فرن أنبوبي مقسم بست مناطق مع أنبوب ألومينا وحواف تفريغ للهواء للمعالجة الحرارية بدرجة حرارة عالية تصل إلى 1500 درجة مئوية وترسيب البخار الكيميائي (CVD)

نظرة عامة على المنتج

يمثل هذا الفرن الأنبوبي المقسم ذو الست مناطق عالي الأداء قمة الهندسة الحرارية لعلوم المواد الحديثة والبحث والتطوير الصناعي. صُمم هذا النظام ليعمل في درجات حرارة تصل إلى 1500 درجة مئوية، ويوفر للباحثين تحكماً لا مثيل له في البيئات الحرارية، سواء كان المطلب هو منطقة حرارية موحدة تماماً أو تدرج حراري محدد للغاية. من خلال دمج عناصر تسخين متطورة مع تصميم مقسم معياري، تسهل المعدات تحميل وتفريغ العينات بسرعة دون المساس بسلامة الإعدادات التجريبية المعقدة أو وصلات التفريغ الحساسة.

صُممت هذه الوحدة في المقام الأول لتطبيقات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والتلدين، والتلبيد، وتخدم صناعات تتراوح من تصنيع أشباه الموصلات إلى السيراميك المتقدم واختبار مواد الطيران. يسمح تعدد استخدامات التكوين ذو الست مناطق بمحاكاة العمليات الصناعية المعقدة على نطاق مختبري، مما يوفر البيانات اللازمة لتوسيع نطاق الإنتاج. إن قدرته على الحفاظ على تفاوتات دقيقة تحت التفريغ أو الأجواء الخاضعة للتحكم تجعله أداة أساسية للمختبرات التي تدفع حدود سلوك المواد في درجات الحرارة العالية.

الموثوقية هي السمة المميزة لنظام المعالجة الحرارية هذا. تم بناء الفرن بمكونات شديدة التحمل ومواد حرارية من الألومينا عالية النقاء، وهو مصمم للتشغيل المستمر في البيئات الصعبة. تم اختيار كل جانب، بدءاً من قضبان تسخين كربيد السيليكون القوية وصولاً إلى حواف التفريغ المصنعة بدقة، لضمان القابلية للتكرار والمتانة على المدى الطويل. يمكن للمشغلين المضي قدماً في التجارب ذات الدورات الطويلة بثقة كاملة في قدرة النظام على الحفاظ على نقاء الغلاف الجوي والاستقرار الحراري، دورة تلو الأخرى.

الميزات الرئيسية

• تحكم حراري مستقل بست مناطق: تنقسم غرفة التسخين إلى ست مناطق متميزة (12 بوصة + 8 بوصات + 8 بوصات + 8 بوصات + 8 بوصات + 12 بوصة)، تدار كل منها بواسطة وحدة تحكم مخصصة خاصة بها. يتيح هذا التكوين إنشاء تدرجات حرارية مخصصة تصل إلى 100 درجة مئوية/سم أو منطقة درجة حرارة موحدة طويلة بشكل استثنائي تبلغ 800 مم، مما يوفر المرونة لمشاريع بحثية متنوعة.
• أنبوب معالجة من الألومينا عالي النقاء: مجهز بأنبوب ألومينا بدرجة احترافية يبلغ قطره الخارجي 60 مم وطوله 1800 مم، ويوفر النظام مقاومة كيميائية ممتازة وسلامة هيكلية في درجات الحرارة القصوى، مما يضمن بقاء العينات خالية من التلوث أثناء دورات الحرارة العالية.
• أجهزة قياس PID دقيقة: تتميز كل وحدة من وحدات التحكم الرقمي في درجة الحرارة الست بـ 30 شريحة قابلة للبرمجة. وهذا يسمح بالإدارة الدقيقة لمعدلات الارتفاع، وأوقات المكوث، ومراحل التبريد. بدقة تبلغ ±1 درجة مئوية، يوفر النظام الدقة المطلوبة لعمليات أشباه الموصلات والمعادن الحساسة.
• عناصر تسخين متطورة من كربيد السيليكون: باستخدام 48 قضيباً من كربيد السيليكون (SiC) عالي الجودة، يحقق الفرن تسخيناً سريعاً ويحافظ على استقرار درجات الحرارة العالية. تم اختيار هذه العناصر خصيصاً لطول عمرها وكفاءتها في الأجواء المؤكسدة والمحايدة، متفوقة على العناصر المعدنية القياسية في المتانة عند درجات الحرارة العالية.
• قدرة متكاملة على التفريغ والتحكم في الغلاف الجوي: يشتمل النظام على حواف من الفولاذ المقاوم للصدأ محكمة الغلق بالتفريغ مع حلقات O مزدوجة من السيليكون تتحمل درجات الحرارة العالية. وهو قادر على تحقيق مستويات تفريغ تصل إلى 10^-2 تور باستخدام مضخات ميكانيكية وما يصل إلى 10^-5 تور باستخدام الأنظمة الجزيئية، مما يجعله مثالياً للتطبيقات الحساسة للأكسجين.
• هندسة المفصلات المقسمة: يتميز جسم الفرن بتصميم مقسم يفتح طولياً. وهذا يسمح بالوصول السهل إلى أنبوب المعالجة وغرفة التسخين الداخلية، مما يبسط عملية التنظيف ووضع العينات وصيانة عناصر التسخين دون تفكيك نظام توصيل الغاز بالكامل.
• أنظمة أمان شاملة: تضمن الحماية المدمجة من الحرارة الزائدة والمزدوجة الحرارية المكسورة إغلاق المعدات بأمان في حالة فشل المكونات. تنبه الإنذارات المرئية والمسموعة المشغلين إلى انحرافات درجات الحرارة، مما يسمح بالتشغيل دون مراقبة أثناء دورات المكوث الطويلة.
• واجهة اتصال قابلة للتوسيع: يسمح تضمين منفذ اتصال RS485 بدمج الفرن مع وحدات التحكم القائمة على الكمبيوتر الشخصي. وهذا يتيح المراقبة عن بعد، وتسجيل البيانات، وإدارة وصفات المعالجة الحرارية المعقدة من خلال بيئات برمجية مركزية.

