاجية المختبر.
• عناصر تسخين قوية وسلامة: توفر عناصر التسخين السلكية المقاومة NiCrAl طويلة العمر توزيعًا متسقًا للحرارة. لسلامة المشغل والمعدات، تم تضمين مراقب درجة حرارة ثانوي للحماية من ظروف ارتفاع درجة الحرارة الزائد وكسر أزواج الحرارة، مما يوفر راحة البال أثناء التشغيل غير المراقب.
• منافذ غاز وتفريغ مدمجة: يتضمن النظام مقياس تفريغ ميكانيكي، وصمامين إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ، ومنفذ تفريغ KF25. تتيح هذه المجموعة الشاملة من التركيبات إدارة دقيقة للغلاف الجوي، مما يدعم مستويات تفريغ تصل إلى 10-2 تور باستخدام مضخات ميكانيكية وإلى 10-4 تور باستخدام أنظمة تربو جزيئية.
• برمجة ملفات المعالجة الحرارية: تدعم وحدات التحكم في درجة الحرارة 30 مقطعًا قابلًا للبرمجة، مما يسمح للمستخدمين بأتمتة تسلسلات التسخين والنقع والتبريد المعقدة. يضمن هذا إمكانية إعادة إنتاجية عالية عبر دفعات متعددة، وهو أمر بالغ الأهمية للبحث المعياري ومراقبة الجودة الصناعية.
• واجهة حاسوب وتسجيل البيانات: الجهاز متوافق مع برنامج تحكم متخصص قائم على Labview، مما يمكن الباحثين من تحرير ملفات درجة الحرارة، وإدارة الوصفات، وتسجيل البيانات في الوقت الفعلي على جهاز كمبيوتر لإجراء تحليل وتوثيق شامل لما بعد العملية.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختارنا

• موثوقية على مستوى صناعي: مصمم بأسلاك مقاومة عالية التحمل وعزل ليفي متقدم، صُمم هذا النظام للاتساق التشغيلي طويل الأجل في بيئات البحث الصارمة.
• قدرة على نطاق واسع: يعد أنبوب القطر 11 بوصة عرضًا نادرًا في الأفران على مستوى المختبر، حيث يوفر الحجم اللازم لمعالجة رقاقات 8 بوصات ودفعات مواد كبيرة دون الحاجة إلى معدات بحجم صناعي.
• إدارة حرارية دقيقة: يوفر التحكم المستقل ثنائي المناطق المرونة الحرارية المطلوبة لعمليات ترسيب البخار الكيميائي المعقدة ونمو الهياكل النانوية، مما يضمن أعلى مستوى من التحكم التجريبي.
• سلامة وحماية قوية: أنظمة مراقبة درجة الحرارة الثانوية المدمجة وأنظمة الفلانش المبردة بالماء تحمي أصول مختبرك وتضمن طول عمر أختام التفريغ العالي.
• تكامل شامل: من التوافق مع برنامج Labview إلى خيارات خلط الغازات القابلة للتخصيص ومحطة التفريغ، يعمل هذا الفرن كمنصة كاملة وقابلة للتوسع لتلبية احتياجات المعالجة الحرارية الخاصة بك.

لمزيد من المعلومات حول الفرن ثنائي المناطق TU-32 أو للحصول على عرض سعر مخصص يتناسب مع متطلباتك المحددة للتفريغ والتعامل مع الغازات، يرجى الاتصال بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم.