فرن RTP
فرن أنبوبي منزلق مزدوج بحد أقصى 1200 درجة مئوية مع حواف أنبوبية مقاس 50 مم لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)
رقم العنصر: TU-RT05
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
يمثل هذا النظام المنزلق ثنائي المنطقة عالي الأداء طفرة في المعالجة الحرارية لأبحاث المواد المتقدمة. صُممت المعدات خصيصاً لتطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) ونقل البخار الفيزيائي (PVT)، وتتميز بوحدتي تسخين مستقلتين مثبتتين على سكة انزلاقية هندسية دقيقة. يسمح هذا التكوين بتحكم غير مسبوق في تدرجات درجات الحرارة والدورات الحرارية السريعة، مما يمكن الباحثين من تحقيق ملفات تخليق معقدة يستحيل تحقيقها باستخدام الأنظمة الثابتة. من خلال تحريك مناطق التسخين بالنسبة لأنبوب المعالجة، يمكن للمستخدمين إنشاء نقاط ساخنة موضعية لتبخير السلائف مع الحفاظ على درجة حرارة متميزة لترسيب الركيزة.
صُممت الوحدة لتلبية متطلبات بيئات البحث والتطوير الصناعية ومختبرات أشباه الموصلات، وتسهل إنتاج أغشية رقيقة عالية الجودة، ومواد ثنائية الأبعاد، وهياكل نانوية. تكمن القيمة الأساسية في تعدد استخداماتها: فهي تعمل كفرن ثنائي المنطقة للنمو المتدرج المتحكم فيه أو كأداة تبريد حراري سريع للتحقيق في تحولات الطور. تشمل الصناعات المستهدفة الطيران، وتخزين الطاقة (تحديداً تطوير خلايا البيروفسكايت الشمسية)، والإلكترونيات الدقيقة، حيث تعد الدقة والتكرار أساس الابتكار الناجح.
تم تصميم النظام مع التركيز على الموثوقية طويلة الأمد، ويستخدم هيكلاً فولاذياً مزدوج الطبقة لضمان السلامة الخارجية والكفاءة الحرارية. صُممت سكك الانزلاق للخدمة الشاقة لحركة سلسة ومتسقة حتى بعد آلاف الدورات في درجات حرارة عالية. تم اختيار كل مكون، من عناصر التسخين المصنوعة من سبائك الحديد والكروم والألومنيوم (Fe-Cr-Al) إلى حواف الفولاذ المقاوم للصدأ المحكمة، لتحمل الظروف القاسية للفراغ العالي وبيئات الغازات المسببة للتآكل. يضمن هذا الالتزام بالتميز الهندسي أن تقدم المعدات أداءً ثابتاً، يوماً بعد يوم، في أكثر سيناريوهات البحث تحدياً.
الميزات الرئيسية
- تحكم مستقل ثنائي المنطقة: وحدتا فرن منفصلتان، لكل منهما منطقة تسخين 200 مم، تسمحان ببرمجة PID مستقلة. وهذا يتيح الإدارة المتزامنة لدرجات حرارة تسامي السلائف ونمو الركيزة، وهو أمر بالغ الأهمية لوصفات CVD المعقدة.
- نظام سكة انزلاقية دقيق: تم تركيب المعدات على نظام سكة انزلاقية مزدوجة بطول 1200 مم. وهذا يسمح للمشغلين بتحريك الأفران يدوياً أو (اختيارياً) تلقائياً عبر مسافة 400 مم، مما يوفر آلية فيزيائية لتغيرات درجات الحرارة السريعة والتبريد المفاجئ.
- ديناميكيات حرارية متقدمة: من خلال تحريك الفرن المسخن بعيداً عن موقع العينة، يمكن للنظام تحقيق معدلات تسخين وتبريد تصل إلى 100 درجة مئوية/دقيقة. تعد قدرة المعالجة الحرارية السريعة (RTP) هذه ضرورية للتحكم في حجم الحبيبات والبنية البلورية في الأغشية الرقيقة المتقدمة.
- عناصر تسخين عالية الأداء: مجهزة بعناصر من سبائك Fe-Cr-Al المطعمة بالموليبدينوم، توفر الوحدة أداء تسخين مستقراً ومتيناً يصل إلى 1200 درجة مئوية، مما يضمن عمر خدمة طويلاً حتى في ظل التشغيل المستمر في درجات حرارة عالية.
