فرن أنبوبي
فرن أنبوبي مقسم بسبع مناطق حرارية بدرجة حرارة عالية مع حد أقصى للتشغيل 1200 درجة مئوية وأنبوب كوارتز بقطر كبير
رقم العنصر: TU-87
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج


تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لبيئات الأبحاث على المستوى الصناعي والإنتاج التجريبي حيث تعد تدرجات الحرارة الدقيقة وأحجام التسخين الكبيرة أمراً بالغ الأهمية. من خلال استخدام بنية تسخين فريدة مكونة من سبع مناطق، يسمح الجهاز بإنشاء منطقة حرارة موحدة طويلة ومستقرة بشكل استثنائي، مما يجعله مثالياً لتصنيع المواد على دفعات كبيرة، ومعالجة أشباه الموصلات، وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المعقدة. يوفر التصميم القابل للتقسيم وصولاً لا مثيل له إلى غرفة المعالجة، مما يسهل إعداد العينات الثقيلة أو الحساسة داخل بيئة عالية النقاء.
تم تصميم النظام ليكون متعدد الاستخدامات، حيث يدعم مستويات فراغ من 10-2 إلى 10-5 تور وبيئات غازية متنوعة. وهو بمثابة حجر الزاوية لمختبرات علوم المواد المتقدمة، وأقسام المعادن، ومرافق التصنيع عالية التقنية التي تتطلب نتائج متسقة وقابلة للتكرار عبر مساحات معالجة كبيرة. سواء تم استخدامه لعمليات التلدين أو التلبيد أو الطلاء، فإن هذه الوحدة توفر الاستقرار الحراري المطلوب وفقاً لمعايير هندسة المواد الحديثة.
تعد الموثوقية جوهر بناء هذا الفرن. يتميز بهيكل فولاذي مزدوج الطبقات مع تبريد نشط بالمروحة وعزل من ألياف الألومينا عالية النقاء، مما يحافظ على درجات حرارة خارجية منخفضة مع ضمان أقصى قدر من كفاءة الطاقة. يضمن تضمين الأغطية العلوية التي تعمل بأسطوانات كهربائية تشغيلاً سلساً وآمناً حتى في البيئات الصناعية ذات الإنتاجية العالية، مما يمنح المشغلين الثقة لإدارة الدورات الحرارية المتطلبة دون المساس بالسلامة أو سلامة الأداء.
الميزات الرئيسية
- تحكم مستقل في درجة الحرارة بسبع مناطق: يستخدم هذا النظام سبع مناطق تسخين منفصلة، يتم التحكم في كل منها بواسطة وحدة تحكم رقمية PID مخصصة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في التدرجات الحرارية أو الحفاظ على منطقة حرارة موحدة ضخمة تبلغ 1350 مم ضمن ±2 درجة مئوية.
- تصميم مقسم بأسطوانة كهربائية: يتم تشغيل الغطاء العلوي المقسم بواسطة أسطوانات كهربائية للخدمة الشاقة، مما يوفر فتحاً وإغلاقاً سلساً وآلياً. يتيح هذا التصميم تبريداً سريعاً، واستبدالاً سهلاً للأنبوب، وتحميلاً مبسطاً للعينات دون الحاجة إلى الرفع اليدوي.
- عناصر تسخين دقيقة: يتم وضع عناصر حرارية عالية الأداء بشكل استراتيجي عبر جميع المناطق السبع لتوفير معدلات تسخين سريعة تصل إلى 10 درجات مئوية/دقيقة ودرجة حرارة تشغيل قصوى تبلغ 1200 درجة مئوية للعمليات قصيرة المدى.
- تحكم متطور في الغلاف الجوي: مجهز بأنبوب كوارتز داخلي بقطر 8 بوصات وحواف فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ تتميز بحلقات O مزدوجة من السيليكون عالي الحرارة، مما يضمن إحكام الغلق لمعالجة الفراغ أو الغاز الخامل.
