فرن أنبوبي كوارتز ثلاثي المناطق مع خلاط غاز ثلاثي القنوات ومضخة تفريغ ومقياس تفريغ مضاد للتآكل

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية عالي الأداء هذا لتطبيقات تصنيع المواد المتقدمة وترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD) التي تتطلب تحكماً دقيقاً في الغلاف الجوي. من خلال دمج بنية تسخين ثلاثية المناطق مع مشعب توصيل غاز متطور ومجموعة مراقبة تفريغ، يوفر الجهاز حلاً جاهزاً لمهام البحث والتطوير المعقدة. تكمن قيمته الأساسية في القدرة على إنشاء تدرجات حرارية مخصصة أو مناطق متساوية الحرارة ممتدة، وهي أمور بالغة الأهمية لنمو الأنابيب النانوية والأسلاك النانوية والمواد ثنائية الأبعاد مثل الجرافين.

يستهدف النظام مختبرات البحث والتطوير المتخصصة، ومصنعي أشباه الموصلات، ومراكز علوم المواد الصناعية، ويتفوق في عمليات مثل التطعيم بالانتشار، والتلدين، والمعالجات الحرارية في الغلاف الجوي. يعطي تصميم النظام الأولوية للمرونة، مما يسمح للباحثين بخلط ما يصل إلى ثلاثة غازات أولية بدقة عالية مع الحفاظ على تحكم صارم في الضغوط الداخلية. سواء تم استخدامه لإنتاج أشباه الموصلات على دفعات صغيرة أو لاستكشاف المواد الأكاديمي، يضمن هذا النظام نتائج متسقة وقابلة للتكرار عبر ملفات تعريف درجات حرارة وبيئات كيميائية متنوعة.

تم بناء الجهاز لضمان الموثوقية في الظروف الصعبة، ويتميز بهيكل فولاذي مزدوج الطبقة مع تقنية تبريد هواء متقدمة، مما يضمن بقاء السطح الخارجي آمناً للمس حتى أثناء دورات درجات الحرارة العالية طويلة الأمد. تم اختيار كل مكون، من عزل ألياف الألومينا عالي النقاء إلى مستشعرات التفريغ المضادة للتآكل، لتوفير أقصى قدر من طول العمر والاستقرار التشغيلي. يمكن للمستخدمين الاعتماد على هذا الجهاز للحصول على أداء متسق في البيئات الكيميائية القاسية، مما يجعله حجر الزاوية للمختبرات التي تركز على الجيل القادم من علوم المواد.

الميزات الرئيسية

• تسخين ثلاثي المناطق يتم التحكم فيه بشكل مستقل: يتميز النظام بثلاث مناطق تسخين متميزة يمكن برمجتها بشكل مستقل، مما يسمح بإنشاء تدرجات حرارية دقيقة أو منطقة متساوية الحرارة طويلة بشكل استثنائي تصل إلى 25 بوصة، مما يضمن معالجة حرارية موحدة للعينات الكبيرة أو المتعددة.
• خلط غاز ثلاثي القنوات مدمج: تشتمل عربة توصيل الغاز المتنقلة على ثلاثة مقاييس تدفق مدمجة للقراءة المباشرة وأربعة مقاييس ضغط، مما يتيح المراقبة المتزامنة والخلط الدقيق لما يصل إلى ثلاثة غازات مختلفة لعمليات CVD المعقدة أو عمليات الغلاف الجوي التفاعلي.
• مراقبة تفريغ مضادة للتآكل: مجهز بمقياس غشاء سعوي (Pirani) يتميز برأس مستشعر مطلي بالسيراميك، يوفر النظام قياسات دقيقة للتفريغ حتى عند وجود غازات عدوانية أو أكالة، مما يطيل عمر أجهزة المراقبة بشكل كبير.
• أتمتة PID متقدمة: تستخدم وحدات التحكم في درجة الحرارة الثلاث الدقيقة تحكم PID تلقائي مع 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة، مما يسمح بإدارة دقيقة لمعدلات التسخين، ومعدلات التبريد، وأوقات المكوث بدقة ±1 درجة مئوية.
• بيئة تفاعل كوارتز عالية النقاء: يوفر أنبوب الكوارتز المنصهر بقطر 80 مم مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية وخمولاً كيميائياً، مما يعمل كغرفة تفاعل خالية من التلوث وهو أمر ضروري للحفاظ على سلامة تصنيع المواد عالية النقاء.
• تصميم غرفة قابل للفصل: يتميز غلاف الفرن ببنية غطاء قابلة للفصل، مما يسهل التبريد السريع بعد المعالجة ويسمح بالتركيب أو الاستبدال السهل لأنبوب التفاعل دون تفكيك مجموعة التسخين بأكملها.
• مجموعة أمان شاملة: تشمل آليات الحماية المدمجة إنذارات الحرارة الزائدة، واكتشاف المزدوجات الحرارية المكسورة، وقطع التيار عند تجاوز درجة الحرارة، مما يتيح التشغيل الآمن وغير المراقب أثناء دورات الحرارة طويلة المدى.
• أداء تفريغ قوي: تسمح مضخة التفريغ الدوارة المضمنة بقدرة 120 لتر/دقيقة، إلى جانب حواف وصمامات التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، للنظام بالوصول إلى مستويات تفريغ تصل إلى 10^-2 تور والحفاظ عليها، مع استقرار على مدار 24 ساعة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار هذا النظام

• تعدد استخدامات حراري لا مثيل له: يتيح التنظيم المستقل للمناطق الثلاث للباحثين محاكاة ملفات تعريف حرارية صناعية معقدة أو الحفاظ على تجانس في درجات الحرارة متفوق بشكل كبير مقارنة بالأفران أحادية المنطقة القياسية.
• تكامل جاهز للتشغيل: على عكس الإعدادات النمطية التي تتطلب تجميعاً مكثفاً، يصل هذا النظام كحزمة كاملة ومختبرة—بما في ذلك محطة خلط الغاز، ومضخة التفريغ، والحواف عالية الاستقرار—مما يقلل بشكل كبير من وقت التشغيل.
• سلامة فائقة للمواد: من خلال استخدام غرفة تفاعل كوارتز عالية النقاء ومستشعر تفريغ متخصص مضاد للتآكل، يحمي النظام كلاً من عيناتك التجريبية وأجهزة المعدات من التدهور الذي تسببه غالباً الأبخرة الكيميائية التفاعلية.
• الدقة والقابلية للتكرار: يضمن الجمع بين وحدات تحكم PID المتقدمة وملفات تعريف درجة الحرارة المعايرة وفقاً لـ NIST تنفيذ كل دورة حرارية بدقة متناهية، وهو عامل حاسم للأبحاث التي يراجعها النظراء ومراقبة الجودة الصناعية.
• قابلية التوسع للمستقبل: مع خيارات للتحكم القائم على الكمبيوتر عبر LabView، وحوامل العينات المنزلقة، وتكامل مراقبة الأكسجين، يمكن ترقية الوحدة لتلبية متطلبات البحث المتطورة مع زيادة تعقيد المشاريع.

فريقنا الهندسي مستعد للمساعدة في التحقق الفني من متطلبات عمليتك—اتصل بنا اليوم للحصول على عرض أسعار مفصل أو لمناقشة تكوين مخصص لاحتياجات علوم المواد الخاصة بك.