- حواف فراغية محكمة: تأتي حواف الفراغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع مقاييس مدمجة ودعامات للخدمة الشاقة بشكل قياسي. تضمن هذه الحواف بيئة محكمة الإغلاق، مما يدعم مستويات فراغ تصل إلى 10E-5 تور عند اقترانها بمضخة جزيئية.
- أتمتة PID قابلة للبرمجة: يتم التحكم في كل منطقة بواسطة وحدة تحكم تلقائية تتميز بـ 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة. وهذا يسمح بالتحكم الدقيق في معدلات الارتفاع، وأوقات المكوث، ومنحنيات التبريد، مما يقلل من مخاطر الخطأ البشري أثناء الدورات المعقدة.
- حماية أمان مدمجة: يتضمن النظام إنذارات مدمجة لدرجة الحرارة الزائدة وميزات إيقاف التشغيل التلقائي. يشتمل تصميم الهيكل الفولاذي مزدوج الطبقة على تبريد بالهواء للحفاظ على سطح الفرن آمناً للمس أثناء التشغيل.
- توسع النظام المعياري: صُممت المعدات لتنمو مع احتياجات بحثك. يمكن ترقيتها بسهولة باستخدام وحدات التحكم في تدفق الكتلة (MFC) لتوصيل الغاز بدقة، أو مولدات البلازما RF لعمليات PECVD، أو مجموعات السكك الحديدية الآلية لدورات الانزلاق التلقائية.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| تخليق البيروفسكايت | تحكم دقيق في مناطق تبخير وترسيب MAI وهاليد الرصاص. | ضبط دقيق لحجم الحبيبات وتجانس الغشاء لكفاءة الطاقة الشمسية. |
| نمو المواد ثنائية الأبعاد | نمو الجرافين، MoS2، و WS2 عبر الترسيب الكيميائي للبخار على ركائز مختلفة. | تحقيق أغشية أحادية الطبقة عالية الجودة وواسعة النطاق مع نتائج قابلة للتكرار. |
| التبريد الحراري المفاجئ | تحريك الفرن بسرعة لتحقيق معدلات تبريد تصل إلى 100 درجة مئوية/دقيقة. | تثبيت الأطوار ذات درجات الحرارة العالية ومنع نمو الحبيبات أثناء التبريد. |
| التسامي/التنقية | فصل المواد بناءً على درجات حرارة التبخر والتكثيف المميزة لها. | إنتاج سلائف عالية النقاء لتصنيع أشباه الموصلات. |
| تصنيع الأسلاك النانوية | نمو VLS (بخار-سائل-صلب) الذي يتطلب درجات حرارة مميزة للمصدر والمحفز. | تمكين التحكم الدقيق في مورفولوجيا وطول الأسلاك النانوية. |
| المعالجة الحرارية بالفراغ | تلدين أو تخفيف إجهاد المواد تحت جو متحكم فيه أو فراغ. | منع الأكسدة وتلوث السبائك الصناعية الحساسة. |
المواصفات الفنية
| المعلمة | مواصفات TU-RT05 |
|---|---|
| هيكل الفرن | وحدات فولاذية مزدوجة الطبقة منزلقة على سكك 1200 مم |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1200 درجة مئوية (< ساعة واحدة) |
| درجة حرارة التشغيل المستمر | 1100 درجة مئوية |
| أقصى مسافة انزلاق | 400 مم (يدوي قياسي؛ آلي اختياري) |
| طول منطقة التسخين | 200 مم (8 بوصات) لكل فرن (400 مم إجمالي) |
| منطقة درجة الحرارة الثابتة | 60 مم (+/- 3 درجات مئوية عند 800 درجة مئوية) لكل فرن |
| أقصى معدل تسخين/تبريد | ~100 درجة مئوية/دقيقة (يتم تحقيقه عن طريق انزلاق الفرن) |
| معدل التسخين القياسي | 15 درجة مئوية/ثانية (درجة حرارة الغرفة-150 درجة مئوية) إلى 0.5 درجة مئوية/ثانية (800-1000 درجة مئوية) |
| معدل التبريد القياسي | 15 درجة مئوية/ثانية (1000-950 درجة مئوية) إلى 0.5 درجة مئوية/ثانية (400-300 درجة مئوية) |
| عناصر التسخين | سبائك Fe-Cr-Al مطعمة بالموليبدينوم |
| مادة/حجم الأنبوب | أنبوب كوارتز؛ القطر الخارجي 50 مم × القطر الداخلي 44 مم × طول 1500 مم |
| أنبوب اختياري | أنبوب سبائك S310 عالي الحرارة للضغط العالي (100 PSI) |
| حواف الفراغ | فولاذ مقاوم للصدأ مع مقياس فراغ ودعم للخدمة الشاقة |
| مستوى الفراغ | 10E-2 تور (مضخة ميكانيكية) إلى 10E-5 تور (مضخة جزيئية) |
| وحدة التحكم في درجة الحرارة | تحكم PID تلقائي مزدوج، 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة |
| دقة درجة الحرارة | +/- 1 درجة مئوية |
| مزود الطاقة | تيار متردد 208-240 فولت أحادي الطور، 50/60 هرتز، 20 أمبير إجمالي |
| إجمالي الطاقة | 2.5 كيلو واط |
| الامتثال | حاصل على شهادة CE (NRTL/CSA متاح عند الطلب) |
لماذا تختار TU-RT05
- مرونة حرارية فائقة: يوفر التصميم المنزلق المزدوج مستوى من التحكم في العمليات لا يمكن للأفران الثابتة مضاهاته، خاصة للتبريد السريع وعمليات CVD المتحكم فيها بالتدرج.
