فرن أنبوبي منزلق للمعالجة الحرارية السريعة مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصة وتسخين بالأشعة تحت الحمراء حتى 900 درجة مئوية

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام المعالجة الحرارية السريعة (RTP) عالي الأداء هذا لتلبية المتطلبات الصارمة لأبحاث علوم المواد الحديثة والبحث والتطوير الصناعي. من خلال دمج عناصر تسخين الهالوجين بالأشعة تحت الحمراء (IR) عالية الكثافة مع آلية انزلاق محكومة بدقة، يسهل هذا الجهاز إجراء دورات حرارية فائقة السرعة، وهو أمر ضروري لتقنيات التصنيع المتقدمة. تكمن القيمة الأساسية لهذه الوحدة في قدرتها على تحقيق معدلات تسخين قصوى تصل إلى 50 درجة مئوية/ثانية مع الحفاظ على الاستقرار الحراري المطلوب لعمليات نمو الأغشية الرقيقة وعمليات التلدين الدقيقة.

صُمم هذا النظام بشكل أساسي لنمو الجرافين، وأنابيب الكربون النانوية (CNTs)، وخلايا البيروفسكايت الشمسية، ويتفوق في تطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والتلدين الحراري السريع (RTA). تجعله تعددية استخداماته حجر زاوية للمختبرات المتخصصة في أشباه الموصلات، وتكنولوجيا النانو، ومواد الطاقة المتجددة. يوفر الجهاز بيئة محكومة يتم فيها إدارة نقاء الغلاف الجوي والتدرجات الحرارية بدقة جراحية، مما يسمح للباحثين بالانتقال من مراحل التسخين إلى التبريد دون المساس بالسلامة الهيكلية للركيزة.

الموثوقية هي في طليعة تصميم هذا النظام. بفضل هيكله الفولاذي مزدوج الطبقات مع تبريد هوائي مدمج، تم بناء الوحدة لتحمل عمليات درجات الحرارة العالية لفترات طويلة مع الحفاظ على سلامة السطح الخارجي للمشغلين. تم اختيار كل مكون، من أنبوب الكوارتز المصهور عالي النقاء إلى حواف الفراغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، لمتانته وأدائه تحت ظروف الفراغ والضغط المنخفض. وهذا يضمن نتائج متسقة وقابلة للتكرار عبر مئات الدورات، مما يجعله استثماراً يمكن الاعتماد عليه لبيئات البحث عالية الإنتاجية.

الميزات الرئيسية

• تسخين سريع بالأشعة تحت الحمراء (هالوجين): باستخدام ثمانية أنابيب ضوء هالوجين بقدرة 1 كيلوواط، يحقق هذا النظام معدلات تسخين رائدة في الصناعة تصل إلى 50 درجة مئوية/ثانية. وهذا يسمح بقفزات حرارية فورية تقريباً، وهي ضرورية لتقليل انتشار الشوائب وتحقيق أطوار بلورية محددة في الأغشية الرقيقة.
• آلية تبريد انزلاقية آلية: يتم تركيب الفرن على نظام انزلاق بمحرك ثنائي السكة. عند اكتمال برنامج التسخين، تتحرك الوحدة تلقائياً بعيداً عن منطقة العينة بينما توفر المراوح المدمجة تبريداً هوائياً نشطاً، مما يتيح معدلات تبريد تتجاوز 10 درجات مئوية/ثانية للتبريد السريع (Quenching).
• تنظيم حراري متقدم PID: يتميز الجهاز بوحدة تحكم PID آلية متطورة مع 30 مقطعاً قابلاً للبرمجة. وهذا يسمح للمستخدمين بتحديد ملفات تعريف حرارية معقدة، بما في ذلك معدلات الارتفاع المحددة، وأوقات المكوث، وتسلسلات التبريد، وكل ذلك بدقة حرارية تبلغ ±1 درجة مئوية.
• بيئة معالجة من الكوارتز عالي النقاء: تم تصنيع أنبوب المعالجة بقطر خارجي 4 بوصة من كوارتز مصهور عالي النقاء، مما يضمن عدم تلوث العينات. هذا الأنبوب ذو القطر الكبير قادر على تلدين رقائق يصل قطرها إلى 3 بوصات، مما يوفر مساحة واسعة للمعالجة بالدفعات ذات الإنتاجية العالية.
• تكامل شامل للفراغ: مجهز بحواف فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ ومقياس فراغ رقمي، النظام جاهز للاستخدام الفوري في الفراغ العالي أو الغلاف الجوي المحكوم. تعمل الحافة اليمنى من النوع المفصلي على تبسيط تحميل وتفريغ العينات، مما يقلل بشكل كبير من وقت التوقف بين التجارب.
• نظام مراقبة مزدوج المنطقة: يتم استخدام مزدوجتين حراريتين من النوع K؛ إحداهما تدير عناصر التسخين الداخلية للفرن بينما توضع الأخرى مباشرة داخل منطقة العينة. تضمن حلقة التغذية الراجعة المزدوجة هذه أن درجة الحرارة المبلغ عنها هي درجة الحرارة الفعلية التي تتعرض لها المادة.
• بروتوكولات أمان محسنة: يتضمن النظام حماية مدمجة ضد ارتفاع درجة الحرارة وكسر المزدوجة الحرارية. تسمح ميزات الأمان على مستوى الأجهزة هذه بالتشغيل دون مراقبة، مما يوفر راحة البال أثناء دورات التلدين الطويلة أو عمليات CVD المعقدة.
• بنية ميكانيكية قوية: يتم تشغيل طاولة الانزلاق بواسطة محرك تيار مستمر عالي العزم ومدعومة بقضبان فولاذية مطلية بالكروم. يضمن هذا البناء شديد التحمل حركة سلسة وخالية من الاهتزازات، وهو أمر ضروري للحفاظ على محاذاة العينات الحساسة أثناء الانتقالات السريعة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار TU-RT01

• مرونة حرارية فائقة: على عكس الأفران المقاومة التقليدية، يوفر هذا النظام الذي يعمل بالأشعة تحت الحمراء السرعة المطلوبة لتصنيع الهياكل النانوية الحديثة، مما يقلل أوقات المعالجة من ساعات إلى دقائق ويسمح بخصائص مواد فريدة.
• هندسة دقيقة وجودة بناء: من طاولة الانزلاق الآلية إلى الهيكل المبرد مزدوج الطبقات، تم تصميم كل جانب من جوانب هذه الوحدة للموثوقية الصناعية وسلامة المشغل في بيئات المختبرات الصعبة.
• تحكم شامل في العملية: مع اتصال الكمبيوتر المتكامل ومراقبة درجة الحرارة على مستوى العينة، يمكن للباحثين تحقيق مستوى من تسجيل البيانات وتكرار العملية لا يمكن الوصول إليه باستخدام الأفران الأنبوبية القياسية.
• حل فراغ جاهز للاستخدام: يعني تضمين حواف الفولاذ المقاوم للصدأ عالية الجودة، والمقاييس الرقمية، وصمامات الإبرة الدقيقة أن النظام جاهز لتطبيقات الفراغ العالي فور التثبيت.
• تراث مثبت في علوم المواد: تعد بنية الفرن هذه أداة موثقة في نمو المواد المتطورة مثل البيروفسكايت والجرافين، مدعومة بسجل أداء عالمي في مؤسسات بحثية من الدرجة الأولى.

فريقنا الفني جاهز لمساعدتك في تهيئة نظام المعالجة الحرارية السريعة هذا لتلبية متطلبات بحثك المحددة. اتصل بنا اليوم للحصول على استشارة فنية مفصلة أو عرض سعر رسمي.