فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بحد أقصى 1200 درجة مئوية، قطر خارجي 6 بوصات مع أنبوب وشفة

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لتلبية المتطلبات الصارمة لأبحاث علوم المواد والإنتاج الصناعي. يتميز الجهاز بتكوين تسخين ثلاثي المناطق وسعة قطر خارجي سخية تبلغ 150 مم (6 بوصات)، مما يوفر منصة متعددة الاستخدامات لمعالجة العينات على نطاق واسع، بما في ذلك تلدين رقائق السيليكون مقاس 4 بوصات. من خلال استخدام ثلاث مناطق تسخين يتم التحكم فيها بشكل مستقل، يمكن للمستخدمين تحقيق تجانس استثنائي في درجة الحرارة أو إنشاء تدرجات حرارية دقيقة، مما يجعل هذه الوحدة أداة لا غنى عنها لدورات المعالجة الحرارية المعقدة التي تتطلب تحكماً صارماً في الغلاف الجوي واستقراراً حرارياً.

تم تصميم النظام لمجموعة واسعة من التطبيقات عبر صناعات أشباه الموصلات والفضاء والسيراميك المتقدم. سواء تم استخدامه للترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، أو تلبيد المواد عالية النقاء، أو الأكسدة الخاضعة للرقابة للمكونات المعدنية، فإن الجهاز يقدم نتائج قابلة للتكرار وموثوقة. يسمح هيكله القوي وواجهة التحكم المتطورة بالتكامل السلس في مختبرات البحث والتطوير وخطوط الإنتاج التجريبية حيث تعتبر الدقة وقابلية التوسع أمراً بالغ الأهمية لتطوير الجيل القادم من المواد ذات درجات الحرارة العالية.

تم بناء هذا الفرن مع وضع الموثوقية التشغيلية طويلة المدى في الاعتبار، ويستخدم عازلاً عالي الجودة وإدارة طاقة متقدمة للحفاظ على أداء ثابت في ظل الظروف الصعبة. يضمن دمج عازل ألياف الألومينا عالي النقاء كفاءة حرارية مع تقليل فقدان الحرارة، مما ينتج عنه نظام موفر للطاقة وسريع الاستجابة لتعديلات درجة الحرارة. يمكن لمديري المختبرات وفرق المشتريات الاعتماد على هذا الجهاز لتوفير بيئة حرارية مستقرة، مما يضمن حماية التجارب الحيوية ودفعات الإنتاج من التقلبات الحرارية والتلوث.