- هندسة دقيقة: صُنع بمكونات ممتازة بما في ذلك عناصر السبائك المطعمة بالموليبدينوم وحواف الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودة، مما يضمن سلامة الفراغ العالي واستقرار درجة الحرارة.
- قابلية التوسع المستقبلية: سواء كنت بحاجة إلى إعداد CVD بسيط اليوم أو نظام PECVD مؤتمت بالكامل غداً، تدعم هذه الوحدة ترقيات سلسة مع وحدات MFC ومولدات RF.
- كفاءة تبريد لا مثيل لها: يسمح الفصل الفيزيائي لغرفة التسخين عن أنبوب المعالجة بتبريد سريع حقيقي، وهو أمر بالغ الأهمية لأبحاث المعادن وأشباه الموصلات.
- موثوقية مثبتة: مع وجود آلاف الوحدات قيد التشغيل عالمياً، يعد تصميمنا المعيار الصناعي للمتانة والاتساق التشغيلي في أبحاث درجات الحرارة العالية.
اتصل بنا اليوم للحصول على تكوين مخصص أو للحصول على عرض سعر رسمي لمتطلبات CVD الخاصة بمختبرك.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي منزلق مزدوج منطقة الحرارة 1200 درجة مئوية لنمو المواد ثنائية الأبعاد وتصنيع TCVD
قم بتحسين تصنيع المواد ثنائية الأبعاد المتقدمة باستخدام نظام الفرن المزدوج هذا الذي يعمل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بمنطقة تسخين قابلة للانزلاق للتبريد فائق السرعة، وتحكم مستقل في درجة الحرارة PID، ومعالجة كوارتز عالية النقاء مصممة للترسيب الكيميائي الحراري الدقيق للبخار والبحث والتطوير.
فرن أنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفة منزلقة لأنظمة CVD
يتميز هذا الفرن الأنبوبي 4 بوصات بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية بشفات منزلقة لتحميل العينات بسرعة وتوافق مع الفراغ العالي. تم تصميمه لعمليات CVD الدقيقة وأبحاث المواد المتقدمة، ويقدم أداءً موثوقًا بشكل استثنائي في البيئات المختبرية المتطلبة.
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع نظام مضخة توربينية جزيئية عالية التفريغ وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات
يدمج هذا الفرن الأنبوبي المتقدم عالي الحرارة (1700 درجة مئوية) نظام مضخة تفريغ توربينية جزيئية دقيقة وخلاط غاز بوحدة تحكم في تدفق الكتلة متعدد القنوات، مما يوفر أداءً استثنائيًا لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والانتشار، وعلوم المواد في بيئات البحث والتطوير الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي مزدوج المناطق منزلق آلي بدرجة حرارة عالية 1200 درجة مئوية لنمو ثنائي الكالكوجينات المعدنية الانتقالية ثنائية الأبعاد وأبحاث التسامي للمواد
أتقن تركيب المواد ثنائية الأبعاد مع نظام الفرن المزدوج المنزلق الآلي بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية المصمم لنمو ثنائي الكالكوجينات المعدنية الانتقالية. يتميز بمناطق مستقلة للتسامي والترسيب لتحكم حراري دقيق ومعدلات تبريد سريعة لضمان الحصول على نتائج بحث عالية الجودة لإنتاج بلورات الأغشية الرقيقة.
