فرن أنبوبي
فرن أنبوبي ثنائي المناطق 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 11 بوصة وفلانشات تفريغ لمعالجة رقاقات 8 بوصات
رقم العنصر: TU-32
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
هذا الفرن الأنبوبي ثنائي المناطق عالي الأداء هو نظام معالجة حرارية متطور مصمم لأبحاث المواد المتقدمة والتطوير الصناعي. مزود بأنبوب كوارتز منصهر كبير الحجم بقطر خارجي 11 بوصة، يوفر الجهاز بيئة تسخين واسعة مناسبة للعينات كبيرة الحجم ورقاقات أشباه الموصلات بقطر يصل إلى 8 بوصات. يسمح التكوين ثنائي المناطق بإنشاء تدرجات حرارية دقيقة أو منطقة ثابتة الحرارة أوسع، مما يوفر للباحثين مرونة لا مثيل لها في إدارة ملفات المعالجة الحرارية المعقدة. من خلال دمج عزل ليفي من الألومينا عالي النقاء، يضمن هذا النظام أقصى كفاءة طاقة وأوقات استجابة حرارية سريعة.
تم تصميم الجهاز خصيصًا للتطبيقات عالية النقاء، بما في ذلك تلبيد عينات المواد الجديدة ومعالجة رقاقات أشباه الموصلات تحت التفريغ أو الأجواء الغازية المسيطر عليها. تتراوح الصناعات المستهدفة من تصنيع أشباه الموصلات وعلم المعادن إلى تكنولوجيا النانو وأبحاث الطاقة المتجددة. تسمح غرفة المعالجة كبيرة القطر بإنتاجية أعلى واستيعاب بواتق وأوعية متخصصة، مما يجعله الخيار المثالي للمختبرات التي تنتقل من التجارب الصغيرة النطاق إلى التطوير على نطاق تجريبي. توفر قدراته القوية على التفريغ وميزات التعامل مع الغازات تحكمًا دقيقًا في البيئة الكيميائية خلال مراحل المعالجة الحرجة.
الموثوقية والاتساق هما السمتان المميزتان لتصميم هذه الوحدة. مصممة لتحمل ظروف التشغيل الصناعية الصارمة، يستخدم النظام وحدات تحكم رقمية عالية الدقة وعناصر تسخين سلكية مقاومة من NiCrAl للحفاظ على أداء مستقر لفترات طويلة. تضمين فلانشات الفولاذ المقاوم للصدأ المبردة بالماء يحمي سلامة أختام التفريغ، مما يضمن بيئة خالية من التسرب حتى أثناء الدورات عالية الحرارة. يضمن هذا الالتزام بالتميز الهندسي أن كل عملية، من التكليس الأساسي إلى ترسيب البخار الكيميائي المتقدم، تُنفذ بنتائج عالية الدقة وقابلة للتكرار يمكن للباحثين المحترفين الاعتماد عليها.
الميزات الرئيسية
- التحكم الدقيق في درجة الحرارة ثنائي المناطق: يتميز النظام بمنطقتين تسخين يتم التحكم فيهما بشكل مستقل، طول كل منهما 300 ملم، وتدار بواسطة وحدات تحكم رقمية PID عالية الدقة. هذا يسمح بإنشاء تدرجات حرارية مستقرة أو منطقة ثابتة الحرارة مجتمعة طولها 300 ملم بدقة ±1 درجة مئوية، وهو أمر ضروري لعمليات مثل نمو شرائط النانو TMD.
- غرفة كوارتز كبيرة الحجم 11 بوصة: مزود بأنبوب كوارتز منصهر ضخم بقطر خارجي 279 ملم، يستوعب هذا الفرن عينات كبيرة الحجم، بما في ذلك رقاقات أشباه الموصلات القياسية 8 بوصات. توفر مادة الكوارتز عالية النقاء مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية والخمول الكيميائي، مما يضمن بيئة خالية من الملوثات.
- فلانشات تفريغ متطورة بمفصلات: تتميز فلانشات التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بتصميم مفصلي لتحميل وتفريغ العينات بسهولة. توفر قنوات التبريد المدمجة في هيكل الفلانش المزدوج الطبقة حماية فعالة لأختام الحلقة-O، مما يحافظ على سلامة التفريغ أثناء التشغيل المستمر في درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية.
- عزل حراري عالي الكفاءة: باستخدام عزل ليفي من الألومينا عالي النقاء، يقلل الجهاز من فقدان الحرارة ويخفض استهلاك الطاقة. يتيح هذا العزل خفيف الوزن وعالي الأداء أيضًا معدلات تسخين وتبريد أسرع، مما يحسن وقت الدورة الكلي لإنتاجية المختبر.
