فرن RTP
فرن أنبوبي 1200 درجة مئوية مع انزلاق مغناطيسي داخلي للعينة للترسيب المباشر بالتبخير والمعالجة الحرارية السريعة
رقم العنصر: TU-RT02
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الدقة هذا لأبحاث علوم المواد المتقدمة، مع استهداف المتطلبات المعقدة للترسيب المباشر بالتبخير (DVD) والمعالجة الحرارية السريعة (RTP). من خلال دمج آلية انزلاق مغناطيسية يدوية للعينة، تسمح المعدات بوضع دقيق للعينة داخل منطقة التسخين دون المساس بسلامة الفراغ أو الجو للعملية. هذه القدرة ضرورية للباحثين الذين يعملون مع المواد ثنائية الأبعاد، وترسيب الأغشية الرقيقة، والتشغيل الحراري حيث يجب التحكم في مراحل درجة الحرارة الانتقالية بدقة فائقة.
تم تصميم المعدات للعمل في درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية، مما يوفر منصة قوية للتخليق عالي الحرارة والبحث والتطوير الصناعي. يجعل تصميم الأنبوب المدمج مقاس 2 بوصة مناسبًا تمامًا لبيئات المختبرات التي تتطلب أداءً عاليًا ضمن مساحة محدودة. تشمل الصناعات المستهدفة تصنيع أشباه الموصلات، وتقنية النانو، والسيراميك المتقدم، حيث تعد القدرة على معالجة موضع العينة بالنسبة للتدرج الحراري المستقر عاملاً حاسماً في تحقيق نتائج تجريبية قابلة للتكرار.
تم بناء هذه الوحدة بمكونات صناعية مع التركيز على الموثوقية طويلة الأجل، وتضمن أداءً متسقًا في الظروف الصعبة. يوفر الجمع بين حامل العينة المصنوع من الألومينا عالي التوصيل، ومراقب درجة الحرارة المعتمد من NIST، ونظام PID المتطور للمشغلين الثقة اللازمة لنمو المواد الحساسة. سواء تم استخدامه للتخليق في جو متحكم فيه أو بيئة فراغ عالية، يوفر النظام الاستقرار الحراري والدقة الميكانيكية اللازمة لسير عمل توصيف وإنتاج المواد الحديثة.
الميزات الرئيسية
- حركة عينة مغناطيسية مبتكرة: يستخدم النظام آلية سفر داخلية مدفوعة بمغناطيس خارجي، مما يسمح لحامل العينة بالتحرك بسلاسة عبر منطقة التسخين. هذا يتيح تحكمًا دقيقًا في معدلات الترسيب والتعرض الحراري دون كسر ختم الفراغ.
- حامل عينة من الألومينا عالي التوصيل: تتميز المعدات بحامل عينة مسطح مصمم لتحقيق تلامس حراري مثالي، مما يضمن أن درجة الحرارة التي يتم مراقبتها عبر المزدوجة الحرارية من النوع K المدمجة تعكس الحالة الفعلية للعينة بدقة عالية.
- مراقبة دقيقة معتمدة من NIST: تم تجهيز كل وحدة بمراقب درجة حرارة دقيق معتمد من NIST متصل عبر منفذ تغذية فراغ مخصص، مما يوفر طبقة إضافية من التحقق للأبحاث الحيوية والامتثال.
- تحكم PID برمجي متقدم بـ 30 مقطعًا: يسمح متحكم درجة الحرارة بملفات تعريف حرارية معقدة، بما في ذلك دورات التسخين، والتثبيت، والتبريد، مع حماية مدمجة ضد ارتفاع درجة الحرارة وفشل المزدوجة الحرارية لحماية المعدات.
- مرونة الغلاف الجوي ثنائي المنطقة: مصمم للتشغيل تحت الفراغ أو الأجواء منخفضة الضغط، النظام متوافق مع غازات مختلفة، مما يجعله متعدد الاستخدامات لـ CVD و DVD وعمليات البخار الكيميائي الأخرى.
- تركيبة عنصر التسخين القوية: باستخدام سبائك Fe-Cr-Al عالية الجودة المطعمة بالموليبدينوم، تم تصميم عناصر التسخين لتحمل درجات الحرارة العالية والاستجابة السريعة، مع الحفاظ على درجة حرارة قصوى تبلغ 1200 درجة مئوية.
