جهاز CVD
فرن أنبوبي لترسيب البخار الكيميائي بغرفة مقسمة مع محطة تفريغ لنظام ترسيب البخار الكيميائي
رقم العنصر: TU-CVD02
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
تم تصميم نظام ترسيب البخار الكيميائي بغرفة مقسمة عالي الأداء هذا لتخليق المواد المتطورة وأبحاث الأغشية الرقيقة في بيئات المختبرات المتقدمة. من خلال دمج فرن أنبوبي عالي الحرارة مع مشعب دقيق للتحكم في توصيل الغاز ومحطة تفريغ قوية، يوفر الجهاز حلاً شاملاً للمختبرات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في الظروف الحرارية والجوية. تم تصميم هيكل الإطار المقسم خصيصًا لتسهيل الوصول إلى أنابيب التفاعل والركائز، مما يقلل بشكل كبير من وقت التوقف بين دورات التجارب مع السماح ببروتوكولات تبريد سريعة ضرورية لبعض الهياكل البلورية للمواد.
يستخدم هذا النظام بشكل أساسي في تصنيع أشباه الموصلات، وتكنولوجيا النانو، والسيراميك المتقدم، ويدعم مجموعة متنوعة من العمليات بما في ذلك نمو الجرافين، وتخليق أنابيب الكربون النانوية، وطلاءات الأغشية الرقيقة المختلفة. يسمح التصميم متعدد الاستخدامات باستيعاب مواد أولية وغازات حاملة متنوعة، مما يجعله أداة أساسية لمراكز البحث والمؤسسات الصناعية للبحث والتطوير التي تركز على الجيل القادم من المواد الإلكترونية والبصرية. سواء كان الأمر يتعلق بالتشغيل الروتيني أو تسلسلات ترسيب البخار الكيميائي المعقدة متعددة المراحل، يحافظ الجهاز على بيئة مستقرة لضمان نتائج قابلة للتكرار في كل دفعة، مع الالتزام بأشد المعايير الصناعية.
تم بناء هذا النظام الفرن بمكونات صناعية مع التركيز على الموثوقية طويلة الأجل، ويتفوق في دورات التشغيل المستمر المتطلبة. يضمن الجمع بين العزل الليفي من الألومينا عالي النقاء وعناصر التسخين الملفوفة بدقة كفاءة حرارية فائقة وتوحيد درجة الحرارة. يمكن للمستخدمين الاعتماد على بروتوكولات السلامة المتكاملة، مثل الحماية التلقائية من درجة الحرارة الزائدة واكتشاف فشل المزدوجات الحرارية، لحماية العينات الحساسة والحفاظ على سلامة التشغيل في بيئات المختبرات عالية المخاطر. يمثل هذا الجهاز استثمارًا متميزًا للمرافق التي تعطي الأولوية للدقة والمتانة والاتساق التشغيلي.
الميزات الرئيسية
- تعزيز توهج التردد الراديوي: يستخدم هذا النظام تقنية توهج التردد الراديوي الاختيارية لزيادة معدل ترسيب الفيلم بشكل كبير، ليصل إلى 10 أنجستروم/ثانية. هذه القدرة ضرورية للإنتاج عالي الإنتاجية والنماذج الأولية السريعة في مجالات البحث التنافسية.
- توحيد ممتاز للمساحة الكبيرة: من خلال دمج تقنية تغذية التردد الراديوي متعددة النقاط المتقدمة وتوزيع مسار الغاز المتخصص، يضمن الفرن توحيد الفيلم أفضل من 8%. هذا المستوى من الاتساق حيوي لإنشاء طلاءات عالية الجودة عبر ركائز كبيرة.
- آلية انزلاق الغرفة المقسمة: يتميز جسم الفرن بنظام انزلاق متخصص يسمح بتحريك الغرفة على طول السكة. هذا يتيح التبريد السريع لأنبوب العملية ويسهل المراقبة البديهية لعينات التفاعل دون إزعاج ختم التفريغ.
