فرن أنبوب ثلاثي المناطق مع أنبوب كوارتز 11 بوصة أو 15 بوصة ووصلات مفصلية لمعالجة حرارية في جو فراغي

نظرة عامة على المنتج

يمثل هذا الفرن الأنبوبي المنقسم ثلاثي المناطق عالي الأداء قمة في هندسة المعالجة الحرارية، مصمم خصيصًا لتلبية المتطلبات الصارمة لأبحاث علوم المواد والبحث والتطوير الصناعي. من خلال دمج حجرة معالجة كوارتز كبيرة القطر مع مناطق تسخين خاضعة للتحكم الدقيق، يوفر الجهاز منصة مستقلة ومتعددة الاستخدامات للمعالجات الحرارية المعقدة. تكمن القيمة الأساسية المقترحة لهذا النظام في قدرته على الحفاظ على تجانس حراري استثنائي على طول كبير، وهو أمر بالغ الأهمية لنجاح عمليات الترسيب الكيميائي البخاري (CVD) والتبييض الدقيقة.

تمتد حالات الاستخدام الأساسية لهذه الوحدة عبر قطاعات التكنولوجيا المتقدمة المختلفة، بما في ذلك تصنيع أشباه الموصلات، وأبحاث تخزين الطاقة، والسيراميك المتقدم. وهي فعالة بشكل خاص لتبييض الرقائق كبيرة الحجم (حتى 12 بوصة)، وعمليات الانتشار، وتخليق العينات السائبة تحت بيئات فراغية أو غازية خاضعة للتحكم الدقيق. تم تصميم الجهاز للتعامل مع التشغيل المستمر في درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية، مما يجعله عنصرًا أساسيًا للمختبرات التي تركز على تنظيم البنية الكربونية المطعمة بالنيتروجين أو تطوير المحفزات من الجيل التالي.

بُني هذا النظام بمكونات صناعية متينة، مما يقدم موثوقية لا مثيل لها في بيئات الإنتاجية العالية. تضمين مشغلات الغطاء الموتوريزية يضمن وصولاً سلسًا وقابلاً للتكرار إلى حجرة التسخين، مما يقلل من خطر الصدمة الميكانيكية لأنبوب الكوارتز ويحسن سلامة المشغل. سواء تم استخدامه للتخليق الأكاديمي للمواد أو دراسات التوسع الصناعي، فإن الوحدة تقدم نتائج متسقة وقابلة للتكرار تحت أكثر دورات الحرارة طلبًا، مما يغرس ثقة كاملة في سلامة المواد المعالجة.