- سترة تبريد مائي مدمجة: تشتمل حواف الفراغ على سترة تبريد مائي مدمجة لحماية حلقات O المانعة للتسرب والأجهزة من التعرض لدرجات الحرارة العالية، مما يضمن سلامة الغلق على المدى الطويل أثناء التشغيل المستمر.
- عزل حراري فائق: باستخدام عزل ألياف الألومينا عالي النقاء الموفر للطاقة، يقلل الفرن من فقدان الحرارة ويحسن أوقات رفع درجة الحرارة مع الحفاظ على درجة حرارة الهيكل الخارجي أقل من 70 درجة مئوية.
- أنظمة سلامة شاملة: تسمح الحماية المدمجة من الحرارة الزائدة والمزدوجات الحرارية المكسورة، إلى جانب إنذار درجة الحرارة الزائدة، بالتشغيل الآمن دون مراقبة أثناء الدورات الحرارية طويلة المدة.
- بنية مروحة تبريد مزدوجة: يضمن هيكل الهيكل الفولاذي مزدوج الطبقات المدمج مع مروحتين تبريد عاليتا السرعة تبديداً فعالاً للحرارة، مما يطيل عمر المكونات الإلكترونية الداخلية.
- الاتصال الرقمي والبرمجيات: تسمح منافذ الاتصال RS485 المدمجة بالتحكم والمراقبة القائمة على الكمبيوتر، مما يتيح للمستخدم حفظ وتحميل وتحليل ملفات تعريف التسخين المعقدة المكونة من 30 مقطعاً عن بُعد.
- توافق متعدد الاستخدامات مع المواد: تم تحسين أنبوب الكوارتز ذو القطر الكبير وأنواع المخازن المؤقتة من الكتل الحرارية لمجموعة متنوعة من البوتقات، وقوارب الرقائق، وأنظمة نقل المواد.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| تلدين رقائق أشباه الموصلات | معالجة درجات الحرارة العالية لرقائق السيليكون الكبيرة أو أشباه الموصلات المركبة تحت أجواء خاضعة للرقابة. | التجانس الاستثنائي عبر دفعة الرقائق بالكامل يقلل من معدلات العيوب. |
| توسيع نطاق CVD و PECVD | تخليق المواد ثنائية الأبعاد، أو أنابيب الكربون النانوية، أو الأغشية الرقيقة عبر مساحات ركيزة واسعة. | يسمح التحكم بسبع مناطق بالتحلل الدقيق للسلائف وتدرجات الترسيب. |
| تلبيد السيراميك المتقدم | دمج مساحيق السيراميك عالية الأداء في مكونات هيكلية كثيفة. | يمنع عزل الألومينا عالي النقاء التلوث ويضمن سلامة المواد. |
| أبحاث مواد البطاريات | تكليس وتخليق مواد الكاثود أو الأنود لتخزين الطاقة من الجيل التالي. | يسمح التحكم الموثوق في الفراغ والغاز بتفاعلات الأكسدة والاختزال المستقرة أثناء المعالجة. |
| تطوير المعادن والسبائك | المعالجة الحرارية وتخفيف الإجهاد لمكونات السبائك المتخصصة في أجواء وقائية. | يستوعب قطر الأنبوب الكبير الأجزاء الصناعية المعقدة والتركيبات المتخصصة. |
| كربنة ألياف الكربون | المعالجة المستمرة أو على دفعات لسلائف الألياف في درجات حرارة مرتفعة لتحقيق قوة شد عالية. | تضمن منطقة التسخين الطويلة تاريخاً حرارياً متسقاً لطول الألياف بالكامل. |
