فرن أنبوبي
فرن أنبوبي مشقوق بثلاث مناطق بطول 24 بوصة مع أنبوب كوارتز اختياري ونظام فلنجة تفريغ للتركيب الحراري للمواد عالية الحرارة
رقم العنصر: TU-34
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
هذا النظام عالي الأداء للمعالجة الحرارية مصمم لأبحاث علوم المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي. يتميز بطول تسخين متخصص يبلغ 24 بوصة مقسّم إلى ثلاث مناطق يتم التحكم بكل منها بشكل مستقل، مما يمنح الباحثين المرونة لإنشاء تدرجات حرارية دقيقة أو الحفاظ على منطقة حرارية متجانسة طويلة بشكل استثنائي. يتيح التصميم المشقوق لجسم الفرن تبريدًا سريعًا وسهولة الوصول إلى أنبوب المعالجة، مما يزيد بشكل كبير من الإنتاجية لعمليات تلدين العينات والانتشار والتلبيد في أجواء غازية مختلفة.
ومع تحسينه للبيئات عالية النقاء، يُستخدم هذا الجهاز على نطاق واسع في تصنيع المواد المتقدمة، مثل MoS2 المطعّم بـ Ta وNb، كما هو موثق في مجلات محكّمة مثل ACS Nano. يدمج النظام تحكم PID متقدمًا قائمًا على معالج دقيق مع عزل عالي الكفاءة لضمان أداء مستقر حتى 1200°م. ومن خلال الجمع بين بنية ميكانيكية متينة وإلكترونيات دقيقة، يُعدّ الجهاز حجر أساس للمختبرات التي تركز على أشباه الموصلات وأبحاث البطاريات وتقنية النانو، ويوفر الموثوقية المطلوبة لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) الحساسة.
صُمم ليدوم في البيئات الصناعية المتطلبة، ويستخدم الجهاز غلافًا فولاذيًا مزدوج الطبقة وعزلًا موفرًا للطاقة من ألياف الألومينا عالية النقاء. يقلل هذا البناء من فقدان الحرارة مع الحفاظ على درجة حرارة سطح خارجية منخفضة لسلامة المشغل. سواءً أُجريت معالجات حرارية روتينية أو عمليات تصنيع متعددة المراحل معقدة، فإن هذا النظام يقدّم الاتساق الحراري والسلامة الجوّية الضروريين لتحقيق نتائج قابلة للتكرار وعالية الجودة في هندسة المواد الحديثة.
الميزات الرئيسية
- إدارة حرارية مستقلة بثلاث مناطق: يُقسَّم طول التسخين الكلي البالغ 24 بوصة إلى ثلاثة مقاطع (6" + 12" + 6")، يزود كل منها بوحدة تحكم مخصصة وحساس حرارة من النوع K، مما يتيح إنشاء تدرجات حرارية متقدمة أو تعظيم منطقة درجة حرارة ثابتة.
- تحكم دقيق بمعالج PID: تستخدم وحدات التحكم المتقدمة المعتمدة من MTE خوارزميات PID ذاتية الضبط للحفاظ على دقة ±1°م عبر كامل نطاق التشغيل، مما يزيل فعليًا تجاوزات درجة الحرارة ويضمن استقرار العملية.
- ملفات حرارية قابلة للبرمجة: يدعم النظام حتى 30 مقطعًا قابلاً للبرمجة لكل منطقة، ما يمكّن المستخدمين من أتمتة دورات التسخين والنقع والتبريد المعقدة المطلوبة لتحولات المواد ودراسات الطور المتخصصة.
- تعددية في الأجواء وإحكام التفريغ: مزود بزوج من فلنجات التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ SS 304 وحلقي O سيليكون عاليي الحرارة، ويمكن للفرن الوصول إلى مستويات تفريغ تبلغ 10E-2 تور باستخدام المضخات الميكانيكية وحتى 10E-5 تور مع أنظمة التوربو الجزيئية.
- عزل حراري متفوق: يستخدم الجزء الداخلي عزلًا موفرًا للطاقة وعالي النقاء من ألياف الألومينا، ما يقلل استهلاك الطاقة ويضمن معدلات تسخين سريعة تصل إلى 20°م في الدقيقة دون الإخلال بالسلامة البنيوية للحجرة.
- تصميم أمان وتبريد معزز: يضمن غلاف فولاذي مزدوج الطبقة مع مروحتَي تبريد مدمجتَين بقاء السطح الخارجي آمنًا للمس حتى أثناء التشغيل الطويل عند درجات حرارة عالية، بينما يوفر الحماية المدمجة من زيادة الحرارة وانقطاع الثرموكبل أمانًا للتشغيل دون مراقبة.