الميزات الرئيسية

• تحكم مستقل ثلاثي المناطق: يتميز النظام بثلاث مناطق تسخين متميزة تسمح بإنشاء منطقة درجة حرارة موحدة ممتدة أو تدرج حراري مخصص. يعد هذا التكوين ضرورياً للعمليات التي تتطلب ملفات تعريف محددة لدرجة الحرارة عبر طول أنبوب المعالجة، مثل نمو البلورات أو التلدين على دفعات كبيرة.
• واجهة شاشة تعمل باللمس متطورة: توفر لوحة لمس عالية الدقة مقاس 7 بوصات مركز تحكم بديهياً للنظام بأكمله. يمكن للمستخدمين الاستفادة من وظيفة البدء/الإيقاف بنقرة واحدة، ومراقبة البيانات في الوقت الفعلي، والقدرة على تخزين برامج حرارية معقدة متعددة مسبقاً، مما يقلل بشكل كبير من احتمالية حدوث أخطاء في الإعداد اليدوي.
• تنظيم درجة الحرارة بتقنية PID الدقيقة: مجهزة بوحدة تحكم PID متطورة ووظائف الضبط التلقائي، تحافظ الوحدة على دقة درجة حرارة تبلغ +/- 0.2 درجة مئوية. يعد هذا المستوى من الدقة أمراً بالغ الأهمية لمعالجة المواد الحساسة حيث يمكن أن تؤثر حتى الانحرافات الطفيفة على السلامة الهيكلية أو الخصائص الكهربائية للعينة.
• عازل ألياف Al2O3 عالي النقاء: تم تبطين غرفة الفرن بعازل ألياف الألومينا عالي النقاء الموفر للطاقة، والذي تم تعزيزه بطبقة من أكسيد الألومنيوم. هذا المزيج لا يطيل عمر عناصر التسخين فحسب، بل يضمن أيضاً معدلات تسخين سريعة واحتواءً حرارياً فائقاً.
• قدرة معالجة ذات قطر كبير: صُمم هذا النظام لاستيعاب أنابيب الكوارتز التي يصل قطرها إلى 150 مم (6 بوصات)، وهو مثالي لمعالجة رقائق السيليكون مقاس 4 بوصات وعينات المواد السائبة الأكبر حجماً. المرونة في استخدام أقطار أنابيب مختلفة (من 80 مم إلى 150 مم) عبر المحولات تجعله أصلاً قابلاً للتكيف بدرجة كبيرة مع احتياجات البحث المتطورة.
• تسجيل بيانات شامل: يقوم نظام التحكم المتكامل بتسجيل بيانات العملية تلقائياً، مع تخزين السجل لمدة تصل إلى شهر واحد. تسهل هذه الميزة التحليل الشامل بعد العملية ووثائق مراقبة الجودة، وهو أمر حيوي للشهادات الصناعية وقابلية تكرار الأبحاث.
• إغلاق قوي للفراغ والغلاف الجوي: تتوفر حواف إغلاق من الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودة لدعم المعالجة تحت الفراغ أو بيئات الغاز الخاضعة للرقابة. يسمح هذا للجهاز بالتعامل مع كيمياء متنوعة ومنع الأكسدة خلال دورات درجات الحرارة العالية.
• هندسة السلامة أولاً: تأتي آليات الحماية المدمجة ضد ارتفاع درجة الحرارة وفشل المزدوجة الحرارية بشكل قياسي، مما يوفر راحة البال أثناء التشغيل لفترات طويلة. يؤكد تصميم النظام على التشغيل الآمن مع بروتوكولات محددة لإدارة الضغط وتنظيم تدفق الغاز.
• أداء عازل الأنبوب الصلب: يوفر تصميم عازل الأنبوب الصلب منطقة درجة حرارة أكثر اتساقاً مقارنة بتصاميم الأنبوب المنقسم القياسية، مما يضمن توزيع الحرارة المشعة بالتساوي حول المحيط الكامل لأنبوب المعالجة.
• مرونة القطاعات القابلة للبرمجة: مع 50 قطاعاً قابلاً للبرمجة، يدعم النظام منحدرات تسخين وتبريد معقدة للغاية. وهذا يسمح بمحاكاة دقيقة للدورات الحرارية الصناعية والقدرة على إجراء تبريد بطيء ومتحكم فيه لمنع الصدمة الحرارية في المواد الهشة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار TU-37

• دقة حرارية لا مثيل لها: تستفيد سلسلة TU-37 من بنية متطورة ثلاثية المناطق تقضي على الانخفاض الحراري النموذجي للأنظمة أحادية المنطقة، مما يوفر منطقة موحدة ضخمة تبلغ 420 مم للعمليات الصناعية الحرجة.
• جودة بناء صناعية: من عازل ألياف Al2O3 عالي النقاء إلى حواف الفولاذ المقاوم للصدأ للخدمة الشاقة، تم اختيار كل مكون من مكونات النظام لقدرته على تحمل التشغيل المستمر في بيئات البحث والتطوير الصعبة.
• سعة معالجة قابلة للتوسع: تتيح القدرة الفريدة على استيعاب أنابيب مقاس 6 بوصات (150 مم) للباحثين الانتقال بسلاسة من الاختبار على نطاق صغير إلى إنتاج رقائق السيليكون مقاس 4 بوصات دون تغيير منصات المعدات.
• تحكم رقمي يركز على المستخدم: تعمل واجهة شاشة اللمس وتسجيل البيانات الآلي على تقليل منحنى التعلم التشغيلي مع ضمان توثيق جميع معلمات العملية بدقة للامتثال وضمان الجودة.
• مرونة جوية متعددة الاستخدامات: سواء كانت عمليتك تتطلب فراغاً عالياً، أو تدفق غاز خامل، أو إدارة ضغط محددة، فإن خيارات الحواف والضخ القابلة للتكيف في النظام توفر حلاً مستقبلياً لمسارات بحثية متنوعة.

فريقنا الهندسي جاهز لمساعدتك في تكوين حل المعالجة الحرارية المثالي لمتطلباتك المحددة. اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة فنية أو عرض سعر رسمي لنظام TU-37.