الميزات الرئيسية

• إدارة دقيقة لدرجة الحرارة ثلاثية المناطق: يستخدم هذا النظام ثلاث وحدات تحكم PID قابلة للبرمجة مستقلة لإدارة مناطق تسخين منفصلة طولها 300 مم. يسمح هذا التكوين بإنشاء تدرجات حرارية محددة أو منطقة ثابتة درجة الحرارة واسعة ومتجانسة للغاية تصل إلى 600 مم، مما يضمن نتائج متسقة عبر دفعات كبيرة أو ركائز طويلة.
• حجرات معالجة كوارتز كبيرة الحجم: يمكن للمشترين الاختيار بين أنابيب كوارتز بقطر خارجي 11 بوصة و15 بوصة. توفر أنابيب الكوارتز المصهورة عالية النقاء هذه خمولاً كيميائيًا ممتازًا ومقاومة للصدمات الحرارية، مما يسمح بالمراقبة البصرية الواضحة لحالة العينة أثناء التفاعلات عالية الحرارة دون المساس بتكامل الفراغ.
• تشغيل غطاء موتوريزي آلي: يتميز الفرن بزوج من المشغلات الموتوريزية عالية العزم التي تفتح وتغلق تجميع الغطاء المنقسم. يلغي هذا الاختيار الهندسي الإجهاد البدني للتشغيل اليدوي ويضمن وضع الغطاء الثقيل للفرن بدقة، مما يحمي عزل الألياف السيراميكية الداخلي وأنبوب الكوارتز من الاصطدام العرضي.
• تقنية تسخين SiC المتقدمة: مجهزة بـ 42 عنصر تسخين عالي الأداء من كربيد السيليكون (SiC)، تصل الوحدة إلى معدلات تسخين سريعة تصل إلى 10 درجات مئوية/دقيقة. يتم وضع هذه العناصر بشكل استراتيجي لتوفير حرارة إشعاعية متوازنة، مما يساهم في قدرة النظام على الوصول إلى درجة حرارة تشغيل قصوى تبلغ 1200 درجة مئوية للمهام قصيرة المدة.
• وصلات مفصلية محكمة للتحكم في الجو: تم تجهيز الفرن بزوج من الوصلات المفصلية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ والمحكمة بمطاط. يسهل هذا التصميم التحميل والتفريغ السريع للعينات مع الحفاظ على حاجز قوي لمستويات فراغ تصل إلى 10^-4 تور عند استخدامها مع مضخة توربو عالية السعة وكتل حرارية مناسبة.
• هندسة تبريد وسلامة قوية: يضمن هيكل فولاذي مزدوج الطبقات مدمج مع تبريد هوائي قسري بقاء درجة حرارة السطح الخارجي أقل من 70 درجة مئوية حتى أثناء التشغيل القصوى. هذا يحمي أفراد المختبر والمعدات المحيطة مع الحفاظ على كفاءة العزل الحراري الليفي الألومينا الداخلي.
• خيارات تحكم قابلة للتخصيص: بينما تتميز النماذج القياسية بتحكم PID مكون من 30 مقطعًا بدقة ±1 درجة مئوية، يمكن ترقية الجهاز بوحدات تحكم Eurotherm من السلسلة 3000. توفر هذه الوحدات الاختيارية دقة ±0.1 درجة مئوية وبروتوكولات اتصال RS-485 متقدمة لتسجيل البيانات المعقدة ومراقبة العمليات عن بُعد في بيئات الصناعة 4.0.
• منافذ غاز وفراغ مدمجة: تتضمن الوصلات الفولاذية المقاومة للصدأ مجموعة شاملة من المنافذ، بما في ذلك صمامات الإبرة، ومقاييس الضغط، ووصلات فراغ KF40. هذا يسمح بالتكامل السلس مع أنظمة توصيل الغاز ومضخات الفراغ، مما يسهل قياس درجة الحرارة في الموقع والتلاعب الدقيق بالجو.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار فرن الأنبوب ثلاثي المناطق

• دقة حرارية من الدرجة الصناعية: توفر هندسة PID متعددة المناطق التحكم التفصيلي الضروري للبحث والتطوير عالي المخاطر. من خلال السماح بالضبط المستقل لمناطق التسخين المسبق، والمعالجة، والتبريد، يضمن هذا النظام بقاء تخليق المواد الخاص بك قابلاً للتكرار وسليمًا علميًا.
• مصمم للإنتاجية العالية: مع حجرة معالجة هائلة 11 بوصة أو 15 بوصة، يتجاوز هذا الفرن حدود المعدات المخبرية القياسية. فهو يربط الفجوة بين التجارب الصغيرة النطاق والإنتاج التجريبي، ويقدم الحجم المطلوب لمعالجة الرقائق 8-12 بوصة.
• معايير بناء وسلامة فائقة: من الغطاء الموتوريزي الذي يمنع التآكل الميكانيكي إلى نظام التبريد مزدوج الهيكل الذي يحمي المشغلين، كل عنصر مصمم للديمومة. يعكس استخدام عزل الألومينا الحراري الممتاز وعناصر SiC عالية الكثافة التزامًا بمتانة من الدرجة الصناعية.
• تكامل جوي متعدد الاستخدامات: سواء كانت عمليتك تتطلب غازًا خاملاً عالي النقاء أو بيئة فراغية عميقة، فإن الوصلات المفصلية المحكمة توفر حلاً موثوقًا وسهل الاستخدام. توفر المرونة للتبديل بين الفراغ والجو دون تغيير الأجهزة، مما يجعل هذا الجهاز أصلًا متعدد الاستخدامات لأي مختبر علوم مواد.
• تخصيص ودعم لا مثيل لهما: نحن ندرك أن كل مشروع بحث له متطلبات فريدة. من قوارب الرقائق الكوارتزية الاختيارية إلى أنظمة التحكم Eurotherم المطورة وتكوينات الطاقة المخصصة، نقدم الدعم الفني اللازم لتكييف هذا النظام مع سير العمل الخاص بك.

فريق المهندسين لدينا مستعد لمساعدتك في تكوين الحل الحراري المثالي لتطبيقات المواد المتقدمة الخاصة بك. اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة فنية أو عرض سعر رسمي.