فرن RTP
فرن أنبوبي للمعالجة الحرارية السريعة (RTP) يعمل بالأشعة تحت الحمراء ثنائي المنطقة مع أنبوب كوارتز بقطر داخلي 4 بوصة وحوامل عينات منزلقة
رقم العنصر: TU-RT28
الشحن: اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
نظرة عامة على المنتج
تم تصميم نظام المعالجة الحرارية السريعة (RTP) عالي الأداء هذا لتطبيقات علوم المواد المتقدمة التي تتطلب منحدرات حرارية شديدة وتحكماً دقيقاً في الغلاف الجوي. من خلال استخدام تقنية التسخين بالأشعة تحت الحمراء (IR) قصيرة الموجة، يسهل الجهاز معدلات تسخين تصل إلى 50 درجة مئوية/ثانية، مما يجعله أداة أساسية للمختبرات التي تركز على تخليق المواد ثنائية الأبعاد، والأغشية الرقيقة فائقة التوصيل، وتلدين أشباه الموصلات. يسمح التكوين ثنائي المنطقة بإدارة مستقلة لدرجة الحرارة عبر منطقتين متميزتين، مما يتيح تفاعلات الطور البخاري المعقدة حيث تكون تدرجات الحرارة حاسمة للنجاح.
صُمم هذا النظام خصيصاً للترسيب البخاري الفيزيائي-الكيميائي الهجين (HPCVD)، ويوفر منصة متطورة للباحثين لتبخير المصادر الصلبة في منطقة واحدة مع الحفاظ على بيئة ترسيب محكومة في المنطقة الثانية. يؤدي تضمين حاملي العينات المنزلقين إلى تحسين الكفاءة التشغيلية بشكل كبير، مما يسمح بالتحميل السريع، والاسترجاع، والتبريد المفاجئ للعينات دون تعطيل التوازن الحراري لقلب الفرن. تمثل هذه الوحدة قفزة كبيرة في إنتاجية المعالجة الحرارية واتساقها لبيئات البحث والتطوير المتطلبة.
بفضل هيكله الفولاذي مزدوج الطبقة ونظام التبريد الهوائي المتكامل، يضمن الجهاز درجة حرارة سطح خارجية آمنة حتى أثناء الدورات عالية الكثافة. تم بناء الموثوقية في كل مكون، بدءاً من أنبوب المعالجة المصنوع من الكوارتز المصهور عالي النقاء وصولاً إلى قضبان الانزلاق المصقولة بدقة. تم بناء هذا الفرن لتحمل قسوة البحث الصناعي المستمر، مما يوفر نتائج متسقة وقابلة للتكرار عبر آلاف ساعات التشغيل في بيئات الفراغ أو الغاز الخامل.
الميزات الرئيسية
- تسخين فائق السرعة بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة: باستخدام ستة عشر أنبوب تسخين هالوجين بقدرة 1.5 كيلو واط، يحقق هذا النظام معدل تسخين أقصى يبلغ 50 درجة مئوية/ثانية. وهذا يسمح بالتلدين الحراري السريع والتحكم الدقيق في تحولات المواد الحركية التي يستحيل تحقيقها باستخدام عناصر التسخين المقاومة القياسية.
- تحكم مستقل ثنائي المنطقة: تتم إدارة منطقتي تسخين بطول 195 مم بواسطة وحدات تحكم SCR منفصلة عالية الدقة. وهذا يتيح إنشاء تدرجات حرارية حادة أو مناطق متساوية الحرارة بشكل مثالي على طول إجمالي قدره 390 مم، مما يوفر أقصى قدر من المرونة لعمليات HPCVD وعمليات نقل البخار.
- نقل العينات المنزلق بدقة: تتميز الوحدة بقضبان انزلاق مزدوجة مصنوعة من الفولاذ المطلي بالكروم، تدعم حاملي عينات. تسمح هذه الآلية للمشغلين بتحريك العينات إلى المنطقة الساخنة في اللحظة المطلوبة للتسخين السريع أو سحبها إلى المنطقة المحيطة للتبريد السريع.