- تحكم دقيق في تدفق الكتلة: الجهاز مجهز بوحدة تحكم في الغاز MFC بأربع قنوات، توفر تنظيمًا رقميًا لغازات المصدر مثل CH4 و H2 و O2 و N2. مع خطية ±0.5% من المقياس الكامل وتكرار ±0.2% من المقياس الكامل، فإنه يضمن التكافؤ الدقيق المطلوب للتخليق عالي النقاء.
- واجهة تحكم PID ذكية: يستخدم جهاز تحكم بشاشة لمس TFT عالية الأداء مقاس 7 بوصات آلية تغذية راجعة سلبية مغلقة. يضمن هذا النظام دقة درجة حرارة ±1 درجة مئوية ويسمح بالبرمجة المعقدة لشرائح التسخين والنقع والتبريد.
- التوافق مع التفريغ العالي: تتميز محطة التفريغ المتكاملة بمضخة دوارة قياسية بمعدل تدفق 4 لتر/ثانية قادرة على الوصول إلى 10 باسكال، مع ترقية اختيارية لمضخة توربينية جزيئية تحقق ضغوط تفريغ عالية تبلغ 6 × 10^-5 باسكال لبيئات الترسيب فائقة النقاء.
- عناصر تسخين صناعية: باستخدام ملفات سلكية من Cr2Al2Mo2 مغمورة في ألياف ألومينا مستوردة من اليابان عالية النقاء، يوفر النظام درجة حرارة عمل قصوى تبلغ 1200 درجة مئوية مع استعادة حرارية ممتازة وكفاءة في استخدام الطاقة.
- هيكل سلامة قوي: يشمل الجهاز إنذارات مدمجة ضد التيار الزائد ودرجة الحرارة الزائدة التي تفصل الطاقة تلقائيًا لمنع التلف. كما يتميز بوظيفة استئناف التشغيل بعد انقطاع التيار الكهربائي، مما يسمح للنظام باستئناف برامج التسخين بمجرد استعادة الطاقة.
- تصميم شفة متعدد الاستخدامات: توفر شفة التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع أختام سيليكون مزدوجة الحلقة بيئة مانعة للتسرب. تم تصميم هذه الشفاه بمنافذ قابلة للتكيف لاستيعاب مقاييس التفريغ أو أجهزة الاستشعار أو مداخل المواد الأولية الإضافية المختلفة.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| تخليق الجرافين | تنظيم دقيق لغازات مصدر الكربون (CH4) وغازات الحمل (H2، Ar) عند درجات حرارة عالية. | ينتج أفلام جرافين أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات عالية الجودة وواسعة النطاق. |
| نمو الأسلاك النانوية | نمو متحكم فيه لأسلاك أشباه الموصلات النانوية باستخدام تقنية البخار-السائل-الصلب (VLS) تحت التفريغ العالي. | تحكم استثنائي في قطر الأسلاك النانوية والتوجه البلوري. |
| طلاء الأغشية الرقيقة | ترسيب أغشية معدنية وسيراميكية ومركبة على ركائز مختلفة عبر التفاعل الكيميائي. | خصائص سطح محسنة بما في ذلك الصلابة ومقاومة التآكل والتوصيل. |
| معالجة مواد البطاريات | تلبيد وتجفيف مواد الكاثود/الأنود تحت أجواء واقية. | يمنع الأكسدة ويحسن الاستقرار الكهروكيميائي لمكونات البطارية. |
| إنتاج أنابيب الكربون النانوية (CNT) | التحلل الحراري للسلائف الهيدروكربونية فوق المحفزات المعدنية. | يسهل نمو غابات أنابيب الكربون النانوية المتوازية عموديًا بكثافة عالية. |
| تطعيم أشباه الموصلات | إدخال شوائب في رقائق أشباه الموصلات من خلال الانتشار بدرجة حرارة عالية. | تحكم دقيق في الخصائص الكهربائية وأعماق الوصلات في الأجهزة القائمة على السيليكون. |