| تخليق الإلكتروليت الصلب | تفاعل المساحيق في درجات حرارة عالية لتشكيل طبقات إلكتروليت كثيفة للبطاريات ذات الحالة الصلبة. | تسمح البرمجة الدقيقة بـ 30 مقطعاً بدورات تفاعل معقدة ومتعددة المراحل. |
المواصفات الفنية
| المعلمة | مواصفات TU-87 |
|---|---|
| رقم الموديل | TU-87 |
| هيكل الفرن | هيكل فولاذي مزدوج الطبقات مع مراوح تبريد مزدوجة؛ غطاء علوي مقسم يتم تشغيله بواسطة أسطوانات كهربائية |
| العزل | ألومينا ليفية عالية النقاء مع كتل حرارية عازلة متضمنة |
| درجة الحرارة القصوى | 1200 درجة مئوية |
| درجة الحرارة المستمرة | 1100 درجة مئوية (تحت الضغط الجوي)؛ < 1000 درجة مئوية (تحت الفراغ) |
| طول منطقة التسخين | إجمالي 2100 مم (82.6 بوصة)؛ 7 مناطق يبلغ طول كل منها 300 مم (11.8 بوصة) |
| طول المنطقة الموحدة | 1350 مم ضمن ± 2 درجة مئوية |
| معدل التسخين | بحد أقصى 10 درجات مئوية/دقيقة |
| أبعاد الأنبوب | كوارتز مصهور؛ 8.5 بوصة القطر الخارجي × 8.1 بوصة القطر الداخلي × 60 بوصة الطول (216 مم × 206 مم × 2500 مم) |
| حواف الفراغ | SS 304 مع حلقات O مزدوجة من السيليكون وسترة تبريد مائي |
| التحكم في الغلاف الجوي | صمامان إبريان لمدخل/مخرج الغاز؛ مقياس فراغ/ضغط واحد متضمن |
| مستوى الفراغ | 10-2 تور (مضخة ميكانيكية)؛ 10-5 تور (مضخة توربينية) |
| وحدات التحكم في درجة الحرارة | 7 وحدات تحكم رقمية PID؛ 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة؛ معتمد من MET/CE |
| دقة درجة الحرارة | ± 1 درجة مئوية (± 0.1 درجة مئوية مع ترقية Eurotherm الاختيارية) |
| طاقة الإدخال | ثلاثي الطور 460 فولت تيار متردد، 50/60 هرتز |
| استهلاك الطاقة | 50 كيلوواط كحد أقصى (مطلوب قاطع 70 أمبير) |
| الامتثال | معتمد من CE؛ NRTL (UL61010) أو CSA متاح عند الطلب |
لماذا تختار الفرن الأنبوبي المقسم بسبع مناطق حرارية بدرجة حرارة عالية
- تجانس حراري لا مثيل له: توفر بنية المناطق السبع أطول منطقة تسخين مستقرة في فئتها، مما يضمن حصول العينات الصناعية واسعة النطاق على ظروف حرارية متطابقة من البداية إلى النهاية.
- متانة من الدرجة الصناعية: صُمم هذا النظام للتشغيل المستمر، ويتميز بهيكل فولاذي ممتاز، وتبريد متطور، وإلكترونيات PID عالية الجودة معتمدة وفقاً للمعايير الدولية.
- سلامة فراغ دقيقة: تسمح حواف الفولاذ المقاوم للصدأ المتخصصة وأنابيب الكوارتز عالية النقاء للباحثين بالحفاظ على بيئات فائقة النظافة، وهو أمر ضروري لتطبيقات أشباه الموصلات والفضاء الحساسة.
- أتمتة العمليات المتقدمة: مع برمجة 30 مقطعاً وتكامل البرامج الاختياري، يتم أتمتة الدورات الحرارية المعقدة بسهولة، مما يقلل من خطأ المشغل ويزيد من الإنتاجية.
- تخصيص مرن: من ترقيات وحدة التحكم Eurotherm إلى أنظمة توصيل الغاز المخصصة، نوفر المرونة لتكييف هذا الفرن وفقاً لمتطلبات البحث أو الإنتاج الخاصة بك.