- إدارة متقدمة لدرجة الحرارة PID: تم تجهيز كل منطقة بوحدة تحكم رقمية توفر 30 شريحة قابلة للبرمجة. وهذا يسمح بأتمتة ملفات تعريف التسخين، والمكوث، والتبريد المعقدة بدقة ±1 درجة مئوية، مما يضمن أعلى مستوى من التكرار في نمو الأغشية الرقيقة الحساسة.
- بنية قوية للفراغ والغاز: تم تجهيز الفرن بحواف من الفولاذ المقاوم للصدأ مبردة بالماء، ومنافذ فراغ KF25، وصمامات إبرية لتنظيم الغلاف الجوي بدقة. يمكنه تحقيق مستويات فراغ تصل إلى 10^-4 تور مع مضخة جزيئية، مما يجعله مناسباً للعمليات عالية النقاء الحساسة للأكسجين.
- واجهة وتحكم متكامل عبر الكمبيوتر: يتم تضمين وحدة تحكم MTS-02 كمعيار قياسي، مما يتيح للمستخدمين إدارة ملفات تعريف درجة الحرارة، وتسجيل البيانات في الوقت الفعلي، ومراقبة الأداء الحراري عبر جهاز كمبيوتر. هذا التكامل الرقمي ضروري لبيئات المختبرات الحديثة القائمة على البيانات.
- سلامة وتبريد معزز: يتميز الهيكل الفولاذي مزدوج الطبقة بتبريد هوائي نشط للحفاظ على الغلاف الخارجي أقل من 60 درجة مئوية. تسمح الحماية المدمجة من درجات الحرارة الزائدة وحماية انقطاع المزدوجة الحرارية بالتشغيل دون مراقبة مع راحة بال تامة.
- مسار مواد عالي النقاء: تم تصنيع أنبوب المعالجة من الكوارتز المصهور عالي النقاء، بقطر خارجي 110 مم وقطر داخلي 106 مم. وهذا يوفر بيئة نظيفة لمعالجة المواد مع السماح بالمراقبة البصرية للتفاعل أثناء دورات درجات الحرارة العالية.
التطبيقات
| التطبيق | الوصف | الفائدة الرئيسية |
|---|---|---|
| نمو المواد HPCVD | استخدام منطقة واحدة لتبخير المصدر الصلب والثانية لترسيب الركيزة. | تحكم دقيق في تدفق السلائف ودرجة حرارة النمو. |
| تخليق المواد ثنائية الأبعاد | نمو الجرافين، MoS2، وغيرها من TMDs باستخدام دورات حرارية سريعة. | تحسين حجم الحبيبات وجودة البلورات من خلال التسخين السريع. |
| أبحاث الموصلات الفائقة | معالجة الأغشية الرقيقة فائقة التوصيل والمواد السائبة. | تسهل معدلات التسخين العالية تحولات طورية محددة. |
| التلدين الحراري السريع | معالجة ما بعد الترسيب لرقائق أشباه الموصلات والأغشية الرقيقة. | يقلل من انتشار الشوائب مع تنشيط الخصائص الكهربائية. |
| المعالجة الحرارية الخاطفة | التعرض اللحظي للعينات لدرجات حرارة عالية باستخدام نظام القضبان المنزلقة. | يلتقط الأطوار غير المستقرة من خلال الصدمات الحرارية السريعة. |
| الترسيب البخاري | الترسيب البخاري الكيميائي للطلاءات المتقدمة والطبقات الوظيفية. | تجانس والتصاق ممتاز من خلال ديناميكيات الغاز المحكومة. |
| البحث والتطوير في الطلاء البصري | الاستقرار الحراري للأغشية البصرية الرقيقة متعددة الطبقات. | بيئة حرارية مستقرة تمنع تقشر الطبقات. |
المواصفات الفنية
| المعلمة | تفاصيل المواصفات لـ TU-RT28 |
|---|---|