فرن أنبوبي للغلاف الجوي بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1800 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية الدقيقة بالتلبيد الفراغي
حقق معالجة حرارية دقيقة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ذو درجة الحرارة العالية (1800 درجة مئوية) الذي يتميز بعناصر تسخين MoSi2 من فئة 1900 ونظام تحكم Shimaden PID. صُمم خصيصاً لتجارب الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلدين الفراغي، وتلبيد الغلاف الجوي في أبحاث علوم المواد المتقدمة أو مختبرات البحث والتطوير الصناعية.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة عالي الحرارة لتطبيقات تلبيد الغلاف الجوي المتقدمة وترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت التفريغ
عزز أبحاث المواد الخاصة بك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة عالي الدقة بدرجة حرارة 1400 مئوية. يتميز بالتحكم المستقل في درجة الحرارة، وقدرات تلبيد الغلاف الجوي، والاستقرار الحراري الفائق، مما يجعله الحل الأمثل لتجارب ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة ومشاريع المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوب عمودي قابل للفتح 0-1700 درجة مئوية نظام مختبر عالي الحرارة لمعالجة CVD والمعالجة الحرارية الفراغية
مصمم لأبحاث المواد المتقدمة، يتميز هذا الفرن الأنبوبي العمودي القابل للفتح بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية بتسخين دقيق ثلاثي المناطق وقدرات تبريد سريع. مثالي لعمليات CVD والتبييض الفراغي، ويوفر موثوقية على مستوى صناعي، وتحكمًا في الغلاف الجوي، ومرونة معيارية لبيئات البحث والتطوير المتطلبة.
فرن أنبوبي مزدوج المنطقة عالي الحرارة 1700 درجة مئوية لأبحاث علوم المواد والترسيب الكيميائي للبخار الصناعي
يوفر هذا الفرن الأنبوبي مزدوج المنطقة عالي الحرارة (1700 درجة مئوية) تحكماً مستقلاً في التدرجات الحرارية الدقيقة، وهو مثالي لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، ونمو البلورات في أبحاث المواد المتقدمة، ويتميز بعناصر تسخين MoSi2 وتكامل أنبوب ألومينا محكم الغلق بالفراغ لضمان الموثوقية الصناعية.
فرن أنبوبي مكتبي عالي الحرارة 1700°C مع منطقة تسخين بطول 5 بوصات وأنبوب ألومينا عالي النقاء وأطراف إحكام بالفراغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي عالي الحرارة 1700°C بمنطقة تسخين بطول خمس بوصات وأنبوب ألومينا للأبحاث المتقدمة في المواد. حقّق تحكمًا دقيقًا في الجو ومستويات فراغ تصل إلى 50 ملي تور للتلبيد والتلدين والترسيب الكيميائي بالبخار.
فرن أنبوبي ذو منطقة تسخين مزدوجة وسريعة مع نظام فراغ وجو عالي الحرارة
يوفر هذا الفرن الأنبوبي عالي الأداء ذو منطقة التسخين المزدوجة والسريعة درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع معدلات رفع حرارة سريعة تصل إلى 100 درجة مئوية في الدقيقة، وتحكم دقيق بنظام PID، وقدرات جو فراغي لأبحاث المواد المتقدمة وعمليات التلبيد والترسيب الكيميائي للبخار.
فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية في جو مفرغ
فرن أنبوبي منقسم عالي الأداء بقدرة 1200 درجة مئوية مصمم بدقة لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلبيد في جو متحكم فيه، والتلدين تحت الفراغ. يتميز بنظام تحكم PID متطور، وعزل من ألياف الألومينا اليابانية الموفرة للطاقة، وتصميم منقسم للتبريد السريع، مما يجعله مثالياً للبحث والتطوير الصناعي ومختبرات المواد المتقدمة.
فرن أنبوبي دوار مزدوج المنطقة عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع تسخين بكربيد السيليكون لتصنيع المواد المتقدمة
حسّن عمليات المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار عالي الدقة ذي المنطقتين. يتميز بدرجات حرارة قصوى تصل إلى 1500 درجة مئوية وعناصر تسخين متطورة من كربيد السيليكون (SiC)، مما يضمن نتائج موحدة للبحث والتطوير الصناعي، والترسيب الكيميائي للبخار، وتطبيقات علوم المواد المتطورة في المختبرات العالمية.