فريقنا الهندسي جاهز لمساعدتك في تكوين الحل الحراري المثالي لمختبرك أو خط إنتاجك. اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة فنية أو لطلب عرض سعر رسمي.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي مقسم بسبع مناطق حرارية 1200 درجة مئوية مع وحدة تحكم دقيقة في درجة الحرارة ونظام تفريغ هوائي سريع
فرن أنبوبي مقسم احترافي بسبع مناطق حرارية يصل إلى 1200 درجة مئوية، مصمم لأبحاث المواد، يتميز بأنبوب كوارتز مقاس 5 بوصات، وتحكم دقيق بنظام PID، وحواف سريعة للتشغيل الحراري السريع تحت بيئات التفريغ أو الغلاف الجوي المتحكم فيه. حل حراري عالي الأداء للبحث والتطوير.
فرن حزام ناقل بسبع مناطق بدرجة 1000°م مع تحكم متعدد المناطق في درجة الحرارة، عرض 150 مم وطول تسخين 2000 مم
فرن حزام ناقل دقيق بسبع مناطق بدرجة 1000°م مخصص للحرق المستمر للأفلام السميكة والتلبيد الخزفي. يتميز هذا النظام عالي الأداء بسبع مناطق تسخين مستقلة وتبريد مدمج لتوفير معالجة حرارية صناعية متسقة ونتائج موثوقة لأبحاث علوم المواد.
فرن أنبوبي مقسم ذو 10 مناطق حرارية بقدرة 1200 درجة مئوية مع إمكانية التركيب الأفقي والرأسي لتدرجات حرارية متعددة المناطق ومعالجة المواد ذات القطر الكبير
نظام فرن أنبوبي مقسم متطور ذو عشر مناطق حرارية بقدرة 1200 درجة مئوية، يوفر تحكماً لا مثيل له في التدرج الحراري من خلال عشر مناطق تسخين مستقلة وإمكانية التركيب الأفقي أو الرأسي المرن، وهو مصمم لمحاكاة العمليات الصناعية الدقيقة، وتخليق المواد، وتطبيقات البحث والتطوير المختبرية عالية الأداء بموثوقية استثنائية.
فرن أنبوبي مقسم متعدد المناطق بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية واثني عشر منطقة، مع أنبوب معالجة من الألومينا قطر 100 مم وتحكم مستقل في التدرج الحراري
فرن أنبوبي مقسم دقيق بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية و12 منطقة، يتميز بأنبوب ألومينا قطر 100 مم ووحدات تحكم PID منفصلة لإنشاء ملامح تدرج حراري معقدة، مثالي لأبحاث علم المواد المتقدمة ومحاكاة الحركية التفاعلية والمعالجة الحرارية الصناعية عالية الحرارة.
فرن أنبوبي مقسم فائق الطول بـ 12 منطقة مع أنبوب كوارتز بطول 20 قدماً ودرجة حرارة قصوى 1100 درجة مئوية
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الدقة ذو الـ 12 منطقة طول تسخين يبلغ ستة أمتار ودرجة حرارة قصوى تصل إلى 1100 درجة مئوية للعينات الطويلة. يتميز بتحكم PID مستقل وحواف جاهزة للتفريغ الهوائي، مما يوفر تجانساً استثنائياً لتطبيقات علوم المواد الصناعية المتقدمة والبحث والتطوير.