| مناطق التسخين | منطقتان مستقلتان، 195 مم لكل منهما (390 مم إجمالي) |
| درجة الحرارة القصوى | 900 درجة مئوية (< 10 دقائق)، 800 درجة مئوية (< 30 دقيقة)، 600 درجة مئوية (مستمر) |
| عناصر التسخين | 16 قطعة من أنابيب الهالوجين بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة بقدرة 1.5 كيلو واط (قابلة للاستهلاك) |
| الطاقة الإجمالية | تيار متردد 208-240 فولت أحادي الطور؛ بحد أقصى 24 كيلو واط (مطلوب مصدر 100 أمبير) |
| أقصى معدل تسخين | من درجة حرارة الغرفة إلى 800 درجة مئوية: 50 درجة مئوية/ثانية؛ 800 درجة مئوية إلى 900 درجة مئوية: 10 درجة مئوية/ثانية |
| أقصى معدل تبريد | 117 درجة مئوية/دقيقة (جوي)؛ 60 درجة مئوية/دقيقة (200 ملي تور) |
| أنبوب المعالجة | كوارتز مصهور عالي النقاء: Φ110 (قطر خارجي) × Φ106 (قطر داخلي) × 740 (طول) مم |
| نظام القضبان المنزلقة | قضبان فولاذية مزدوجة مطلية بالكروم، بطول 400 مم مع حاملي عينات |
| التحكم في درجة الحرارة | وحدات تحكم PID مزدوجة، 30 شريحة قابلة للبرمجة، تحكم في الطاقة SCR |
| دقة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية |
| المزدوجة الحرارية | اثنتان من النوع K، قطر 1/4 بوصة × طول 24 بوصة |
| حواف الفراغ | فولاذ مقاوم للصدأ مبرد بالماء؛ اليسار: منفذ 1/4 بوصة؛ اليمين: KF25 مع صمام بوابة |
| مستوى الفراغ | 10^-2 تور (مضخة ميكانيكية)؛ 10^-4 تور (مضخة جزيئية) |
| متطلبات التبريد | تدفق المياه ≥ 10 لتر/دقيقة؛ درجة الحرارة < 25 درجة مئوية؛ الضغط > 25 PSI |
| الاتصال بالكمبيوتر | منفذ RS485 مع وحدة MTS-02؛ متوافق مع LabView |
| الأبعاد | مصمم لطاولة المختبر أو دمج الحامل |
| الامتثال | حاصل على شهادة CE؛ NRTL (UL61010) أو CSA متاح عند الطلب |
لماذا تختار نظام RTP هذا
اختيار هذا الجهاز يعني الاستثمار في منصة مصممة لطليعة علوم المواد. يسمح الجمع بين التسخين بالأشعة تحت الحمراء فائق السرعة والدقة ثنائية المنطقة بسير عمل تجريبي لا يمكن للأفران المقاومة التقليدية استيعابه. يركز هندستنا على تقليل التأخير الحراري وتعظيم الإنتاجية، مما يضمن أن أبحاثك محدودة بخيالك، وليس بأجهزتك.
- سرعة حرارية لا مثيل لها: يسمح معدل التسخين البالغ 50 درجة مئوية/ثانية بالاختبار عالي الإنتاجية واستكشاف مخططات الطور الحساسة لدرجة الحرارة التي تتطلب تبريداً سريعاً.
- هندسة دقيقة لـ HPCVD: على عكس الوحدات أحادية المنطقة، تم تحسين هذا النظام للترسيب البخاري الفيزيائي-الكيميائي الهجين، مما يمنحك القدرة على عزل تبخير المصدر عن ترسيب الركيزة.
- تعدد الاستخدامات التشغيلية: سواء كان التشغيل تحت فراغ عالٍ أو غاز خامل، يوفر النظام أداءً متسقاً. يعد نظام حامل العينات المنزلق ميزة فارقة حاسمة، حيث يقلل من تعرض العينة للتدرجات الحرارية غير المرغوب فيها.
