فرن أنبوب بوتقة منزلق داخلي بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث ترسيب الأغشية الرقيقة في أجواء مضبوطة وتبخير المواد

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لتطبيقات علوم المواد المتقدمة التي تتطلب حركة دقيقة للعينات داخل جو مضبوط. من خلال دمج آلية انزلاق داخلية متطورة، يسمح الجهاز للباحثين بنقل العينات أو مصادر التبخير عبر تدرجات حرارية محددة دون كسر فراغ الغاز أو إتلاف مانع التسرب الجوي. هذه القدرة أساسية للحصول على نتائج عالية الجودة في الترسيب الفيزيائي بالبخار (PVD) والترسيب بالبخار المزدوج (DVD)، حيث تعد العلاقة بين درجة الحرارة والموضع حاسمة لبنية الغشاء ومعدلات نموه.

تم تصميم الوحدة لبيئات البحث والتطوير الصناعية الصارمة، وتسهل دورات المعالجة الحرارية المعقدة التي تتطلب استقرارًا في درجات الحرارة وتعددًا في الاستخدامات الميكانيكية. يُعد هذا النظام حجر الزاوية للمختبرات المتخصصة في تطوير أشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو ودراسات الأطوار المعدنية. يضمن بناؤه المتين إمكانية إجراء تجارب حساسة في ظروف الفراغ أو الغاز الخامل بدقة قابلة للتكرار، مما يوفر الموثوقية اللازمة لبروتوكولات التجارب طويلة الأمد.

تم تصنيع هذا الجهاز بمكونات حرارية ممتازة مع التركيز على سلامة المستخدم، ويقدم أداءً ثابتًا حتى في ظل التشغيل المستمر المتطلب. يتيح دمج التحكم المتقدم PID ونظام تحديد الموضع بالمحرك المغناطيسي المعالجة غير الغازية للبوتقة الداخلية، مما يضمن عدم الإخلال بسلامة البيئة الداخلية أبدًا. تمثل هذه الوحدة قفزة كبيرة في مرونة المعالجة الحرارية، حيث تقدم حلاً موحدًا للتبخر والترسيب والتوصيف الحراري الدقيق.

الميزات الرئيسية

• آلية الانزلاق المغناطيسي المدمجة: يستخدم هذا النظام نظام قيادة ثنائي المغناطيس فريد يتحكم فيه مغناطيس خارجي بالكتلة المغناطيسية الداخلية، مما يسمح بتحريك حامل العينة بدقة على طول الأنبوب الكوارتزي. يتيح هذا التصميم للمستخدم تحديد موضع درجة الحرارة الأمثل للتبخر أو الترسيب دون تدخل يدوي أو فقدان الفراغ.
• مراقبة متقدمة معتمدة من المعهد الوطني للمعايير والتقنية (NIST): كل وحدة مزودة بجهاز مراقبة دقيق لدرجة الحرارة معتمد من NIST متصل مباشرة بحامل العينة عبر منفذ تفريغ عالي الجودة. يضمن ذلك أن درجة الحرارة المسجلة هي درجة الحرارة الفعلية لموقع العينة، وليس فقط درجة حرارة محيط الفرن، مما يوفر دقة بيانات لا مثيل لنمو الأغشية الرقيقة الحساسة.
• تحكم دقيق بدرجة الحرارة بنظام PID: يحتوي الجهاز على وحدة تحكم قابلة للبرمجة بـ 30 مقطع تستخدم منطق التناسب-التكامل-التفاضل للحفاظ على دقة درجة الحرارة بحدود ±1 درجة مئوية. هذا المستوى العالي من التحكم ضروري لإدارة معدلات الارتفاع في درجات الحرارة وأوقات الثبات المطلوبة في تخليق المواد الحساسة.
• عناصر تسخين عالية الأداء: يستخدم الفرن عناصر تسخين من سبائك الحديد والكروم والألومنيوم المخدرة بالموليبدينوم (Mo). يوفر هذا التركيب المعدني المحدد مقاومة فائقة للأكسدة والإجهاد الحراري، مما يضمن عمر خدمة طويل وقدرة على التسخين السريع حتى 1200 درجة مئوية.
• تحكم متعدد الاستخدامات بالجو والفراغ: مزود بمنافذ تفريغ KF25 ووصلات شائكة مقاس 1/4 بوصة، يمكن للنظام الوصول لمستويات تفريغ تصل إلى 10-2 تور باستخدام مضخة ميكانيكية. يتيح ذلك المعالجة تحت غازات خاملة أو ضغوط تفريغ محددة، وهو أمر حيوي لمنع الأكسدة خلال دورات درجات الحرارة المرتفعة.
• عزل حراري متخصص: يدمج الفرن الأنبوبي كتلتين أنبوبيتين من السيراميك الليفي تمنعان بشكل فعال الإشعاع الحراري من نهايات الغرفة. يحمي هذا الاختيار الهندسي حواف التفريغ ويضمن منطقة درجة حرارة ثابتة مستقرة ومتجانسة في مركز الأنبوب.
• مكونات كوارتز متينة: يشمل النظام أنابيب كوارتز وبوتقات عالية النقاء تتمتع بمقاومة ممتازة للصدمات الحرارية ونقاء كيميائي، مما يضمن عدم إدخال أي ملوثات للعينة أثناء المعالجة بدرجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية.
• أنظمة سلامة شاملة: تعد وحدات الحماية المدمجة لظروف تجاوز درجة الحرارة وعطل المزدوجة الحرارية قياسية. تمنع هذه الميزات تلف الجهاز وتضمن سلامة المختبر عن طريق قطع الطاقة تلقائيًا إذا انحرفت المعلمات عن نطاق السلامة المبرمج.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختارنا

• تصميم هندسي للترسيب الدقيق: آلية الانزلاق المغناطيسي هي أداة متخصصة تلغي التخمين في أبحاث الأغشية الرقيقة، مما يسمح بالاستنساخ الدقيق للبيئات الحرارية عبر جولات تجريبية متعددة.
• جودة تصنيع لا مساومة فيها: كل مكون، من عناصر التسخين المخدرة بالموليبدينوم إلى حوامل العينات المصنوعة من الألومينا عالية النقاء، تم اختياره لقدرته على تحمل متطلبات البحث الصناعي دون تدهور.
• سلامة بيانات مؤكدة: مع مراقبة معتمدة من NIST كمعيار قياسي، يوفر هذا النظام دقة بيانات قابلة للتتبع مطلوبة للأبحاث المنشورة في المجلات المتخصصة ومراقبة الجودة الصناعية.
• نظام معياري وقابل للتخصيص: تم تصميم النظام لينمو مع احتياجات بحثك، حيث يدعم وحدات التحكم القائمة على الحواسيب وأنظمة توصيل الغاز متعددة القنوات وتكوينات تفريغ مختلفة.
• كفاءة حرارية فائقة: الألومينا عالية التوصيل الحراري والعزل السيراميكي الليفي يقللان من فقد الطاقة ويضمنان تركيز الحرارة في المكان المطلوب بدقة، مما يحمي المكونات الخارجية الحساسة.

فريقنا الهندسي جاهز لمساعدتك في تكوين الحل الحراري المثالي لمتطلباتك المحددة في الترسيب أو التبخير. تواصل معنا اليوم للحصول على استشارة فنية أو عرض أسعار رسمي لنظام الفرن الأنبوبي المنزلق المتقدم هذا.