- عزل حراري محسّن: يتم استخدام كتل أنبوب السيراميك الليفي عالي النقاء لتقليل الإشعاع الحراري نحو شفة الفراغ، وحماية الأختام وضمان ملف تعريف درجة حرارة مستقر داخل منطقة العمل.
- تكامل فراغ معياري: يسمح منفذ الفراغ القياسي KF25 ووصلات الشرب 1/4 بوصة بالتكامل السريع مع المضخات الميكانيكية أو التوربينية، مما يسهل الإخلاء السريع وبيئات المعالجة النظيفة.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| نمو المواد ثنائية الأبعاد | تخليق الجرافين، MoS2، وثنائي كالكوجينيدات المعدنية الانتقالية الأخرى باستخدام ترسيب البخار المتحكم فيه. | تسمح حركة العينة الدقيقة بالتبلؤ والنمو المحدد. |
| المعالجة الحرارية السريعة | تعريض رقائق أشباه الموصلات لدورات تسخين وتبريد سريعة لتنشيط الشوائب أو تغيير خصائص الفيلم. | يسمح الانزلاق المدفوع بالمغناطيس بالانتقال السريع بين المناطق الساخنة والباردة. |
| الترسيب المباشر بالتبخير | تبخير المواد الأولية الصلبة عند حرارة عالية وترسيبها على ركيزة موضوعة عند تدرج أبرد. | يُحسّن تحديد موضع العينة الدقيق داخل التدرج الحراري جودة الفيلم. |
| التلدين للأغشية الرقيقة | معالجة حرارية بعد الترسيب للأغشية الرقيقة لتحسين التبلور والخصائص الكهربائية. | يضمن تحكم PID المتسق بنية بلورية موحدة عبر الركيزة. |
| أبحاث المحفزات | اختبار وتنشيط المواد التحفيزية في أجواء غازية متنوعة ودرجات حرارة عالية. | يسمح الفراغ العالي والتحكم في الجو ببيئات تفاعل نظيفة وقابلة للتكرار. |
| تلبيد السيراميك | معالجة عالية الحرارة لمكونات السيراميك أو المساحيق صغيرة الحجم. | توفر قدرة 1200 درجة مئوية المستقرة الحرارة اللازمة لتكوين المواد الكثيفة. |
المواصفات الفنية
| فئة المواصفات | تفاصيل المعلمات (TU-RT02) |
|---|---|
| معرف الطراز | TU-RT02 |
| مزود الطاقة | 110 فولت تيار متردد أو 208-240 فولت تيار متردد، 50/60 هرتز (1.5 كيلو واط) |
| درجة الحرارة القصوى | 1200 درجة مئوية (مدة أقل من ساعة واحدة) |
| درجة الحرارة المستمرة | 1100 درجة مئوية |
| معدل التسخين | ≤ 20 درجة مئوية في الدقيقة |
| طول منطقة التسخين | 8 بوصات (200 مم) منطقة واحدة |
| منطقة درجة الحرارة الثابتة | 2.3 بوصة (60 مم) ضمن ± 1 درجة مئوية عند 1000 درجة مئوية |
| متحكم درجة الحرارة | تحكم تلقائي PID، برمجي بـ 30 مقطعًا، تشغيل SSR |
| دقة درجة الحرارة | ± 1 درجة مئوية |
| عناصر التسخين | سبائك Fe-Cr-Al مطعمة بالموليبدينوم |
| أنبوب المعالجة | كوارتز عالي النقاء؛ 50 مم خارجي × 44 مم داخلي × 1000 مم طول |
| حامل العينة | حامل مسطح من الألومينا (2 بوصة طول × 1 بوصة عرض) مع مزدوجة حرارية من النوع K |
| آلية السفر | آلية انزلاق مغناطيسية يدوية مع اقتران مغناطيسي داخلي/خارجي |
| شفاه الفراغ | فولاذ مقاوم للصدأ 2 بوصة مع منفذ KF25، وصلات شرب 1/4 بوصة، ومنفذ تغذية 1/4 بوصة |
| مستوى الفراغ | 10^-2 تور عبر مضخة ميكانيكية قياسية |
| الامتثال | معتمد من CE (NRTL/CSA متاح عند الطلب) |
| الأبعاد والسلامة | يشمل حماية مدمجة من ارتفاع درجة الحرارة وإنذارات فشل المزدوجة الحرارية |
لماذا تختارنا
يضمن الاستثمار في نظام المعالجة الحرارية هذا أن تكون منشأتك مجهزة بأداة مصممة لمواجهة قسوة تقنية النانو الحديثة وتخليق المواد. الميزة الأساسية لآلية السفر الداخلية هي إلغاء الحاجة إلى كسر الفراغ أثناء نقل العينة، مما يزيد بشكل كبير من إنتاجية التجربة ويمنع تلوث العينة. أعطى فريق الهندسة لدينا الأولوية للدقة الحرارية، باستخدام مكونات معتمدة من NIST لضمان أن البيانات التي تجمعها دقيقة وقابلة للنشر.