- موثوقية مثبتة: تم بناء هذه الوحدة بمكونات SCR صناعية ممتازة، ومصابيح أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، وكوارتز عالي النقاء، وهي مصممة لعمر خدمة طويل في بيئات البحث والتطوير المتطلبة.
- حلول تحكم قابلة للتطوير: من التشغيل اليدوي إلى التكامل الكامل مع LabView القائم على الكمبيوتر، ينمو النظام مع متطلبات إدارة البيانات في مختبرك.
هذا النظام هو المعيار الذهبي للمعالجة الحرارية السريعة في أبحاث المواد الحديثة. اتصل بفريق المبيعات الفنية لدينا اليوم للحصول على عرض أسعار شامل أو لمناقشة كيف يمكننا تخصيص هذا النظام لمتطلبات الترسيب البخاري أو التلدين الخاصة بك.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
فرن أنبوبي منزلق للمعالجة الحرارية السريعة مع أنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصة وتسخين بالأشعة تحت الحمراء حتى 900 درجة مئوية
قم بتحسين عمليات تصنيع المواد باستخدام فرن المعالجة الحرارية السريعة (RTP) المنزلق الذي يصل إلى 900 درجة مئوية. صُمم هذا الفرن للتسخين السريع بالأشعة تحت الحمراء بمعدل 50 درجة مئوية/ثانية مع تبريد آلي، مما يوفر تحكماً دقيقاً لأبحاث الجرافين، وأنابيب الكربون النانوية، وخلايا البيروفسكايت الشمسية.
فرن أنبوبي عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع حواف انزلاقية وقطر خارجي 50 مم للمعالجة الحرارية السريعة تسخين وتبريد سريع
احقق معالجة حرارية سريعة مع هذا الفرن الأنبوبي الذي تبلغ حرارته القصوى 1500 درجة مئوية ويتميز بحواف انزلاقية يدوية لتسريع التسخين والتبريد. مصمم لأبحاث علوم المواد، يقدم هذا النظام عالي الدقة أداء تفريغ استثنائي ومراقبة ثنائية المتحكم للتطبيقات المخبرية المتطلبة.
فرن أنبوبي منزلق للمعالجة الحرارية السريعة بدرجة حرارة قصوى 900 درجة مئوية مع تسخين سريع بالأشعة تحت الحمراء وأنبوب كوارتز بقطر خارجي 4 بوصات
عزز كفاءة البحث والتطوير إلى أقصى حد مع هذا الفرن الأنبوبي المنزلق للمعالجة الحرارية السريعة بدرجة حرارة 900 درجة مئوية، الذي يتميز بتسخين سريع بالأشعة تحت الحمراء، ومعدلات ارتفاع درجة الحرارة 50 درجة مئوية في الثانية، وتبريد آلي لنمو الجرافين، وتصنيع الأنابيب النانوية الكربونية، وتبريد متقدم لرقائق أشباه الموصلات في ظروف الفراغ أو الغلاف الجوي.
فرن أنبوبي مزدوج المنطقة، ممتد، عالي الحرارة، لأبحاث المواد والمعالجة الحرارية الصناعية
عزّز أبحاث المواد لديك باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الممتد مزدوج المنطقة عالي الأداء. بفضل عناصر Swedish Kanthal A1 والتحكم المتقدم PID، يضمن تجانسًا حراريًا استثنائيًا يصل إلى 1200°C لتطبيقات المعالجة في المختبرات والبحث والتطوير الصناعية المتطلبة في الهندسة الحديثة.
فرن أنبوبي ذو منطقة تسخين مزدوجة وسريعة مع نظام فراغ وجو عالي الحرارة
يوفر هذا الفرن الأنبوبي عالي الأداء ذو منطقة التسخين المزدوجة والسريعة درجة حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع معدلات رفع حرارة سريعة تصل إلى 100 درجة مئوية في الدقيقة، وتحكم دقيق بنظام PID، وقدرات جو فراغي لأبحاث المواد المتقدمة وعمليات التلبيد والترسيب الكيميائي للبخار.