فرن أنبوب مزدوج المنطقة الحرارية ومزدوج الغطاء للترسيب الكيميائي بالبخار CVD عالي الحرارة والتلدين بالفراغ
فرن أنبوب احترافي مزدوج المنطقة الحرارية عالي الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ونظام تحكم PID متقدم للتطبيقات البحثية والصناعية. يوفر هذا النظام معالجة حرارية دقيقة لعمليات CVD والتلدين بالفراغ وتلبيد المواد مع موثوقية لا مثيل لها.
فرن أنبوبي مقسم بست مناطق مع أنبوب ألومينا وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية وترسيب البخار الكيميائي (CVD)
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الست مناطق والذي يعمل بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية تحكماً حرارياً استثنائياً للبحوث المختبرية المهنية وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ذات الحرارة العالية. يتميز بأنبوب ألومينا بطول 1800 مم ووحدات تحكم PID دقيقة مكونة من 30 شريحة لضمان نتائج معالجة وتلدين متسقة للمواد.
فرن انزلاقي بتقنية CVD وأنبوب مزدوج 100 مم و80 مم مع نظام خلط غاز رباعي القنوات ونظام تفريغ هوائي
يتميز فرن CVD الانزلاقي ذو الأنبوب المزدوج بتصميم أنبوب خارجي بقطر 100 مم وداخلي بقطر 80 مم لأبحاث الأقطاب الكهربائية المرنة. مدمج مع محطة خلط غاز رباعية القنوات ونظام تفريغ هوائي، مما يتيح المعالجة الحرارية السريعة ونمو الجرافين بدقة.
فرن انزلاقي رأسي عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع إمكانيات المعالجة الحرارية السريعة والأنبوب المفرغ الهجين
قم بتحقيق أقصى قدر من كفاءة البحث باستخدام هذا الفرن الانزلاقي الرأسي 1200 درجة مئوية مع إمكانيات المعالجة الحرارية السريعة. يقدم هذا النظام الهجين وظيفتي صندوق وأنبوب مفرغ مزدوجتين، مما يوفر تحكماً دقيقاً في درجة الحرارة وتسخيناً أو تبريداً فائق السرعة لتطبيقات علوم المواد المتقدمة.
فرن أنبوبي كوارتز بقطر كبير 1100 درجة مئوية مع منطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء
يتميز فرن أنبوب الكوارتز ذو القطر الكبير بقدرة 1100 درجة مئوية بمنطقة تسخين 24 بوصة وحواف مبردة بالماء لمعالجة دقيقة بتقنية CVD. مثالي لأبحاث المواد والبحث والتطوير الصناعي، ويوفر استقراراً حرارياً استثنائياً وأداءً حرارياً قوياً.
فرن أنبوبي منزلق 1200 درجة مئوية للمعالجة الحرارية السريعة ونمو الجرافين بتقنية CVD بسعة قطر خارجي 100 مم
سرّع وتيرة أبحاثك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق الذي تصل حرارته إلى 1200 درجة مئوية، والمصمم خصيصاً لتطبيقات المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وترسيب البخار الكيميائي (CVD). يتميز بنظام تحكم PLC عالي الدقة وسكة انزلاق آلية لدورات تسخين وتبريد فائقة السرعة في مختبرات علوم المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي ثنائي المناطق 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 11 بوصة وفلانشات تفريغ لمعالجة رقاقات 8 بوصات
تم تصميم هذا الفرن الأنبوبي ثنائي المناطق المتقدم عالي الحرارة بأنبوب كوارتز 11 بوصة ومنطقة تسخين 24 بوصة لتوفير تجانس حراري استثنائي لمعالجة رقاقات 8 بوصات، وتلبيد المواد، ومعدات أبحادة ترسيب البخار الكيميائي المتخصصة للاستخدام الصناعي والمختبري.
فرن أنبوبي مفرغ مزدوج المنطقة عالي الحرارة لأبحاث المواد وعمليات CVD
عزّز قدرات مختبرك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المفرغ مزدوج المنطقة عالي الدقة. صُمم لأبحاث المواد المتقدمة وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، ويتميز بتحكم مستقل في درجة الحرارة، ومعدلات تسخين سريعة، وإحكام تفريغ متين لتحقيق نتائج معالجة حرارية صناعية متسقة.