| المعالجة الحرارية الجوية | تلدين وتقسية أجزاء الفولاذ المتخصصة أو السيراميك في بيئات مختزلة. | يزيل إزالة الكربنة السطحية ويضمن صلابة موحدة للمواد. |
| أبحاث المواد ثنائية الأبعاد | تخليق ثنائيات الكالكوجينيد المعدنية الانتقالية (TMDCs) باستخدام نقل الطور البخاري. | يمكّن من تصنيع أجهزة استشعار إلكترونية وبصرية عالية الحركة. |
المواصفات الفنية
| المعلمة | تفاصيل مواصفات TU-CVD02 |
|---|---|
| الحد الأقصى لدرجة الحرارة | 1200 درجة مئوية |
| درجة حرارة العمل الثابتة | 1100 درجة مئوية |
| مادة الأنبوب | كوارتز عالي النقاء |
| قطر الأنبوب | 60 مم |
| طول منطقة التسخين | 1 × 450 مم |
| مادة الغرفة | ألياف ألومينا مستوردة من اليابان |
| عنصر التسخين | ملف سلكي من Cr2Al2Mo2 |
| معدل التسخين | 0-20 درجة مئوية/دقيقة |
| المزدوج الحراري | مدمج من النوع K |
| التحكم في درجة الحرارة | رقمي PID / شاشة لمس 7 بوصات |
| دقة التحكم | ±1 درجة مئوية |
| مسافة الانزلاق | 600 مم |
| قنوات غاز MFC | 4 قنوات (CH4، H2، O2، N2) |
| معدلات تدفق MFC | MFC1: 0-5SCCM؛ MFC2: 0-20SCCM؛ MFC3: 0-100SCCM؛ MFC4: 0-500SCCM |
| دقة MFC | الخطية ±0.5% من المقياس الكامل؛ التكرار ±0.2% من المقياس الكامل |
| الحد الأقصى لضغط التشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة التفريغ القياسية | مضخة دوارة، معدل تدفق 4 لتر/ثانية، حد 10 باسكال |
| وحدة التفريغ العالي (اختياري) | مضخة دوارة + جزيئية، حد 6 × 10^-5 باسكال |
| منفذ التفريغ | KF25 |
| وظائف السلامة | إنذارات درجة الحرارة الزائدة/التيار الزائد، اكتشاف فشل TC، استئناف بعد انقطاع التيار الكهربائي |
تشمل الحزمة القياسية:
- فرن بغرفة مقسمة (وحدة أساسية TU-CVD02)
- أنبوب كوارتز عالي النقاء
- شفاه تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ (زوج)
- كتل حرارية لأنبوب الألومينا
- مشعب تحكم دقيق في الغاز (MFC بأربع قنوات)
- محطة مضخة تفريغ
- قفازات أمان مقاومة للحرارة
- دليل تشغيل شامل
لماذا تختار هذا المنتج
- اتساق هندسي دقيق: تم تصميم هذا النظام بمكونات متقدمة من فئة أشباه الموصلات، ويحد من انحراف الركيزة إلى الركيزة إلى أقل من 2%، مما يضمن أن نتائج بحثك قابلة للتكرار وقابلة للتطوير للتطبيقات الصناعية.
- كفاءة مختبر محسنة: يسمح تصميم الغرفة المقسمة ونظام السكة المنزلقة بالدورة الحرارية السريعة. من خلال تبريد العينات بسرعة بعد الترسيب، يمكن للباحثين إكمال المزيد من دورات التجارب في نوبة عمل واحدة مقارنة بالأفران التقليدية ذات الغرف الثابتة.
- سلامة قوية والامتثال: تم تجهيز كل وحدة ببروتوكولات سلامة متعددة الطبقات، بما في ذلك إيقاف التشغيل التلقائي أثناء أحداث درجة الحرارة الزائدة ومراقبة المزدوجات الحرارية المتقدمة، مما يوفر راحة البال أثناء التشغيل طوال الليل أو لفترات طويلة.