بالإضافة إلى المواصفات الفنية، تم بناء هذا الفرن ليدوم طويلاً. يضمن الجمع بين الكوارتز عالي الجودة، والعناصر السبائكية المطعمة بالموليبدينوم، وشفاه الفولاذ المقاوم للصدأ القوية أن يحافظ النظام على أدائه على مدى سنوات من التشغيل المستمر. علاوة على ذلك، تسمح الطبيعة المعيارية لمنافذ الفراغ وتوصيل الغاز بالتوسع المستقبلي، سواء كنت تضيف خلاطات غاز متعددة القنوات أو وحدات تحكم متقدمة تعتمد على الكمبيوتر.
اتصل بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم للحصول على عرض أسعار شامل أو لمناقشة حل مخصص مصمم خصيصًا لمتطلبات عمليتك.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي معملي متعدد الاتجاهات بعشر مناطق للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية وتدرج حراري
مُحسّن لإنشاء منحنيات حرارية معقدة، يقدم هذا الفرن ذو العشر مناطق تحكماً دقيقاً بدرجة 1200 درجة مئوية في كل من الاتجاهين الأفقي والرأسي. مثالي لأبحاث وتطوير المواد التي تتطلب تدرجات حرارية واسعة النطاق ومعالجة موثوقة في أجواء مسيطر عليها عبر نظام تسخين بطول 1470 ملم.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بحد أقصى 1200 درجة مئوية، قطر خارجي 6 بوصات مع أنبوب وشفة
قم بتحسين المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الذي يصل إلى 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بسعة قطر خارجي 6 بوصات وتحكم متطور عبر شاشة اللمس. يضمن هذا النظام عالي الدقة توزيعاً موحداً لدرجة الحرارة لأبحاث المواد المتقدمة، وتلدين أشباه الموصلات، وتطبيقات المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع حواف تفريغ مفصلية وأنبوب كوارتز 4 بوصة للبحث المختبري
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية بحواف تفريغ مفصلية وأنبوب كوارتز مقاس أربع بوصات لتحميل العينات بشكل مبسط. صُمم للمعالجة الحرارية الدقيقة، ويوفر تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة وأداء تفريغ ممتاز لتطبيقات علوم المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي آلي عالي الحرارة مقاس 5 بوصات لأبحاث المواد المستقلة والبحث والتطوير المختبري المتقدم
سرّع عملية تصنيع المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الآلي الذي يعمل بدرجة حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بتحكم دقيق في الفراغ، ومعالجة كوارتز عالية النقاء، وتكامل جاهز للتحكم عن بُعد لأبحاث الذكاء الاصطناعي عالية الإنتاجية وتطبيقات المختبرات المستقلة عبر قطاعات علوم المواد الصناعية المتطلبة وسير عمل البحث والتطوير المتقدم.
فرن أنبوبي كوارتز عمودي 1200 درجة مئوية مقاس 5 بوصات مع حواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ
فرن أنبوبي كوارتز عمودي عالي الأداء بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، يتميز بغرفة بقطر 5 بوصات وحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ. يضمن التحكم الدقيق PID المكون من 30 شريحة معالجة حرارية دقيقة لأبحاث علوم المواد، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، وتطبيقات التبريد المتخصصة تحت أجواء محكومة.
فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع خيارات لأحجام أنابيب الكوارتز وحواف إغلاق مفرغة من الهواء لأبحاث علوم المواد
قم بتحسين أبحاث مختبرك المتقدمة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنقسم الذي يعمل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بأحجام اختيارية لأنابيب الكوارتز وتحكم دقيق بنظام PID للمعالجة في الأجواء الغازية أو المفرغة. صُمم لضمان المتانة وتصنيع المواد عالية النقاء في البيئات الصناعية وبيئات البحث والتطوير المتطلبة.
فرن دثر وأنبوبي هجين بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث المواد مع أنابيب كوارتز مزدوجة للتحكم في الغلاف الجوي
طور أبحاثك في مجال المواد باستخدام هذا الفرن الهجين عالي الأداء بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بغرفة دثر سعة 7.2 لتر وأنبوبي كوارتز مزدوجين مقاس 2 بوصة للمعالجة متعددة الاستخدامات تحت التفريغ أو الغاز الخامل. استمتع بالتحكم الدقيق في درجة الحرارة وكفاءة حرارية استثنائية لتطبيقات البحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية في جو مفرغ
فرن أنبوبي منقسم عالي الأداء بقدرة 1200 درجة مئوية مصمم بدقة لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلبيد في جو متحكم فيه، والتلدين تحت الفراغ. يتميز بنظام تحكم PID متطور، وعزل من ألياف الألومينا اليابانية الموفرة للطاقة، وتصميم منقسم للتبريد السريع، مما يجعله مثالياً للبحث والتطوير الصناعي ومختبرات المواد المتقدمة.
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع حواف انزلاقية وقطر خارجي 50 مم للمعالجة الحرارية السريعة تسخين وتبريد سريع
احقق معالجة حرارية سريعة مع هذا الفرن الأنبوبي الذي تبلغ حرارته القصوى 1500 درجة مئوية ويتميز بحواف انزلاقية يدوية لتسريع التسخين والتبريد. مصمم لأبحاث علوم المواد، يقدم هذا النظام عالي الدقة أداء تفريغ استثنائي ومراقبة ثنائية المتحكم للتطبيقات المخبرية المتطلبة.
فرن أنبوبي متعدد الأوضاع بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية لأبحاث المواد المختبرية والمعالجة الحرارية الصناعية المتقدمة
يوفر هذا الفرن الأنبوبي متعدد الأوضاع تسخيناً دقيقاً يصل إلى 1100 درجة مئوية مع مرونة في التوجيه الرأسي والأفقي. تم تصميمه لأبحاث المواد المتقدمة، ويتميز بوحدة تحكم PID ذات 30 قطاعاً وعزل ليفي عالي النقاء لتحقيق استقرار حراري استثنائي وأداء مختبري صناعي موثوق.
فرن أنبوبي منزلق مزدوج بحد أقصى 1200 درجة مئوية مع حواف أنبوبية مقاس 50 مم لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المنزلق المزدوج بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية بحواف أنبوبية من الكوارتز مقاس 50 مم مصممة خصيصاً لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) عالية الدقة. قم بتسريع البحث والتطوير الصناعي من خلال التسخين والتبريد السريع عبر الانزلاق، مما يضمن تخليق مواد متفوق، ونتائج متسقة، وأداءً ممتازاً في ترسيب الأغشية الرقيقة.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1500 درجة مئوية لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية تحت التفريغ والجو المتحكم فيه
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الحرارة (1500 درجة مئوية) معالجة حرارية دقيقة لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات التلبيد الصناعي، ويتميز بهيكل مزدوج الغلاف، ونظام تحكم PID مدمج، وشفاه من الفولاذ المقاوم للصدأ جاهزة للتفريغ لضمان أداء موثوق في المختبرات المتطلبة.
فرن أنبوبي مقسم بست مناطق مع أنبوب ألومينا وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية وترسيب البخار الكيميائي (CVD)
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الست مناطق والذي يعمل بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية تحكماً حرارياً استثنائياً للبحوث المختبرية المهنية وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ذات الحرارة العالية. يتميز بأنبوب ألومينا بطول 1800 مم ووحدات تحكم PID دقيقة مكونة من 30 شريحة لضمان نتائج معالجة وتلدين متسقة للمواد.
