فرن أنبوبي منزلق 1200 درجة مئوية للمعالجة الحرارية السريعة ونمو الجرافين بتقنية CVD بسعة قطر خارجي 100 مم

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لأبحاث علوم المواد المتقدمة، وهو مصمم خصيصاً لتلبية المتطلبات الصارمة للمعالجة الحرارية السريعة (RTP) وترسيب البخار الكيميائي (CVD). من خلال دمج آلية انزلاق آلية مع فرن أنبوبي عالي الحرارة، يتيح الجهاز الانتقال الفوري بين مناطق التسخين والتبريد. وتعد هذه القدرة ضرورية للباحثين الذين يعملون على نمو الأغشية الرقيقة، وتطعيم أشباه الموصلات، وتخليق البنى النانوية عالية النقاء حيث يكون التاريخ الحراري الدقيق أمراً بالغ الأهمية للخصائص النهائية للمادة.

تم تحسين النظام ليكون متعدد الاستخدامات وقابلاً للتطوير، وهو خيار أساسي للمختبرات المتخصصة في نمو الجرافين وأنابيب الكربون النانوية وغيرها من المواد ثنائية الأبعاد بتقنية CVD. يسهل تصميم سكة الانزلاق معدلات تسخين وتبريد فائقة السرعة، والتي غالباً ما يستحيل تحقيقها في تكوينات الأفران الثابتة. توفر هذه الوحدة المرونة المطلوبة لاستكشاف مراحل مادية جديدة وتحسين معايير النمو مع قابلية تكرار عالية عبر ظروف جوية مختلفة، بما في ذلك بيئات التفريغ والضغط المنخفض.

تم بناء الجهاز بمكونات صناعية مع التركيز على الموثوقية طويلة الأمد، مما يضمن أداءً ثابتاً حتى في ظل جداول البحث والتطوير المتطلبة. يوفر الهيكل الميكانيكي القوي، جنباً إلى جنب مع منطق PLC المتقدم، منصة مستقرة للدورات الحرارية المعقدة. سواء تم استخدامه في البحث الأكاديمي أو تطوير المنتجات الصناعية، يوفر هذا النظام الدقة وميزات السلامة والنزاهة الهيكلية اللازمة لدفع الابتكار في معالجة المواد ذات درجات الحرارة العالية وهندسة أشباه الموصلات.