- عناصر تسخين قوية وسلامة: توفر عناصر التسخين السلكية المقاومة NiCrAl طويلة العمر توزيعًا متسقًا للحرارة. لسلامة المشغل والمعدات، تم تضمين مراقب درجة حرارة ثانوي للحماية من ظروف ارتفاع درجة الحرارة الزائد وكسر أزواج الحرارة، مما يوفر راحة البال أثناء التشغيل غير المراقب.
- منافذ غاز وتفريغ مدمجة: يتضمن النظام مقياس تفريغ ميكانيكي، وصمامين إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ، ومنفذ تفريغ KF25. تتيح هذه المجموعة الشاملة من التركيبات إدارة دقيقة للغلاف الجوي، مما يدعم مستويات تفريغ تصل إلى 10-2 تور باستخدام مضخات ميكانيكية وإلى 10-4 تور باستخدام أنظمة تربو جزيئية.
- برمجة ملفات المعالجة الحرارية: تدعم وحدات التحكم في درجة الحرارة 30 مقطعًا قابلًا للبرمجة، مما يسمح للمستخدمين بأتمتة تسلسلات التسخين والنقع والتبريد المعقدة. يضمن هذا إمكانية إعادة إنتاجية عالية عبر دفعات متعددة، وهو أمر بالغ الأهمية للبحث المعياري ومراقبة الجودة الصناعية.
- واجهة حاسوب وتسجيل البيانات: الجهاز متوافق مع برنامج تحكم متخصص قائم على Labview، مما يمكن الباحثين من تحرير ملفات درجة الحرارة، وإدارة الوصفات، وتسجيل البيانات في الوقت الفعلي على جهاز كمبيوتر لإجراء تحليل وتوثيق شامل لما بعد العملية.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| معالجة رقاقات أشباه الموصلات | المعالجة الحرارية للرقاقات كبيرة الحجم (حتى 8 بوصات) لإصلاح عيوب البلورات أو تنشيط المواد المطعمة. | تجانس فائق عبر مساحة سطح الرقاقة بأكملها. |
| نمو شرائط النانو TMD | استخدام المنطقتين للتحكم بشكل مستقل في ضغط بخار الكالكوجين ودرجة حرارة تفاعل الركيزة. | تحكم دقيق في عرض شرائط النانو وحركية النمو عبر التشبع. |
| الانحلال الحراري الحفاز | التحلل الحراري للمواد العضوية، مثل الإطارات المستهلكة، تحت أجواء مسيطر عليها. | منع السخونة الموضعية المفرطة والكربنة الزائدة عبر التدرجات الحرارية المستقرة. |
| تلبيد المواد | دمج المواد المسحوقة في مواد صلبة كثيفة لأبحاث السيراميك الإنشائي أو الإلكتروني. | كثافة وبنية حبيبية متسقة تتحقق بدقة ±1 درجة مئوية. |
| الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) | ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة باستخدام مخاليط غازية متخصصة وأنابيب معالجة كبيرة القطر. | يستوعب ركائز كبيرة وتدفق غاز عالي الحجم لأبحاث قابلة للتوسع. |
| المعالجة الحرارية تحت التفريغ | تخفيف الإجهاد أو تصلب المكونات المعدنية في بيئة خالية من الأكسجين. | يقضي على الأكسدة والتلوث السطحي أثناء الدورات عالية الحرارة. |
المواصفات الفنية
| المعيار | المواصفات لـ TU-32 |
|---|---|
| رقم الموديل | TU-32 |
| مادة الأنبوب | كوارتز منصهر عالي النقاء |
| أبعاد الأنبوب | 279 ملم قطر خارجي × 269 ملم قطر داخلي × 1000 ملم طول (11" × 10.6" × 40") |
| أقصى درجة حرارة | 1100 درجة مئوية (< 60 دقيقة، تحت غاز خامل) |
| درجة الحرارة المستمرة | 400 درجة مئوية - 1000 درجة مئوية (تحت التفريغ أو غاز متدفق) |
| درجة حرارة اختيارية | 1150 درجة مئوية (مع أنبوب كوارتز GE 214 مطور) |
| مناطق التسخين | منطقتان: 300 ملم (12 بوصة) لكل منهما؛ 600 ملم (24 بوصة) إجمالي |
| منطقة درجة الحرارة الثابتة | 300 ملم في المركز (±1 درجة مئوية) عند ضبط المنطقتين بشكل متطابق |
| معدل التسخين | أقصى 20 درجة مئوية / دقيقة |