- تكوينات غاز وتفريغ قابلة للتخصيص: ندرك أن كل مشروع بحث وتطوير فريد. تسمح لوحة الغاز المعيارية ومنافذ التفريغ للنظام بالترقيات السهلة، مثل إضافة مستشعرات الغازات السامة، أو قنوات MFC إضافية، أو محطات تفريغ فائقة السرعة.
- إدارة حرارية فائقة: يؤدي استخدام عزل ألياف الألومينا المستوردة من اليابان الممتازة إلى غرفة ذات كتلة حرارية منخفضة تتفاعل بسرعة مع تغيرات درجة الحرارة مع الحفاظ على برودة الغلاف الخارجي وكفاءة الطاقة.
يضمن التزامنا بالتميز الهندسي أن يكون هذا الجهاز أصلًا موثوقًا به وطويل الأجل لمنشأتك. اتصل بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم لمناقشة متطلبات عمليتك المحددة أو لطلب عرض أسعار مخصص لتطبيق البحث الخاص بك.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي مقسم بست مناطق مع أنبوب ألومينا وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية وترسيب البخار الكيميائي (CVD)
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الست مناطق والذي يعمل بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية تحكماً حرارياً استثنائياً للبحوث المختبرية المهنية وتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ذات الحرارة العالية. يتميز بأنبوب ألومينا بطول 1800 مم ووحدات تحكم PID دقيقة مكونة من 30 شريحة لضمان نتائج معالجة وتلدين متسقة للمواد.
فرن أنبوبي منقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والمعالجة الحرارية في جو مفرغ
فرن أنبوبي منقسم عالي الأداء بقدرة 1200 درجة مئوية مصمم بدقة لأبحاث الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والتلبيد في جو متحكم فيه، والتلدين تحت الفراغ. يتميز بنظام تحكم PID متطور، وعزل من ألياف الألومينا اليابانية الموفرة للطاقة، وتصميم منقسم للتبريد السريع، مما يجعله مثالياً للبحث والتطوير الصناعي ومختبرات المواد المتقدمة.
فرن أنبوب كوارتز رأسي منقسم ومدمج مع حواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ للتبريد الحراري السريع ومعالجة المواد في جو متحكم فيه
صُمم هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المنقسم والمدمج للبحوث عالية الدقة، ويوفر تسخيناً سريعاً يصل إلى 1100 درجة مئوية. يتميز بحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ وتحكم قابل للبرمجة بـ 30 مرحلة، مما يجعله أداة أساسية لعلوم المواد وتطبيقات التبريد الصناعي. أداء موثوق.
فرن أنبوبي مقسم ثنائي المنطقة عالي الحرارة لتطبيقات تلبيد الغلاف الجوي المتقدمة وترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت التفريغ
عزز أبحاث المواد الخاصة بك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثنائي المنطقة عالي الدقة بدرجة حرارة 1400 مئوية. يتميز بالتحكم المستقل في درجة الحرارة، وقدرات تلبيد الغلاف الجوي، والاستقرار الحراري الفائق، مما يجعله الحل الأمثل لتجارب ترسيب البخار الكيميائي (CVD) المتقدمة ومشاريع المعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي مقسم بمنطقتين حراريتين بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية مع حافة تفريغ وأنبوب ألومينا 80 مم
فرن أنبوبي مقسم عالي الأداء بمنطقتين حراريتين يصل إلى 1500 درجة مئوية، يتميز بأنبوب ألومينا 80 مم، وعناصر تسخين من كربيد السيليكون (SiC)، وتحكم دقيق بنظام PID. مثالي لأبحاث وتطوير المواد، والترسيب الكيميائي للبخار، والمعالجة الحرارية مع إمكانيات العمل تحت التفريغ والأجواء المتعددة لتطبيقات أبحاث المختبرات الصناعية المتقدمة.
