فرن أنبوبي دوار ثلاثي المناطق مقاس 5 بوصات مع نظام توصيل غاز مدمج وقدرة تصل إلى 1200 درجة مئوية لمعالجة المواد المتقدمة بتقنية CVD

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية الدوار عالي الأداء هذا لتطبيقات علوم المواد المتقدمة التي تتطلب تجانسًا حراريًا استثنائيًا وتحكمًا دقيقًا في الغلاف الجوي. صُممت هذه المعدات كجسر حيوي بين أبحاث المختبر والإنتاج الصناعي، وهي تسهل تخليق وطلاء المساحيق عالية النقاء تحت ظروف خاضعة للرقابة. يضمن تصميمها الدوار الفريد وبنية التسخين متعددة المناطق تعرض كل جسيم من مادة السلائف لنفس البيئة الحرارية والكيميائية، مما يجعلها أداة لا غنى عنها لتطوير مواد البطاريات من الجيل التالي، والمحفزات، والسيراميك المتخصص.

تم تحسين النظام للترسيب الكيميائي للبخار (CVD) وعمليات المعالجة الحرارية المختلفة حيث يكون تجانس المواد أمرًا بالغ الأهمية. من خلال الجمع بين آلية الإمالة وأنبوب كوارتز منصهر دوار، تعزز الوحدة الحركة المستمرة للمواد، مما يمنع التكتل ويضمن تعديلًا ثابتًا للسطح. تعتبر هذه المعدات فعالة بشكل خاص لمعالجة مساحيق الأنود والكاثود، مما يتيح للباحثين توسيع نطاق نتائجهم التجريبية بثقة عالية في إمكانية تكرار النتائج. كما يعزز دمج نظام توصيل الغاز المتطور قدرته على التعامل مع التفاعلات المعقدة في الطور الغازي.

تعد الموثوقية ركيزة أساسية في تصميم هذه الوحدة الحرارية. فهي تتميز بهيكل مزدوج قوي مع مراوح تبريد مدمجة للحفاظ على درجة حرارة الغلاف الخارجي منخفضة أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية. تم اختيار كل مكون، بدءًا من العزل الليفي للألومينا عالي النقاء وصولًا إلى محرك التروس DC الدقيق، لضمان المتانة في ظل دورات البحث والتطوير الصناعية الصعبة. يضمن الامتثال لمعايير السلامة الدولية أن النظام جاهز للنشر الفوري في بيئات المختبرات الصارمة في جميع أنحاء العالم، مما يوفر منصة مستقرة وآمنة لمعالجة المواد الحساسة.