فرن أنبوبي مقسم ذو ثماني مناطق حرارية بقدرة 1500 درجة مئوية لمعالجة التدرج الحراري وأبحاث المواد المتقدمة
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الثماني مناطق حرارية تحكماً لا مثيل له في التدرج الحراري لأبحاث المواد المتخصصة، وذلك باستخدام حلقات تحكم PID مستقلة، وعناصر تسخين ممتازة من كربيد السيليكون، وأنبوب موليت عالي النقاء مصمم لتطبيقات المعالجة الحرارية تحت التفريغ أو في جو من الغاز الخامل.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة عالي الحرارة لتطبيقات تلبيد الغلاف الجوي المتقدمة وترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت التفريغ
عزز أبحاث المواد الخاصة بك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة عالي الدقة بدرجة حرارة 1400 مئوية. يتميز بالتحكم المستقل في درجة الحرارة، وقدرات تلبيد الغلاف الجوي، والاستقرار الحراري الفائق، مما يجعله الحل الأمثل لتجارب ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة ومشاريع المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة بقدرة 1200 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز مصهور وشفاه تفريغ، متوفر بأقطار 60 مم و80 مم و100 مم
عزز أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة بقدرة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بتحكم مستقل في درجة الحرارة لتدرجات حرارية دقيقة. مجهز بأنابيب كوارتز مصهورة وشفاه إغلاق بالتفريغ، وهو الحل الأمثل لعمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة وتصنيع المواد النانوية.
فرن أنبوبي مقسم مدمج بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع منطقتي تسخين مزدوجتين وخيارات أنابيب مقاس 1 بوصة - 2 بوصة وحواف تفريغ (Vacuum Flanges)
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم المدمج بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية ومنطقتي تسخين تحكماً دقيقاً في تدرج درجة الحرارة وإمكانيات تفريغ الهواء. تم تصميمه للبحث والتطوير في علوم المواد، ويتميز بوحدات تحكم PID مستقلة، وحواف من الفولاذ المقاوم للصدأ، وعزل ليفي موفر للطاقة لأداء معملي متسق.
فرن أنبوب منقسم بأربع مناطق بحد أقصى 1200°C مع أنابيب كوارتز كبيرة القطر اختيارية
سرّع أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنقسم بأربع مناطق ودرجة 1200°C، والذي يوفّر حجرات اختيارية بقطر 14 بوصة وعزلًا عالي النقاء. إنه يقدّم تجانسًا حراريًا دقيقًا عبر مناطق تسخين واسعة، مما يجعله مثاليًا للتلبيد واسع النطاق، والتخمير، وعمليات الترسيب البخاري الصناعية المتقدمة.
فرن أنبوبي مقسم متعدد المناطق رباعي المناطق بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع وحدات تحكم رقمية مستقلة في درجة الحرارة لأنابيب المعالجة مقاس بوصة أو بوصتين
فرن أنبوبي مقسم متعدد المناطق رباعي المناطق دقيق مصمم لتطبيقات الترسيب الكيميائي والفيزيائي بالبخار، يوفر تحكماً مستقلاً في درجة الحرارة عبر أربع مناطق تسخين لخلق تدرج حراري دقيق أو بيئة معالجة موحدة لأبحاث المواد المتقدمة والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي مشقوق بثلاث مناطق بطول 24 بوصة مع أنبوب كوارتز اختياري ونظام فلنجة تفريغ للتركيب الحراري للمواد عالية الحرارة
عزّز أبحاث المواد لديك مع هذا الفرن الأنبوبي المشقوق الفاخر بثلاث مناطق وبطول 24 بوصة. بفضل التحكم المستقل في درجة الحرارة، والتوافق مع أنبوب الكوارتز، والفلنجات المحكمة بالتفريغ، يوفّر معالجة حرارية دقيقة حتى 1200°م للتطبيقات المخبرية والصناعية المتطلبة في البحث والتطوير.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق عالي الحرارة، بحد أقصى 1200 درجة مئوية، طول تسخين 35.4 بوصة، أنبوب بقطر داخلي 8 بوصات
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق عالي الأداء بمنطقة تسخين بطول 35.4 بوصة وأنبوب بقطر 8 بوصات للمعالجة الحرارية المتقدمة. حقق درجات حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع إدارة مستقلة للمناطق للحصول على تجانس فائق في أجواء الفراغ أو الغاز.