فرن أنبوبي رأسي منفصل بمنطقتين حتى 1100°م مع أنبوب كوارتز 4 بوصة وحواف إغلاق بالتفريغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المنفصل بمنطقتين حتى 1100°م بأنبوب كوارتز مقاس 4 بوصات وحواف إغلاق بالتفريغ. صُمم لتطبيقات CVD وPVD، ويوفر هذا النظام عالي الدقة تجانسًا حراريًا استثنائيًا لأبحاث وتطوير المختبرات.
فرن أنبوبي مقسم مدمج مع نظام تفريغ (فاكيوم) ومعاير دقيق لدرجة الحرارة
عزز أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المقسم عالي الأداء والمدمج مع نظام تفريغ ومعاير دقيق لدرجة الحرارة. استمتع بتجانس حراري فائق يصل إلى 1200 درجة مئوية للتطبيقات المختبرية الصعبة وعمليات المعالجة الحرارية الصناعية المتقدمة بدقة عالية.
فرن أنبوبي مقسم مدمج مع معاير درجة حرارة قابل للإدخال ونظام تفريغ متكامل
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم المدمج عالي الأداء بنظام تفريغ متكامل ومعاير دقيق لدرجة الحرارة. صُمم لأبحاث المواد عند درجة حرارة 1200 درجة مئوية، ويوفر تجانساً حرارياً استثنائياً، وتحكماً متطوراً بنظام PID، وأداءً قوياً لتطبيقات التسخين الصناعية والمخبرية الصعبة.
فرن أنبوبي عمودي مقسم مع أنبوب كوارتز بقدرة 1200 درجة مئوية وشفرات تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ للمعالجة الحرارية السريعة
عزز كفاءة البحث إلى أقصى حد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي العمودي المقسم بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، المزود بأنبوب كوارتز بقياس 5 بوصة وتحكم دقيق PID للإخماد السريع والمعالجة بالتفريغ وتصنيع المواد المتقدمة في بيئات المختبرات الصناعية ذات المتطلبات العالية.
فرن أنبوبي عمودي منفصل بثلاث مناطق تسخين لنظام المعالجة الحرارية بالفراغ والغلاف الجوي عالي الحرارة 1700
فرن أنبوبي عمودي منفصل متقدم بثلاث مناطق تسخين ودرجة حرارة 1700°م للتطبيقات الصناعية في البحث والتطوير وعلوم المواد. يتميز هذا النظام الدقيق بتحكم حراري مستقل، وقدرات تفريغ عالٍ، وعزل موفر للطاقة لضمان معالجة مستقرة عند درجات الحرارة العالية ونتائج إخماد سريع للعينات.
فرن أنبوبي رأسي مشقوق بخمس مناطق، بحد أقصى 1200°م، مع أنبوب كوارتز 4 بوصات وحواف تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الرأسي المشقوق عالي الأداء ذو الخمس مناطق، والمصمم للعمل حتى 1200°م، بخمس مناطق تسخين مستقلة وأنبوب كوارتز بقياس أربع بوصات، مما يوفر تجانسًا استثنائيًا في درجات الحرارة وقدرات تبريد سريع للبحوث المتقدمة في المواد والمعالجة الحرارية الصناعية.
فرن أنبوبي كوارتز ثلاثي المناطق مع خلاط غاز ثلاثي القنوات ومضخة تفريغ ومقياس تفريغ مضاد للتآكل
يوفر نظام الفرن الأنبوبي الكوارتزي ثلاثي المناطق عالي الدقة بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية خلط غاز ثلاثي القنوات مدمج ومراقبة تفريغ مضادة للتآكل لعمليات ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD) وتصنيع المواد في بيئات البحث المختبري المتطلبة وعمليات البحث والتطوير الصناعية.
فرن أنبوب عمودي قابل للفتح 0-1700 درجة مئوية نظام مختبر عالي الحرارة لمعالجة CVD والمعالجة الحرارية الفراغية
مصمم لأبحاث المواد المتقدمة، يتميز هذا الفرن الأنبوبي العمودي القابل للفتح بدرجة حرارة 1700 درجة مئوية بتسخين دقيق ثلاثي المناطق وقدرات تبريد سريع. مثالي لعمليات CVD والتبييض الفراغي، ويوفر موثوقية على مستوى صناعي، وتحكمًا في الغلاف الجوي، ومرونة معيارية لبيئات البحث والتطوير المتطلبة.