الميزات الرئيسية

• بنية حرارية دقيقة متعددة المناطق: يستخدم النظام ثلاث مناطق تسخين يتم التحكم فيها بشكل مستقل تمتد بطول إجمالي يبلغ 600 مم. يسمح هذا التكوين بإنشاء تدرجات حرارية دقيقة أو منطقة درجة حرارة ثابتة ممتدة تبلغ 450 مم، مما يوفر دقة حرارية تبلغ ±1 درجة مئوية لتخليق المواد شديدة الحساسية.
• آلية دوارة ومائلة ديناميكية: مجهز بمحرك تروس DC متغير السرعة (0-10 دورة في الدقيقة) ووظيفة إمالة كهربائية يدوية (تصل إلى 30 درجة)، يضمن النظام تحريك المواد الأمثل والتحكم في الإنتاجية. هذه الحركة الديناميكية ضرورية لتحقيق طلاءات موحدة على جزيئات المسحوق الفردية أثناء عمليات CVD والتكليس.
• توصيل غاز رباعي القنوات مدمج: يسمح نظام خلط وتوصيل الغاز المتطور الذي يتميز بواجهة شاشة تعمل باللمس رقمية بالتنظيم الدقيق لما يصل إلى أربعة غازات سلائف أو غازات خاملة متميزة. وهذا يتيح التحكم المعقد في الغلاف الجوي والتفاعلات الكيميائية متعددة المراحل داخل دورة معالجة واحدة.
• عزل حراري فائق: غرفة الفرن مبطنة بعزل ليفي من الألومينا عالي النقاء، مما يوفر أقصى كفاءة في استخدام الطاقة ومعدلات تسخين سريعة مع تقليل فقدان الحرارة. يضمن هذا العزل من الدرجة التقنية سلامة هيكلية طويلة الأمد وأداءً ثابتًا في درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية.
• إدارة متقدمة للفراغ والتلوث: يأتي مع النظام مضخة فراغ ميكانيكية للخدمة الشاقة مقترنة بفلتر عادم عالي الكفاءة ومصيدة فراغ باردة. يحمي هذا التكوين أجهزة الفراغ من نواتج CVD الثانوية ويمنع تلوث العملية، مما يحافظ على ضغط الغرفة منخفضًا حتى 10-2 تور.
• أنظمة تحكم من الدرجة الصناعية: تدير ثلاث وحدات تحكم PID قابلة للبرمجة الملف الحراري لكل منطقة بشكل مستقل. لتحسين إدارة البيانات، يمكن ترقية النظام بعناصر تحكم تعمل باللمس وبرامج تعتمد على LabVIEW لتسجيل ورسم البيانات الحرارية، مما يضمن إمكانية التتبع الكامل لوثائق البحث والتطوير.
• هندسة تركز على السلامة: تم بناء الفرن بغلاف مزدوج ومراوح تبريد لضمان سلامة المشغل. جميع المكونات الكهربائية معترف بها من قبل UL أو Met، ويتضمن تصميم النظام غطاءً مقسمًا للتبريد السريع وسهولة الوصول إلى أنبوب المعالجة.
• تكوين أنبوب متعدد الاستخدامات: تشتمل الوحدة على أنبوب كوارتز منصهر بقطر خارجي 130 مم مجهز بأربع شفرات خلط داخلية لزيادة تعرض مساحة السطح إلى الحد الأقصى. توفر حواف الإغلاق المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع صمامات الإبرة وموصلات الغاز القابلة للدوران ختمًا محكمًا لتطبيقات الفراغ العالي أو الغلاف الجوي الخاضع للرقابة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار TU-X11

• مسار قابل للتوسع نحو الإنتاج: تم تصميم هذه المعدات خصيصًا كخطوة وسيطة فعالة من حيث التكلفة، مما يسمح للباحثين بنقل عمليات المواد بنجاح من عينات المختبر الصغيرة إلى دفعات الإنتاج التي تصل إلى 2 كجم.
• تجانس حراري لا مثيل له: على عكس الأفران الأنبوبية الثابتة، فإن التسخين ثلاثي المناطق جنبًا إلى جنب مع الدوران المستمر يلغي التدرجات الحرارية داخل طبقة المواد، مما يضمن حصول كل جسيم على نفس المعالجة الحرارية.
• حل CVD جاهز للاستخدام: من خلال دمج نظام توصيل الغاز رباعي القنوات، ومضخة الفراغ، والمصيدة الباردة في حزمة واحدة، يوفر النظام بيئة شاملة للترسيب الكيميائي للبخار المتطور دون الحاجة إلى مكونات إضافية من جهات خارجية.
• سلامة المواد الممتازة: يضمن استخدام الكوارتز عالي النقاء وعزل الألومينا عالي الكفاءة بقاء بيئة المعالجة خالية من التلوث المعدني، مما يحمي سلامة المواد الإلكترونية ومواد البطاريات الحساسة.
• موثوقية ودعم مثبتان: تم بناء هذا النظام ليتحمل قسوة البحث والتطوير الصناعي، وهو مدعوم بضمان شامل وفريق دعم فني مخصص لضمان الاتساق التشغيلي طويل الأمد.

اتصل بـ THERMUNITS اليوم للحصول على استشارة فنية مفصلة أو لطلب عرض أسعار مخصص مصمم خصيصًا لمتطلبات معالجة المواد الخاصة بك.