- بنية مفصلية مشقوقة مرنة: صُمم جسم الفرن ليفتح على مفصلة شديدة التحمل، مما يسهل إدخال أو إخراج أنابيب الكوارتز بسرعة ويسمح بتبريد العينات سريعًا بعد العملية، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على بعض الأطوار المادية.
- اتصال رقمي ومراقبة عن بُعد: يتيح منفذ اتصالات RS485 للنظام الارتباط ببرنامج قائم على الحاسوب لتسجيل البيانات في الوقت الفعلي وإدارة الملفات التعريفية والمراقبة عن بُعد، مما يضمن توثيقًا شاملًا لمعايير البحث.
- عناصر تسخين محسّنة: باستخدام عناصر من سبيكة Fe-Cr-Al مطعّمة بالموليبدينوم، يوفر الفرن حرارة إشعاعية متسقة وعمر خدمة أطول حتى عند التشغيل المستمر عند 1100°م.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| تطعيم وتصنيع MoS2 | تصنيع ثاني كبريتيد الموليبدينوم المطعّم بـ Ta وNb لأبحاث التحفيز الكهروكيميائي. | يضمن التحكم عالي الدقة في التدرج تهيئة مثالية لبنية الحواف. |
| انتشار أشباه الموصلات | إدخال مضبوط للمواد المطعِّمة إلى رقائق السيليكون أو الركائز الخزفية. | تتيح استقلالية المناطق الثلاث إدارة دقيقة لضغط البخار الخاص بالمواد المطعِّمة. |
| عمليات CVD/PECVD | نمو الجرافين عالي الجودة أو الأنابيب النانوية الكربونية أو الأغشية الرقيقة عبر الترسيب الكيميائي للبخار. | تحافظ الفلنجات المحكمة بالتفريغ على الجو عالي النقاء المطلوب للترسيب. |
| تلدين العينات | إزالة الإجهاد وتحسين البنية البلورية للعينات المعدنية والخزفية. | يمنع التوزيع الحراري المتجانس الصدمة الحرارية ويضمن نموًا حبيبيًا متسقًا. |
| تلبيد مواد البطاريات | المعالجة عالية الحرارة لمساحيق الكاثود والأنود في غازات خاملة أو تفاعلية. | يضمن تحكم PID القوي نقاء الطور للمواد الكهروكيميائية الحساسة. |
| اختبار التدرج الحراري | اختبار استقرار المواد عبر نطاق من درجات الحرارة في تشغيل واحد. | يتيح تكوين المنطقة 6"-12"-6" ملفات تدرج حادة أو متدرجة. |
| معالجة نقية مع أنابيب كوارتز | معالجة حرارية عالية النقاء باستخدام كتل كوارتز اختيارية لمنع التلوث. | يقلل من تداخل العناصر النزرة أثناء التفاعلات الكيميائية الحساسة. |
| مساحيق المعادن | تلبيد مساحيق المعادن المضغوطة تحت التفريغ أو في أجواء مختزلة. | تمنع قدرة التفريغ العالي الأكسدة وتضمن كثافة الجزء النهائي. |
المواصفات الفنية
| المعلمة | مواصفات سلسلة TU-34 |
|---|---|
| رقم الطراز القياسي | TU-34 |
| أقصى درجة حرارة تسخين | 1200°م (< ساعة واحدة) |
| درجة الحرارة المستمرة | 1100°م |
| معدل التسخين | الحد الأقصى 20°م/دقيقة |
| دقة درجة الحرارة | ± 1 ºم |
| طول منطقة التسخين | الإجمالي: 610 مم (24") / Z1: 152.4 مم (6") - Z2: 304.8 مم (12") - Z3: 152.4 مم (6") |
| منطقة درجة حرارة ثابتة | 260 مم (±1ºم) / 480 مم (±2ºم) |
| عناصر التسخين | سبيكة Fe-Cr-Al مطعّمة بـ Mo |
| الترموكبلات | ثلاثة حساسات حرارة من النوع K |
| متطلبات الجهد | تيار متردد AC 208-240V أحادي الطور، 50/60 هرتز (يتطلب قاطع 30A) |
| استهلاك الطاقة | 5 كيلواط كحد أقصى |
| وحدة تحكم درجة الحرارة | 3 وحدات تحكم PID معتمدة من MTE مع 30 مقطعًا قابلاً للبرمجة |
| إحكام التفريغ | 10E-2 تور (مضخة ميكانيكية) / 10E-5 تور (مضخة توربو) |
| مجموعة الفلنجات القياسية | SS 304 مع حلقتَي O سيليكون مزدوجتين، وصلات سنّية 1/4"، منفذ KF25 |
| بنية الهيكل | فولاذ مزدوج الطبقة مع مروحتَي تبريد |
المتغيرات النموذجية وأبعاد الأنبوب
| عنصر الطراز | أبعاد أنبوب الكوارتز (القطر الخارجي x القطر الداخلي x الطول) | الملحق الموصى به |
|---|---|---|
| TU-34-60 | 60 القطر الخارجي x 55 القطر الداخلي x 1200 الطول (مم) | F-T-block-52 |
| TU-34-80 | 80 القطر الخارجي x 72 القطر الداخلي x 1200 الطول (مم) | F-T-block-70 |
| TU-34-100 | 101 القطر الخارجي x 92 القطر الداخلي x 1200 الطول (مم) | F-T-block-92 |
| TU-34-130 | 130 القطر الخارجي x 122 القطر الداخلي x 1200 الطول (مم) | F-T-block-125 |
لماذا تختار هذا النظام
- مرونة حرارية لا مثيل لها: يتيح التحكم المستقل بثلاث مناطق مرونة غير مسبوقة، مما يمكّن من إنشاء مناطق درجة حرارة متجانسة للغاية للعينات الكبيرة وتدرجات معقدة لدراسات انتقال المواد.