| دقة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية |
| وحدة تحكم درجة الحرارة | وحدتا تحكم رقميتان PID مع 30 مقطعًا قابلًا للبرمجة |
| زوج حراري | زوجان حراريان من النوع K (12" × 1/4" قطر مسبار مؤرض) |
| عنصر التسخين | سلك مقاوم NiCrAl |
| جهد الدخل | 208 - 240 فولت تيار متردد، أحادي الطور |
| القدرة الكهربائية | 8 كيلوواط |
| فلانشات التفريغ | فولاذ مقاوم للصدأ مزدوج الطبقة، مبرد بالماء، نوع مفصلي |
| منافذ التفريغ | منفذ KF25، تركيبات خرطوم 1/4 بوصة، صمامان إبرة |
| حد التفريغ | 10-2 تور (مضخة ميكانيكية) / 10-4 تور (مضخة تربو) |
| متطلبات التبريد | تدفق ماء ≥ 10 لتر/دقيقة، درجة الحرارة < 25 درجة مئوية، الضغط > 25 رطل/بوصة مربعة |
| المطابقة | شهادة CE (متوفر NRTL/CSA عند الطلب) |
لماذا تختارنا
- موثوقية على مستوى صناعي: مصمم بأسلاك مقاومة عالية التحمل وعزل ليفي متقدم، صُمم هذا النظام للاتساق التشغيلي طويل الأجل في بيئات البحث الصارمة.
- قدرة على نطاق واسع: يعد أنبوب القطر 11 بوصة عرضًا نادرًا في الأفران على مستوى المختبر، حيث يوفر الحجم اللازم لمعالجة رقاقات 8 بوصات ودفعات مواد كبيرة دون الحاجة إلى معدات بحجم صناعي.
- إدارة حرارية دقيقة: يوفر التحكم المستقل ثنائي المناطق المرونة الحرارية المطلوبة لعمليات ترسيب البخار الكيميائي المعقدة ونمو الهياكل النانوية، مما يضمن أعلى مستوى من التحكم التجريبي.
- سلامة وحماية قوية: أنظمة مراقبة درجة الحرارة الثانوية المدمجة وأنظمة الفلانش المبردة بالماء تحمي أصول مختبرك وتضمن طول عمر أختام التفريغ العالي.
- تكامل شامل: من التوافق مع برنامج Labview إلى خيارات خلط الغازات القابلة للتخصيص ومحطة التفريغ، يعمل هذا الفرن كمنصة كاملة وقابلة للتوسع لتلبية احتياجات المعالجة الحرارية الخاصة بك.
لمزيد من المعلومات حول الفرن ثنائي المناطق TU-32 أو للحصول على عرض سعر مخصص يتناسب مع متطلباتك المحددة للتفريغ والتعامل مع الغازات، يرجى الاتصال بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي بغاز الهيدروجين ثنائي المنطقة بقدرة 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز ونظام مدمج للكشف عن تسرب الهيدروجين
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الهيدروجيني ثنائي المنطقة عالي الأداء بكاشف غاز Honeywell مدمج للمعالجة الحرارية الآمنة حتى 1100 درجة مئوية. صُمم خصيصًا لأبحاث وتطوير علوم المواد، ويوفر تحكمًا دقيقًا في الأجواء المحيطة مع أنابيب كوارتز بأقطار 60 مم أو 80 مم.
فرن أنبوبي رأسي منفصل بمنطقتين حتى 1100°م مع أنبوب كوارتز 4 بوصة وحواف إغلاق بالتفريغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المنفصل بمنطقتين حتى 1100°م بأنبوب كوارتز مقاس 4 بوصات وحواف إغلاق بالتفريغ. صُمم لتطبيقات CVD وPVD، ويوفر هذا النظام عالي الدقة تجانسًا حراريًا استثنائيًا لأبحاث وتطوير المختبرات.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة بقدرة 1200 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز مصهور وشفاه تفريغ، متوفر بأقطار 60 مم و80 مم و100 مم
عزز أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة بقدرة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بتحكم مستقل في درجة الحرارة لتدرجات حرارية دقيقة. مجهز بأنابيب كوارتز مصهورة وشفاه إغلاق بالتفريغ، وهو الحل الأمثل لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة وتصنيع المواد النانوية.