فرن أنبوبي ممتد ذو منطقتين حراريتين للمعالجة الحرارية الصناعية وأبحاث علوم المواد
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الممتد ذو المنطقتين الحراريتين بعناصر تسخين سويدية من نوع Kanthal A1 ونظام تحكم PID متطور لأبحاث المواد الدقيقة. مع خيارات التفريغ والجو الخامل، يوفر الفرن تجانساً حرارياً فائقاً وموثوقية عالية لتطبيقات المعالجة الحرارية في المختبرات الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي دوار ذو منطقتين حراريتين لطلاء المساحيق بالترسيب الكيميائي للبخار (CVD) وتصنيع مواد النواة والقشرة (1100 درجة مئوية)
حسّن معالجة المساحيق باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار عالي الأداء ذي المنطقتين الحراريتين والذي يعمل حتى 1100 درجة مئوية. صُمم خصيصاً لعمليات الطلاء بالترسيب الكيميائي للبخار (CVD) وتصنيع مواد النواة والقشرة، ويتميز بأنبوب كوارتز مقاس 5 بوصات وشفرات خلط لضمان تجانس حراري استثنائي واتساق في إنتاج دفعات المواد.
فرن أنبوبي منزلق آلي للتسخين والتبريد السريع بقطر خارجي 2 بوصة ودرجة حرارة قصوى 1100 درجة مئوية
قم بتحسين أبحاث المواد باستخدام هذا الفرن الأنبوبي المنزلق الآلي عالي الأداء. يوفر هذا النظام الذي يعمل بدرجة حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية تسخيناً وتبريداً فائق السرعة بمعدل 100 درجة مئوية في الدقيقة، مما يضمن معالجة حرارية دقيقة لأشباه الموصلات وتكنولوجيا النانو وتطبيقات البحث والتطوير الصناعية التي تتطلب دورات حرارية سريعة.
فرن أنبوبي ثنائي المناطق 1100 درجة مئوية مع أنبوب كوارتز 11 بوصة وفلانشات تفريغ لمعالجة رقاقات 8 بوصات
تم تصميم هذا الفرن الأنبوبي ثنائي المناطق المتقدم عالي الحرارة بأنبوب كوارتز 11 بوصة ومنطقة تسخين 24 بوصة لتوفير تجانس حراري استثنائي لمعالجة رقاقات 8 بوصات، وتلبيد المواد، ومعدات أبحادة ترسيب البخار الكيميائي المتخصصة للاستخدام الصناعي والمختبري.
فرن أنبوبي دوار مزدوج المنطقة عالي الحرارة 1500 درجة مئوية مع تسخين بكربيد السيليكون لتصنيع المواد المتقدمة
حسّن عمليات المعالجة الحرارية باستخدام هذا الفرن الأنبوبي الدوار عالي الدقة ذي المنطقتين. يتميز بدرجات حرارة قصوى تصل إلى 1500 درجة مئوية وعناصر تسخين متطورة من كربيد السيليكون (SiC)، مما يضمن نتائج موحدة للبحث والتطوير الصناعي، والترسيب الكيميائي للبخار، وتطبيقات علوم المواد المتطورة في المختبرات العالمية.
فرن أنبوبي مزدوج المنطقة عالي الحرارة لأبحاث علوم المواد والمعالجة الحرارية الاحترافية
فرن أنبوبي متطور مزدوج المنطقة مصمم للمعالجة الحرارية الدقيقة للمواد، ويتميز بعناصر تسخين "كانثال" (Kanthal) السويدية ونظام تحكم PID متطور لضمان نتائج متسقة في تطبيقات البحث والتطوير الصناعية والمختبرية الصارمة.
فرن المعالجة الحرارية السريعة (RTP) المدمج والمتحكم في الغلاف الجوي مع أنبوب كوارتز بقطر داخلي 4 بوصة، 1100 درجة مئوية
عزز أبحاث أشباه الموصلات باستخدام فرن المعالجة الحرارية السريعة (RTP) المدمج والمتحكم في الغلاف الجوي. يتميز بأنبوب كوارتز مقاس 4 بوصات وقدرة تصل إلى 1100 درجة مئوية، ويوفر معدل تسخين 50 درجة مئوية/ثانية من أجل التلدين الدقيق، والترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، ومعالجة المواد ذات الإنتاجية العالية.