الميزات الرئيسية

• آلية انزلاق آلية دقيقة: تم تجهيز النظام بسكة انزلاق عالية الدقة تسمح لجسم الفرن بالتحرك بسرعة على طول محور الأنبوب. وهذا يسمح للعينة بالبقاء ثابتة بينما تتغير البيئة الحرارية فوراً، مما يسهل معدلات تبريد تصل إلى 3 درجات مئوية في الثانية ويحاكي عمليات التلدين الحراري السريع على المستوى الصناعي.
• نظام تحكم PLC متقدم وواجهة شاشة تعمل باللمس: يدير جهاز تحكم منطقي قابل للبرمجة (PLC) متطور مع واجهة شاشة تعمل باللمس بديهية جميع معايير التشغيل. يمكن للمستخدمين ضبط سرعات الانزلاق بسهولة، وتعيين تسلسلات حركة آلية، ومزامنة حركة الفرن مع قطاعات برامج حرارية محددة للتشغيل اليدوي الكامل.
• معالجة حرارية سريعة (RTP) محسنة: صُممت الوحدة خصيصاً لتطبيقات RTP، ويمكنها تحقيق معدل تسخين أقصى يبلغ 10 درجات مئوية/دقيقة وتبريد سريع للغاية. تتيح القدرة على تحريك منطقة التسخين بعيداً عن منطقة العينة تبريداً سريعاً من 500 درجة مئوية إلى 100 درجة مئوية بمعدلات تصل إلى 3 درجات مئوية/ثانية، وهو أمر حيوي للحفاظ على المراحل غير المستقرة في السبائك المتقدمة.
• قدرات نمو CVD متكاملة: تجعل التحكم الحراري والجوي للنظام منه منصة مثالية لنمو الجرافين وأنابيب الكربون النانوية بتقنية CVD. يعمل التحكم الدقيق في تدفق الغاز، وتجانس درجة الحرارة داخل منطقة التسخين التي تبلغ 400 مم، وأوقات الدورات السريعة على تحسين إنتاجية وجودة تخليق المواد النانوية بشكل كبير.
• إغلاق قوي للتفريغ والجو: يتميز الجهاز بحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع أختام O-ring مزدوجة وضغط ملولب، مما يحافظ على سلامة التفريغ العالي. وهو يدعم مستويات تفريغ تصل إلى 10^-5 تور (مع مضخة جزيئية)، مما يجعله مناسباً للعمليات الحساسة للأكسجين والتحكم في الغلاف الجوي عالي النقاء.
• تحكم مزدوج في درجة الحرارة PID: يستخدم نظام الإدارة الحرارية جهازي تحكم PID آليين مع 50 قطاعاً قابلاً للبرمجة. وهذا يضمن دقة ±1 درجة مئوية ويمنع تجاوز درجة الحرارة، مما يحمي العينات الحساسة ويضمن تكرار النتائج التجريبية عبر أوقات مكوث ومعدلات منحدر مختلفة.
• حماية شاملة للسلامة: ينعكس التميز الهندسي في بروتوكولات السلامة المدمجة، بما في ذلك الحماية من الحرارة الزائدة وتنبيهات كسر المزدوجة الحرارية. يتم التحكم في نطاق الانزلاق الميكانيكي بواسطة مفاتيح حد دقيقة لمنع التداخل في الأجهزة، مما يضمن التشغيل الآمن أثناء الحركات عالية السرعة.
• دعم تكوين الأنبوب المرن: تم تصميم الفرن لاستيعاب مجموعة واسعة من أقطار أنابيب الكوارتز، من 25 مم إلى 100 مم قطر خارجي. تسمح هذه المرونة للباحثين بتوسيع نطاق تجاربهم من اختبارات الجدوى للعينات الصغيرة إلى معالجة الدفعات على نطاق أكبر دون تغيير الوحدة الحرارية الأساسية.
• تسجيل بيانات محسّن واتصال بالكمبيوتر: لتحليل العمليات بالتفصيل، يشتمل الجهاز على منفذ اتصالات كمبيوتر DB9 ووحدة تحكم MTS-02. وهذا يسمح بالمراقبة عن بعد، واكتساب البيانات، وبرمجة الملفات الشخصية المعقدة عبر كمبيوتر متصل، وهو أمر ضروري لتوثيق تكرارات البحث والتطوير.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار هذا الفرن الأنبوبي المنزلق

• موثوقية هندسية مثبتة: تم بناء الفرن لأكثر بيئات البحث والتطوير تطلباً، ويستخدم عناصر تسخين عالية الجودة ونظام سكة آلية معزز، مما يضمن آلاف الدورات دون تدهور في الدقة أو الأداء.
• خفة حركة حرارية فائقة: على عكس الأفران الأنبوبية القياسية التي تعتمد على تبريد الحمل الحراري الطبيعي البطيء، يوفر تصميم الانزلاق لهذا النظام الصدمة الحرارية وقدرات التبريد السريع اللازمة لهندسة المواد المتطورة وأبحاث أشباه الموصلات.
• منطق تحكم متكامل بالكامل: يسمح التكامل السلس بين أجهزة التحكم في درجة الحرارة PID ونظام حركة PLC بوصفات معقدة ومتعددة المراحل كانت ستتطلب خلاف ذلك تدخلاً يدوياً وتخاطر بالخطأ البشري.
• تعدد استخدامات لا مثيل له: من نمو الجرافين بتقنية CVD إلى التلدين الحراري السريع، يدعم الجهاز مجموعة واسعة من الإعدادات التجريبية مع نطاقه الواسع من أقطار الأنابيب وتوافقه مع التفريغ العالي، مما يجعله استثماراً مستقبلياً لأي مختبر.
• الامتثال والدعم العالمي: مع شهادة CE وخيار ترقيات NRTL/CSA، تلبي معداتنا أكثر معايير السلامة صرامة لمؤسسات البحث الدولية والمرافق الصناعية، مدعومة بفريق الدعم الفني المستجيب لدينا.

يرجى الاتصال بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم للحصول على عرض أسعار شامل أو لمناقشة حل حراري مخصص مصمم وفقاً لمتطلبات أبحاثك المحددة.