- هندسة وبناء فاخران: تم تصنيعه بمكونات صناعية الدرجة وتصميم أمان مزدوج الهيكل، وقد صُمم هذا الفرن لتحمل متطلبات دورات البحث والتطوير والإنتاج الصناعي المستمرة.
- تحكم متفوق في الأجواء: تضمن فلنجات التفريغ القياسية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ وحلقات O عالية الجودة بيئة محكمة ضد التسرب، وهي ضرورية لتصنيع المواد الحساسة للأكسدة والترسيب الكيميائي للبخار عالي النقاء.
- أداء بحثي مثبت: يحظى هذا النظام بثقة مؤسسات أكاديمية رائدة ومراكز بحث عالمية، وقد استُخدم في دراسات ذات تأثير عالٍ تتعلق بكالكوجينيدات المعادن الانتقالية والمحفيزات الكهروكيميائية المتقدمة.
- تخصيص قابل للتوسع: مع خيارات متعددة لأحجام الأنابيب (من 60 مم إلى 130 مم) وملحقات معيارية متوافقة مثل مقاييس التدفق الكتلي ومحطات التفريغ العالي، يمكن تكييف النظام لتلبية المتطلبات الخاصة بأي مختبر لعلوم المواد.
فريق الهندسة لدينا جاهز للمساعدة في التكوينات المخصصة أو التكامل التقني لاحتياجات المعالجة الحرارية الخاصة بك. تواصل معنا اليوم للحصول على استشارة فنية أو عرض سعر تنافسي.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق عالي الحرارة، بحد أقصى 1200 درجة مئوية، طول تسخين 35.4 بوصة، أنبوب بقطر داخلي 8 بوصات
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق عالي الأداء بمنطقة تسخين بطول 35.4 بوصة وأنبوب بقطر 8 بوصات للمعالجة الحرارية المتقدمة. حقق درجات حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع إدارة مستقلة للمناطق للحصول على تجانس فائق في أجواء الفراغ أو الغاز.
فرن أنبوبي مقسّم ثلاثي المناطق بطول تسخين 36 بوصة، فرن أبحاث مواد عالي الحرارة 1200°م مزود بشفاه تفريغ
فرن أنبوبي مقسّم ثلاثي المناطق مصمم بدقة لمعالجة درجات حرارة عالية حتى 1200°م. يتميز بتحكم PID متقدم لتطبيقات الغلاف الجوي والتفريغ في البحث والتطوير في علوم المواد، مع توفير تجانس حراري استثنائي وأداء موثوق للبيئات المختبرية الصناعية والمؤسسات البحثية.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا 80 مم وحافة تفريغ
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق والمصمم بدقة 1500 درجة مئوية أنبوب ألومينا بقطر 80 مم وأدوات تحكم PID دقيقة. وهو مثالي لأبحاث المواد المتقدمة، وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والمعالجات الحرارية الصناعية التي تتطلب تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة واستقراراً عالياً في التفريغ.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق قابل للفصل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع طول تسخين 18 بوصة وفلانشات تفريغ
حسّن المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق القابل للفصل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية. يتميز بطول تسخين 18 بوصة وتحكم PID دقيق، ويوفر تجانسًا استثنائيًا في درجة الحرارة لأبحاث المواد المتقدمة، والتخمير، والتصليد، وتطبيقات البحث والتطوير الصناعي المحترف عبر مرافق المختبرات العالمية.
