فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع آلية حركة داخلية لأبحاث HPCVD ونمو البلورات

نظرة عامة على المنتج

نظام المعالجة عالي الحرارة هذا عبارة عن فرن أنبوبي منقسم متطور مقاس 2 بوصة مصمم لتخليق المواد المتقدم والأبحاث الحرارية. في جوهره، يدمج الجهاز آلية حركة داخلية متخصصة تسمح للباحثين بالتحكم بدقة في موضع قارب العينة أو البوتقة داخل غرفة التسخين أثناء وجودها تحت التفريغ. هذه القدرة أساسية للعمليات التي تتطلب حركة ديناميكية عبر تدرج حراري، مما يوفر منصة متعددة الاستخدامات للترسيب الفيزيائي والكيميائي الهجين للبخار (HPCVD) ونمو البلورات عالية النقاء. كما يعزز تصميم الفرن المنقسم الكفاءة التشغيلية، مما يسمح بالتبريد السريع وسهولة الوصول إلى أنبوب المعالجة.

صُمم هذا الجهاز لبيئات المختبرات الأكثر تطلباً، وهو بمثابة أداة حاسمة للباحثين في علوم المواد، وتطوير أشباه الموصلات، وكيمياء الحالة الصلبة. من خلال تسهيل المعالجة الحرارية متعددة الوظائف - بما في ذلك التبخير الحراري السريع (RTE) ونمو البلورات بطريقة بريدجمان الأفقية - يُمكّن النظام المستخدمين من استكشاف هياكل بلورية من الجيل الجديد وطبقات الأغشية الرقيقة المعقدة. يضمن دمج الكوارتز عالي النقاء ومكونات الفولاذ المقاوم للصدأ المصممة بدقة بقاء بيئة المعالجة خالية من التلوث، حتى عند العمل في درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية.

الموثوقية والاتساق هما السمتان المميزتان لوحدة المعالجة الحرارية هذه. بفضل بنائه باستخدام عناصر تسخين من الدرجة الصناعية ونظام دفع قوي يتم التحكم فيه بواسطة PLC، فإنه يوفر أداءً قابلاً للتكرار عبر مئات الدورات. يضمن الجمع بين تنظيم درجة الحرارة المتقدم PID والدقة الميكانيكية الحفاظ على الظروف التجريبية بدقة متناهية. سواء تم استخدامه لتطوير النماذج الأولية الصغيرة أو توصيف المواد الأساسي، يوفر هذا النظام الاستقرار والتحكم اللازمين للبحث والتطوير الصناعي المتطور والأبحاث الأكاديمية عالية المخاطر.

الميزات الرئيسية

• آلية حركة داخلية دقيقة: تم تجهيز الجهاز بمحرك متدرج متخصص 24 فولت تيار مستمر، 100 وات يقوم بتحريك قارب العينة داخل أنبوب الكوارتز. يسمح هذا بحركة خطية محكومة تصل إلى 100 مم بسرعة ثابتة، وهو أمر ضروري للتصلب الاتجاهي والتعرض الحراري المتدرج.
• تحكم مدمج عبر شاشة تعمل باللمس PLC: تدير واجهة رقمية مركزية كلاً من المظهر الحراري ومسافة الحركة الميكانيكية. يسمح هذا التكامل للمستخدمين بمزامنة تغيرات درجة الحرارة مع تحديد موضع العينة، وهو مطلب حاسم لبروتوكولات ترسيب البخار المعقدة.
• قدرة المعالجة الحرارية السريعة (RTP): من خلال تحريك مرحلة العينة داخل أو خارج منطقة ساخنة مسخنة مسبقاً، يمكن لهذا النظام تحقيق معدلات تسخين وتبريد أعلى بكثير من الأفران الثابتة، مما يحاكي بشكل فعال ظروف RTP لتلدين الأغشية الرقيقة.
• مجال حراري من الكوارتز عالي النقاء: يستخدم النظام أنبوب معالجة من الكوارتز الفاخر، مما يوفر خمولاً كيميائياً ممتازاً ومقاومة للصدمات الحرارية. وهذا يضمن عدم إدخال أي شوائب إلى جو التفاعل، حتى أثناء تفاعلات الطور الغازي ذات درجات الحرارة العالية.
• تحكم فائق في التفريغ والجو: تتميز الوحدة بحواف محكمة الغلق بالتفريغ مع منفاخ من الفولاذ المقاوم للصدأ تظل محكمة الإغلاق حتى أثناء حركة الآلية الداخلية. وهذا يسمح بمعالجة مستقرة تحت مستويات تفريغ عالية أو بيئات غاز خاملة محكومة.
• تنظيم متقدم لدرجة الحرارة PID: باستخدام وحدة تحكم قابلة للبرمجة من 30 خطوة مع تقنية الترحيل ذات الحالة الصلبة، يحافظ النظام على دقة ±1 درجة مئوية. وهذا يضمن منطقة درجة حرارة ثابتة تبلغ 60 مم، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على معدلات نمو بلوري موحدة.
• هندسة الفرن المنقسم: يسمح تصميم المفصلة المنقسمة لهيكل الفرن بالتبريد السريع للأنبوب ويسهل التبادل السريع للعينات أو أنابيب المعالجة، مما يزيد من إنتاجية المختبر.
• خيارات متعددة المناطق قابلة للتوسيع: بالنسبة للعمليات التي تتطلب تدرجات حرارية أكثر تعقيداً، يمكن ترقية الوحدة إلى تكوين ثنائي المنطقة، مما يوفر مناطق درجة حرارة ثابتة ممتدة أو تدرجات أكثر حدة حسب متطلبات التطبيق.

التطبيقات

المواصفات الفنية

تكوين النظام: TU-RT07

معدلات التسخين والتبريد النموذجية (عبر حركة العينة)

لماذا تختار هذا النظام

• مصمم للدقة: هذا النظام ليس مجرد فرن بل أداة دقيقة، تجمع بين التحكم الحراري عالي الدقة والحركة الميكانيكية الموثوقة للحصول على نتائج علمية قابلة للتكرار.
• منصة بحثية متعددة الاستخدامات: القدرة على إجراء HPCVD وRTE ونمو بريدجمان في وحدة واحدة تجعل هذا الحل فعالاً للغاية من حيث التكلفة لمختبرات المواد متعددة التخصصات.
• بناء قوي: باستخدام الكوارتز عالي النقاء والإلكترونيات من الدرجة الصناعية، تم تصميم الجهاز لضمان الاتساق التشغيلي طويل الأمد تحت ظروف التفريغ العالي ودرجات الحرارة العالية.
• حلول قابلة للتخصيص: نحن نقدم تخصيصاً واسع النطاق، بما في ذلك تعديلات حامل العينة (AIN أو الجرافيت)، والتحكم في الحركة بسرعة متغيرة، وأنظمة توصيل الغاز متعددة القنوات لتلبية احتياجات بحثية محددة.
• امتثال شامل: تضمن شهادة CE أن النظام يلبي معايير السلامة الصارمة، مع توفر شهادات NRTL أو CSA اختيارية لمتطلبات مختبرية محددة.

يمثل هذا الفرن المصمم بدقة استثماراً متميزاً في القدرات البحثية لمنشأتك. اتصل بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم لمناقشة متطلبات عمليتك المحددة أو لطلب عرض سعر رسمي لحل حراري مخصص.