فرن أنابيب عمودي منقسم ثلاثي المناطق 1200 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 4 بوصات وشفاه فراغية من الفولاذ المقاوم للصدأ
يتميز هذا الفرن العمودي ثلاثي المناطق المنقسم بدرجة 1200 مئوية بأنبوب كوارتز مقاس 4 بوصات وشفاه فراغية من الفولاذ المقاوم للصدأ للمعالجة الحرارية عالية الدقة. وهو مثالي لتبريد المواد وتخليقها، ويضمن هذا النظام المتين تسخينًا متجانسًا وإمكانية تحميل العينات بسرعة.
فرن أنبوب منقسم عالي الحرارة 1700°م بست مناطق مع أنبوب من الألومينا وشفاه مبردة بالماء
فرن أنبوب منقسم دقيق بست مناطق بقدرة 1700°م، مصمم لأبحاث المواد وتطبيقات الترسيب البخاري الصناعي. يوفر هذا النظام متعدد الاستخدامات تحكمًا مستقلاً في مناطق الحرارة وشفاهًا جاهزة للتفريغ لضمان المعالجة الحرارية المتسقة ومتطلبات تطوير المواد المتقدمة، بما يضمن أقصى أداء.
فرن أنبوبي مقسّم ثلاثي المناطق بطول تسخين 36 بوصة، فرن أبحاث مواد عالي الحرارة 1200°م مزود بشفاه تفريغ
فرن أنبوبي مقسّم ثلاثي المناطق مصمم بدقة لمعالجة درجات حرارة عالية حتى 1200°م. يتميز بتحكم PID متقدم لتطبيقات الغلاف الجوي والتفريغ في البحث والتطوير في علوم المواد، مع توفير تجانس حراري استثنائي وأداء موثوق للبيئات المختبرية الصناعية والمؤسسات البحثية.
فرن أنبوبي رأسي مشقوق بخمس مناطق، بحد أقصى 1200°م، مع أنبوب كوارتز 4 بوصات وحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المشقوق عالي الأداء ذو الخمس مناطق، والمصمم للعمل حتى 1200°م، بخمس مناطق تسخين مستقلة وأنبوب كوارتز بقياس أربع بوصات، مما يوفر تجانسًا استثنائيًا في درجات الحرارة وقدرات تبريد سريع للبحوث المتقدمة في المواد والمعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي عمودي منفصل بثلاث مناطق تسخين لنظام المعالجة الحرارية بالفراغ والغلاف الجوي عالي الحرارة 1700
فرن أنبوبي عمودي منفصل متقدم بثلاث مناطق تسخين ودرجة حرارة 1700°م للتطبيقات الصناعية في البحث والتطوير وعلوم المواد. يتميز هذا النظام الدقيق بتحكم حراري مستقل، وقدرات تفريغ عالٍ، وعزل موفر للطاقة لضمان معالجة مستقرة عند درجات الحرارة العالية ونتائج إخماد سريع للعينات.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق قابل للفصل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع طول تسخين 18 بوصة وفلانشات تفريغ
حسّن المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق القابل للفصل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية. يتميز بطول تسخين 18 بوصة وتحكم PID دقيق، ويوفر تجانسًا استثنائيًا في درجة الحرارة لأبحاث المواد المتقدمة، والتخمير، والتصليد، وتطبيقات البحث والتطوير الصناعي المحترف عبر مرافق المختبرات العالمية.
فرن أنبوبي مقسم بست مناطق مع أنبوب ألومينا وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية وترسيب البخار الكيميائي (CVD)
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الست مناطق والذي يعمل بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية تحكماً حرارياً استثنائياً للبحوث المختبرية المهنية وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ذات الحرارة العالية. يتميز بأنبوب ألومينا بطول 1800 مم ووحدات تحكم PID دقيقة مكونة من 30 شريحة لضمان نتائج معالجة وتلدين متسقة للمواد.