فرن أنبوبي عمودي منفصل بثلاث مناطق تسخين لنظام المعالجة الحرارية بالفراغ والغلاف الجوي عالي الحرارة 1700
فرن أنبوبي عمودي منفصل متقدم بثلاث مناطق تسخين ودرجة حرارة 1700°م للتطبيقات الصناعية في البحث والتطوير وعلوم المواد. يتميز هذا النظام الدقيق بتحكم حراري مستقل، وقدرات تفريغ عالٍ، وعزل موفر للطاقة لضمان معالجة مستقرة عند درجات الحرارة العالية ونتائج إخماد سريع للعينات.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بدرجة حرارة عالية 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا بقطر خارجي 50 مم 60 مم 80 مم لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية الصناعية
يتميز هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق عالي الأداء 1700 درجة مئوية بأنابيب ألومينا دقيقة التحكم والتحكم المستقل في التسخين. تم تصميمه للبحوث المتقدمة في المواد، ويقدم توحيدًا حراريًا وثباتًا استثنائيًا للترسيب الكيميائي بالبخار وعمليات المعالجة الحرارية الصناعية المعقدة التي تتحكم فيها الأجواء.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق عالي الحرارة 1700 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا وحواف مبردة بالماء
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المتقدم ثلاثي المناطق عالي الحرارة معالجة حرارية دقيقة تصل إلى 1700 درجة مئوية وتحكماً في الغلاف الجوي. يُعد النظام مثالياً لأبحاث أشباه الموصلات، وعلم المعادن المتقدم، وتلبيد السيراميك، حيث يوفر تجانساً فائقاً عبر وحدات تحكم PID مستقلة لدرجة الحرارة.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1500 درجة مئوية لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية تحت التفريغ والجو المتحكم فيه
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الحرارة (1500 درجة مئوية) معالجة حرارية دقيقة لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات التلبيد الصناعي، ويتميز بهيكل مزدوج الغلاف، ونظام تحكم PID مدمج، وشفاه من الفولاذ المقاوم للصدأ جاهزة للتفريغ لضمان أداء موثوق في المختبرات المتطلبة.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق بقدرة 1600 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا وشفة تفريغ
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق بقدرة 1600 درجة مئوية ملفات تعريف حرارية دقيقة وقدرات تفريغ متقدمة لتخليق المواد المتقدمة والبحث والتطوير، مما يضمن تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة عبر مناطق تسخين مستقلة متعددة مع هيكل قوي لضمان اتساق عالٍ.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بطول تسخين 24 بوصة مع نظام أنبوب كوارتز ذو حواف مفصلية
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الاحترافي ثلاثي المناطق بطول تسخين يبلغ 24 بوصة وحواف مفصلية لسهولة تحميل العينات. تم تحسينه للمعالجة الحرارية حتى 1200 درجة مئوية، ويوفر تجانساً دقيقاً في درجات الحرارة وتوافقاً مع التفريغ الهوائي لأبحاث المواد الصناعية المتقدمة.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق عالي الحرارة لتطبيقات التلبيد وترسيب البخار الكيميائي المتقدمة في علوم المواد
حسّن المعالجة الحرارية مع هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الدقيق الذي يتميز بدرجة حرارة قصوى تبلغ 1700 درجة مئوية وتحكم PID مستقل لتوحيد فائق، مثالي لمعالجة التلدين الفراغي بترسيب البخار الكيميائي وتلبيد المواد في مختبرات البحث والتطوير الصناعي المتقدمة أو مرافق التصنيع واسعة النطاق
فرن أنبوبي منقسم 1250 درجة مئوية مع أنبوب موليت 3 بوصة وفلنجات إغلاق مفرغة للمعالجة الحرارية الدقيقة
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المنقسم بدرجة حرارة 1250 درجة مئوية بأنبوب موليت مقاس 3 بوصات وفلنجات إغلاق مفرغة للبحث والتطوير المتقدم. مصمم لعلوم المواد، ويوفر تحكمًا دقيقًا بنظام PID، وعزلًا عالي النقاء، وأداءً موثوقًا تحت الفراغ أو أجواء الغاز المتحكم فيها. درجة احترافية.