فرن أنبوبي مقسم عالي الحرارة 1200 درجة مئوية مع حواف تفريغ مفصلية وأنبوب كوارتز 4 بوصة للبحث المختبري
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية بحواف تفريغ مفصلية وأنبوب كوارتز مقاس أربع بوصات لتحميل العينات بشكل مبسط. صُمم للمعالجة الحرارية الدقيقة، ويوفر تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة وأداء تفريغ ممتاز لتطبيقات علوم المواد المتقدمة والبحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوب مزدوج المنطقة الحرارية ومزدوج الغطاء للترسيب الكيميائي بالبخار CVD عالي الحرارة والتلدين بالفراغ
فرن أنبوب احترافي مزدوج المنطقة الحرارية عالي الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ونظام تحكم PID متقدم للتطبيقات البحثية والصناعية. يوفر هذا النظام معالجة حرارية دقيقة لعمليات CVD والتلدين بالفراغ وتلبيد المواد مع موثوقية لا مثيل لها.
فرن أنبوبي مشقوق بثلاث مناطق بطول 24 بوصة مع أنبوب كوارتز اختياري ونظام فلنجة تفريغ للتركيب الحراري للمواد عالية الحرارة
عزّز أبحاث المواد لديك مع هذا الفرن الأنبوبي المشقوق الفاخر بثلاث مناطق وبطول 24 بوصة. بفضل التحكم المستقل في درجة الحرارة، والتوافق مع أنبوب الكوارتز، والفلنجات المحكمة بالتفريغ، يوفّر معالجة حرارية دقيقة حتى 1200°م للتطبيقات المخبرية والصناعية المتطلبة في البحث والتطوير.
فرن أنبوبي منقسم 1250 درجة مئوية مع أنبوب موليت 3 بوصة وفلنجات إغلاق مفرغة للمعالجة الحرارية الدقيقة
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المنقسم بدرجة حرارة 1250 درجة مئوية بأنبوب موليت مقاس 3 بوصات وفلنجات إغلاق مفرغة للبحث والتطوير المتقدم. مصمم لعلوم المواد، ويوفر تحكمًا دقيقًا بنظام PID، وعزلًا عالي النقاء، وأداءً موثوقًا تحت الفراغ أو أجواء الغاز المتحكم فيها. درجة احترافية.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق بقدرة 1600 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا وشفة تفريغ
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق بقدرة 1600 درجة مئوية ملفات تعريف حرارية دقيقة وقدرات تفريغ متقدمة لتخليق المواد المتقدمة والبحث والتطوير، مما يضمن تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة عبر مناطق تسخين مستقلة متعددة مع هيكل قوي لضمان اتساق عالٍ.
فرن أنبوبي فراغي عالي الحرارة بثلاث مناطق حرارية لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) وتلبيد المواد
يوفر هذا الفرن الأنبوبي عالي الأداء ذو الثلاث مناطق حرارية تحكماً مستقلاً في كل منطقة لتحقيق تدرجات حرارية دقيقة. صُمم خصيصاً لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والتلدين الفراغي، ويتميز بتجانس حراري استثنائي، وبرمجة PID متقدمة، ونظام إغلاق فراغي قوي لأغراض البحث والتطوير الصناعي.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع أنبوب ألومينا 80 مم وحافة تفريغ
يوفر هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق والمصمم بدقة 1500 درجة مئوية أنبوب ألومينا بقطر 80 مم وأدوات تحكم PID دقيقة. وهو مثالي لأبحاث المواد المتقدمة، وعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والمعالجات الحرارية الصناعية التي تتطلب تجانساً استثنائياً في درجات الحرارة واستقراراً عالياً في التفريغ.