فرن أنبوبي 1100 درجة مئوية مع شفة تفريغ ووحدة تحكم في درجة الحرارة قابلة للبرمجة لعلوم المواد والمعالجة الحرارية الصناعية
قم بتحسين المعالجة الحرارية في مختبرك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي متعدد الاستخدامات بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية، والذي يتميز بوحدة تحكم PID قابلة للبرمجة وشفاه تفريغ عالي. صُمم لتخليق المواد بدقة والبحث والتطوير الصناعي، ويوفر مرونة في التوجيه المزدوج وتجانساً ثابتاً في درجات الحرارة للتطبيقات الصعبة.
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع نظام مضخة توربينية جزيئية عالية التفريغ وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات
يدمج هذا الفرن الأنبوبي المتقدم عالي الحرارة (1700 درجة مئوية) نظام مضخة تفريغ توربينية جزيئية دقيقة وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات، مما يوفر أداءً استثنائيًا لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والانتشار، وعلوم المواد في بيئات البحث والتطوير الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي للغلاف الجوي بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1800 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية الدقيقة بالتلبيد الفراغي
حقق معالجة حرارية دقيقة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ذو درجة الحرارة العالية (1800 درجة مئوية) الذي يتميز بعناصر تسخين MoSi2 من فئة 1900 ونظام تحكم Shimaden PID. صُمم خصيصاً لتجارب الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلدين الفراغي، وتلبيد الغلاف الجوي في أبحاث علوم المواد المتقدمة أو مختبرات البحث والتطوير الصناعية.
فرن دثر (Muffle) وأنبوبي هجين عالي الحرارة مع إمكانية التفريغ الهوائي وتحكم PID
يوفر هذا الفرن الهجين (دثر وأنبوبي) الذي تصل حرارته إلى 1200 درجة مئوية حلاً متعدد الاستخدامات 2 في 1 للمعالجة الدقيقة للمواد. يتميز بغرفة بحجم 6x6x7 بوصة وخيارات أنابيب الكوارتز، ويدعم البحث والتطوير في بيئة مفرغة أو جوية، مما يوفر موثوقية استثنائية لحلول معدات المعالجة الحرارية المختبرية عالية الحرارة.
فرن أنبوبي مكتبي عالي الحرارة 1700°C مع منطقة تسخين بطول 5 بوصات وأنبوب ألومينا عالي النقاء وأطراف إحكام بالفراغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي عالي الحرارة 1700°C بمنطقة تسخين بطول خمس بوصات وأنبوب ألومينا للأبحاث المتقدمة في المواد. حقّق تحكمًا دقيقًا في الجو ومستويات فراغ تصل إلى 50 ملي تور للتلبيد والتلدين والترسيب الكيميائي بالبخار.
فرن دثر (Muffle) عالي الحرارة 1200 درجة مئوية، غرفة سعة 19 لتر مع وحدة تحكم قابلة للبرمجة بـ 50 مرحلة
فرن دثر مصمم بدقة لدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع غرفة سعة 19 لتر ووحدة تحكم PID قابلة للبرمجة بـ 50 مرحلة. يوفر هذا النظام عالي الأداء تجانساً فائقاً في درجات الحرارة وكفاءة في استهلاك الطاقة للتطبيقات المتطلبة في علوم المواد، والبحث والتطوير الصناعي، والمعالجة الحرارية المعقدة، وهو متاح الآن للشراء العالمي.
فرن أنبوبي من الألومينا بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية مع منطقة تسخين 18 بوصة وحواف إغلاق مفرغة من الهواء
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الاحترافي بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية بمنطقة تسخين بطول ثماني عشرة بوصة وأنابيب ألومينا عالية النقاء لأبحاث المواد المتقدمة. صُمم للعمل تحت التفريغ والأجواء الخاضعة للتحكم، ويوفر استقراراً حرارياً وموثوقية استثنائية لعمليات المختبرات الصناعية الصعبة.