فرن أنابيب عمودي منقسم ثلاثي المناطق 1200 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 4 بوصات وشفاه فراغية من الفولاذ المقاوم للصدأ
يتميز هذا الفرن العمودي ثلاثي المناطق المنقسم بدرجة 1200 مئوية بأنبوب كوارتز مقاس 4 بوصات وشفاه فراغية من الفولاذ المقاوم للصدأ للمعالجة الحرارية عالية الدقة. وهو مثالي لتبريد المواد وتخليقها، ويضمن هذا النظام المتين تسخينًا متجانسًا وإمكانية تحميل العينات بسرعة.
فرن أنبوب غاز الهيدروجين ثلاثي المناطق ب أنبوب سبائك فائقة 82 مم وكاشفات هيدروجين مزدوجة، نظام معالجة المواد عالي الحرارة 1200 درجة مئوية
قم بتحسين أبحاث المواد عالية الحرارة بهذا الفرن الأنبوبي المتقدم لغاز الهيدروجين ثلاثي المناطق، الذي يحتوي على أنبوب من السبائك الفائقة القائمة على النيكل وكاشفات أمان مدمجة لمعالجة آمنة بدرجة 1200 درجة مئوية في التطبيقات الصناعية والبحثية المخبرية المتطلبة، مما يضمن أقصى قدر من الموثوقية والأداء
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بحد أقصى 1200 درجة مئوية، قطر خارجي 6 بوصات مع أنبوب وشفة
قم بتحسين المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الذي يصل إلى 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بسعة قطر خارجي 6 بوصات وتحكم متطور عبر شاشة اللمس. يضمن هذا النظام عالي الدقة توزيعاً موحداً لدرجة الحرارة لأبحاث المواد المتقدمة، وتلدين أشباه الموصلات، وتطبيقات المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي مفرغ من الهواء مقسم بقطر 5 بوصات ودرجة حرارة 1200 درجة مئوية مع منطقة تسخين 12 بوصة ووحدة تحكم PID منفصلة
حقق معالجة حرارية دقيقة باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المفرغ من الهواء والمقسم عالي الأداء بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية. يتميز هذا النظام، الحاصل على شهادة NRTL، بأنبوب كوارتز كبير بقطر 5 بوصات، ومنطقة تسخين بطول 12 بوصة، ووحدة تحكم PID منفصلة، مما يضمن نتائج موثوقة لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات البحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي ثلاثي المناطق بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي من 8.5 إلى 11 بوصة وحواف تفريغ لمعالجة الرقائق الكبيرة
فرن أنبوبي دقيق ثلاثي المناطق بدرجة حرارة 1100 درجة مئوية يتميز بأنابيب كوارتز ضخمة بقطر خارجي من 8.5 إلى 11 بوصة وحواف محكمة الإغلاق. صُمم لمعالجة الرقائق على نطاق واسع وأبحاث المواد المتقدمة مع توفير تجانس حراري فائق وتوافق مع التفريغ العالي لمشاريع البحث والتطوير الصناعية والإنتاج.
فرن أنبوبي مقسم بدرجة حرارة عالية 1600 درجة مئوية مع حواف تفريغ وصمامات اختيارية لأنبوب ألومينا 60 مم أو 80 مم
فرن أنبوبي مقسم عالي الأداء بقدرة 1600 درجة مئوية يتميز بحواف تفريغ وصمامات وتحكم دقيق بنظام PID. تدعم هذه الوحدة الصناعية أنابيب الألومينا مقاس 60 مم أو 80 مم للمعالجة الحرارية في جو محكوم وبيئات معالجة عالية التفريغ لتطبيقات البحث والتطوير في المواد المتقدمة.
فرن أنبوب منقسم عالي الحرارة 1700°م بست مناطق مع أنبوب من الألومينا وشفاه مبردة بالماء
فرن أنبوب منقسم دقيق بست مناطق بقدرة 1700°م، مصمم لأبحاث المواد وتطبيقات الترسيب البخاري الصناعي. يوفر هذا النظام متعدد الاستخدامات تحكمًا مستقلاً في مناطق الحرارة وشفاهًا جاهزة للتفريغ لضمان المعالجة الحرارية المتسقة ومتطلبات تطوير المواد المتقدمة، بما يضمن أقصى أداء.
فرن أنبوب ثلاثي المناطق مع أنبوب كوارتز 11 بوصة أو 15 بوصة ووصلات مفصلية لمعالجة حرارية في جو فراغي
احصل على تجانس حراري فائق مع هذا الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق الذي يتميز بأنابيب كوارتز 11 بوصة أو 15 بوصة لتبييض الرقائق واسعة النطاق وتخليق المواد تحت تحكم فراغي دقيق وتشغيل غطاء موتوريزي لسلامة المختبرات الصناعية.