فرن أنبوبي رأسي منقسم بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 80 مم وحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المنقسم عالي الأداء بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية بأنبوب كوارتز مقاس 80 مم، وحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ، وتحكم دقيق بنظام PID بـ 30 مرحلة. صُمم خصيصاً لأبحاث المواد، والتبريد السريع، والمعالجة الحرارية تحت جو متحكم فيه في المختبرات الصناعية الاحترافية.
فرن أنبوب الكوارتز ثنائي المنطقة بقطر 80 مم ودرجة حرارة قصوى 1200 درجة مئوية، مزود بخلاط غاز ثلاثي القنوات ونظام مضخة تفريغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الكوارتز المتقدم ثنائي المنطقة بأنبوب بقطر 80 مم، وخلط غاز مدمج ثلاثي القنوات، ونظام تفريغ عالي الأداء. مثالي لأبحاث CVD والمواد، حيث يوفر معالجة حرارية دقيقة بدرجة 1200 درجة مئوية وقدرات مراقبة تفريغ مقاومة للتآكل.
فرن أنبوبي مقسم فائق الطول بـ 12 منطقة مع أنبوب كوارتز بطول 20 قدماً ودرجة حرارة قصوى 1100 درجة مئوية
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الدقة ذو الـ 12 منطقة طول تسخين يبلغ ستة أمتار ودرجة حرارة قصوى تصل إلى 1100 درجة مئوية للعينات الطويلة. يتميز بتحكم PID مستقل وحواف جاهزة للتفريغ الهوائي، مما يوفر تجانساً استثنائياً لتطبيقات علوم المواد الصناعية المتقدمة والبحث والتطوير.
فرن أنبوبي كوارتز بقطر كبير 1100 درجة مئوية مع منطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء
يتميز فرن أنبوب الكوارتز ذو القطر الكبير بقدرة 1100 درجة مئوية بمنطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء لمعالجة دقيقة بتقنية CVD. مثالي لأبحاث المواد والبحث والتطوير الصناعي، ويوفر استقراراً حرارياً استثنائياً وأداءً حرارياً قوياً.
فرن أنبوب ثلاثي المناطق مع أنبوب كوارتز 11 بوصة أو 15 بوصة ووصلات مفصلية لمعالجة حرارية في جو فراغي
احصل على تجانس حراري فائق مع هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الذي يتميز بأنابيب كوارتز 11 بوصة أو 15 بوصة لتبييض الرقائق واسعة النطاق وتخليق المواد تحت تحكم فراغي دقيق وتشغيل غطاء موتوريزي لسلامة المختبرات الصناعية.
فرن غرفة كوارتز عالي الحرارة 1100 درجة مئوية بقطر خارجي 8 بوصة وسعة 7.6 لتر مع إمكانية العمل تحت تفريغ الهواء
عزز قدرات مختبرك باستخدام فرن غرفة الكوارتز هذا الذي يعمل بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية، ويتميز بقطر خارجي 8 بوصة وحجم 7.6 لتر. صُمم هذا النظام لبيئات التفريغ والجو المتحكم فيه، ويوفر معالجة حرارية دقيقة لأبحاث المواد المتقدمة وتصنيع أشباه الموصلات.
فرن أنبوبي دوّار ثنائي المنطقة بقطر 5 بوصات بدرجة 1100 مئوية لتقنية CVD للمواد ومساحيقها
عزّز أبحاث المواد باستخدام فرننا الأنبوبي الدوّار ثنائي المنطقة عالي الدقة بدرجة 1100°م. صُمم خصيصًا لترسيب CVD المتجانس للمساحيق وتخليق البنى القلبية-الغلافية، ويقدّم هذا النظام الكوارتزي بقطر 5 بوصات تحكمًا متقدمًا في الجو المحيط وتحسينًا مستقلاً للمعالجة الحرارية ثنائية المنطقة.
فرن أنبوبي مزدوج المنطقة، ممتد، عالي الحرارة، لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية الصناعية
عزّز أبحاث المواد لديك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الممتد مزدوج المنطقة عالي الأداء. بفضل عناصر Swedish Kanthal A1 والتحكم المتقدم PID، يضمن تجانسًا حراريًا استثنائيًا يصل إلى 1200°C لتطبيقات المعالجة في المختبرات والبحث والتطوير الصناعية المتطلبة في الهندسة الحديثة.
فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة ثماني المناطق 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصات ولوحة تحكم تعمل باللمس
حسّن أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنقسم ثماني المناطق 1100 درجة مئوية، والذي يتميز بلوحة تحكم تعمل باللمس، وتدرجات حرارية دقيقة، وأنبوب كوارتز كبير بقطر خارجي 4 بوصات لأبحاث وتطوير الصناعات المتقدمة وعمليات ترسيب البخار الكيميائي.
فرن أنبوبي متعدد الأوضاع بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية لأبحاث المواد المختبرية والمعالجة الحرارية الصناعية المتقدمة
يوفر هذا الفرن الأنبوبي متعدد الأوضاع تسخيناً دقيقاً يصل إلى 1100 درجة مئوية مع مرونة في التوجيه الرأسي والأفقي. تم تصميمه لأبحاث المواد المتقدمة، ويتميز بوحدة تحكم PID ذات 30 قطاعاً وعزل ليفي عالي النقاء لتحقيق استقرار حراري استثنائي وأداء مختبري صناعي موثوق.
فرن أنبوبي مفرغ مزدوج المنطقة عالي الحرارة لأبحاث المواد وعمليات CVD
عزّز قدرات مختبرك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المفرغ مزدوج المنطقة عالي الدقة. صُمم لأبحاث المواد المتقدمة وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، ويتميز بتحكم مستقل في درجة الحرارة، ومعدلات تسخين سريعة، وإحكام تفريغ متين لتحقيق نتائج معالجة حرارية صناعية متسقة.
فرن أنبوب مزدوج المنطقة الحرارية ومزدوج الغطاء للترسيب الكيميائي بالبخار CVD عالي الحرارة والتلدين بالفراغ
فرن أنبوب احترافي مزدوج المنطقة الحرارية عالي الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ونظام تحكم PID متقدم للتطبيقات البحثية والصناعية. يوفر هذا النظام معالجة حرارية دقيقة لعمليات CVD والتلدين بالفراغ وتلبيد المواد مع موثوقية لا مثيل لها.
فرن أنبوبي مقسم بسبع مناطق حرارية بدرجة حرارة عالية مع حد أقصى للتشغيل 1200 درجة مئوية وأنبوب كوارتز بقطر كبير
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الأداء بسبع مناطق حرارية بطول تسخين واسع يبلغ 82.6 بوصة وأنبوب كوارتز بقطر 8 بوصات. صُمم هذا الفرن لأبحاث المواد الدقيقة، ويوفر تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة وتحكماً متطوراً في الغلاف الجوي لتطبيقات البحث والتطوير الصناعي وعمليات التصنيع المتطلبة.
فرن أنبوبي ممتد ذو منطقتين حراريتين للمعالجة الحرارية الصناعية وأبحاث علوم المواد
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الممتد ذو المنطقتين الحراريتين بعناصر تسخين سويدية من نوع Kanthal A1 ونظام تحكم PID متطور لأبحاث المواد الدقيقة. مع خيارات التفريغ والجو الخامل، يوفر الفرن تجانساً حرارياً فائقاً وموثوقية عالية لتطبيقات المعالجة الحرارية في المختبرات الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة عالي الحرارة لتطبيقات تلبيد الغلاف الجوي المتقدمة وترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت التفريغ
عزز أبحاث المواد الخاصة بك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة عالي الدقة بدرجة حرارة 1400 مئوية. يتميز بالتحكم المستقل في درجة الحرارة، وقدرات تلبيد الغلاف الجوي، والاستقرار الحراري الفائق، مما يجعله الحل الأمثل لتجارب ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة ومشاريع المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي دوار مزدوج الحرارة مع دوران دقيق وميل قابل للتعديل لأبحاث المواد المتقدمة
فرن أنبوبي دوار عالي الأداء مزدوج الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ودوران دقيق لمعالجة المواد بشكل موحد. مثالي لتطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والبحث والتطوير التي تتطلب تحكماً حرارياً موثوقاً وميلاً قابلاً للتعديل في بيئات المختبرات الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي دوار مزدوج المنطقة لتكليس المسحوق بشكل موحد 1000 درجة مئوية، أنبوب كوارتز 2 بوصة
حقق تجانساً فائقاً للمواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار مزدوج المنطقة الذي يعمل بدرجة حرارة 1000 درجة مئوية. يتميز هذا النظام بسرعة دوران متغيرة ووحدات تحكم PID قابلة للبرمجة، وهو مُحسّن لتكليس المساحيق غير العضوية عالية النقاء ومشاريع تطوير كاثود بطاريات الليثيوم أيون. اتصل بنا اليوم للحصول على حلول حرارية مخصصة.