التطبيقات

المواصفات الفنية

بالنسبة لفرن سلسلة TU-67، يرجى الرجوع إلى البيانات الفنية الشاملة أدناه. تعكس هذه المواصفات التكوين القياسي المصمم لبيئات المختبرات عالية الأداء.

الطاقة والأداء

أبعاد منطقة التسخين والأنبوب

الأجهزة والتفريغ

ملاحظات التشغيل

• لتشغيل التفريغ، يجب ألا تتجاوز درجة الحرارة 1300 درجة مئوية.
• يجب الحفاظ على معدلات تدفق الغاز أقل من 200 SCCM.
• استخدام منظم ضغط ثنائي المرحلة إلزامي لسلامة أسطوانة الغاز.
• لا تستخدم بوتقات الجرافيت في اتصال مباشر مع أنبوب الألومينا.

لماذا تختار TU-67

• تعدد استخدامات حراري لا مثيل له: توفر البنية ذات الست مناطق لفرن TU-67 لفنيي المختبرات القدرة الفريدة على تخصيص ملفات تعريف حرارية لا يمكن للأفران ذات المنطقة الواحدة تحقيقها ببساطة، مما يجعله الأداة الأكثر مرونة في فئته.
• بناء صناعي شديد التحمل: من خلال استخدام 48 قضيب SiC فردياً وعزل ألومينا عالي الكثافة، صُمم هذا الفرن لطول العمر والحد الأدنى من الصيانة، حتى عند تعرضه لدورات متكررة عند 1500 درجة مئوية.
• الدقة والاستقرار: يضمن دمج المزدوجات الحرارية من النوع S ومنطق PID الدقيق أن بيانات بحثك مدعومة بظروف حرارية مستقرة وقابلة للتكرار، مما يقلل من المتغيرات في التجارب المعقدة.
• تحكم متطور في الغلاف الجوي: سواء كانت عمليتك تتطلب تفريغاً عالياً أو بيئة غاز خامل محددة، يضمن نظام الحواف عالي الجودة بيئة خالية من التسرب للتفاعلات الكيميائية النقية.
• معايير السلامة العالمية: مع شهادة CE القياسية وخيار ترقيات UL أو CSA، تلبي هذه المعدات متطلبات السلامة الصارمة لأهم المؤسسات البحثية الأكاديمية والشركات في جميع أنحاء العالم.

استثمر في نظام حراري ينمو مع احتياجات بحثك. اتصل بنا اليوم للحصول على عرض أسعار لتكوين مخصص أو استشارة فنية لمعرفة كيف يمكن لـ TU-67 تعزيز قدرات معالجة المواد لديك.