فرن أنبوبي دوار مائل عالي الحرارة مع تحكم متكامل في تدفق الكتلة وتسخين متعدد المناطق
يوفر هذا الفرن الأنبوبي الدوار المائل عالي الأداء معالجة مستمرة للمواد مع تحكم دقيق في درجة الحرارة وتكامل غازي متعدد القنوات. تم تصميمه للبحث والتطوير الصناعي، ويضمن معالجة حرارية موحدة لتخليق المواد المتقدمة وتطبيقات الاختبار المعدني واسعة النطاق.
فرن أنبوبي مقسم بمنطقتين حراريتين بدرجة حرارة 1500 درجة مئوية مع حافة تفريغ وأنبوب ألومينا 80 مم
فرن أنبوبي مقسم عالي الأداء بمنطقتين حراريتين يصل إلى 1500 درجة مئوية، يتميز بأنبوب ألومينا 80 مم، وعناصر تسخين من كربيد السيليكون (SiC)، وتحكم دقيق بنظام PID. مثالي لأبحاث وتطوير المواد، والترسيب الكيميائي للبخار، والمعالجة الحرارية مع إمكانيات العمل تحت التفريغ والأجواء المتعددة لتطبيقات أبحاث المختبرات الصناعية المتقدمة.
فرن أنبوب مزدوج المنطقة الحرارية ومزدوج الغطاء للترسيب الكيميائي بالبخار CVD عالي الحرارة والتلدين بالفراغ
فرن أنبوب احترافي مزدوج المنطقة الحرارية عالي الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ونظام تحكم PID متقدم للتطبيقات البحثية والصناعية. يوفر هذا النظام معالجة حرارية دقيقة لعمليات CVD والتلدين بالفراغ وتلبيد المواد مع موثوقية لا مثيل لها.
فرن أنبوبي دوار بحد أقصى 900 درجة مئوية مع أنبوب سبيكة 310S مقاس 8 بوصات وتسخين متعدد المناطق اختياري لتكليس المواد الصناعية
يتميز فرن الأنبوب الدوار المتطور بدرجة حرارة 900 درجة مئوية بأنبوب سبيكة 310S مقاس 8 بوصات وخيار تسخين متعدد المناطق. يوفر هذا النظام الصناعي معالجة حرارية دقيقة لمواد كاثود البطاريات، مما يضمن إنتاجية عالية مع نتائج تكليس متسقة لمختبرات البحث والتطوير والمرافق الصناعية.
فرن أنبوبي دوار مزدوج الحرارة مع دوران دقيق وميل قابل للتعديل لأبحاث المواد المتقدمة
فرن أنبوبي دوار عالي الأداء مزدوج الحرارة يتميز بعناصر تسخين Kanthal A1 ودوران دقيق لمعالجة المواد بشكل موحد. مثالي لتطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والبحث والتطوير التي تتطلب تحكماً حرارياً موثوقاً وميلاً قابلاً للتعديل في بيئات المختبرات الصناعية المتطلبة.
فرن أنبوبي منزلق مزدوج منطقة الحرارة 1200 درجة مئوية لنمو المواد ثنائية الأبعاد وتصنيع TCVD
قم بتحسين تصنيع المواد ثنائية الأبعاد المتقدمة باستخدام نظام الفرن المزدوج هذا الذي يعمل بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية، والذي يتميز بمنطقة تسخين قابلة للانزلاق للتبريد فائق السرعة، وتحكم مستقل في درجة الحرارة PID، ومعالجة كوارتز عالية النقاء مصممة للترسيب الكيميائي الحراري الدقيق للبخار والبحث والتطوير.
فرن أنبوبي مقسم ثلاثي المناطق عالي الحرارة، بحد أقصى 1200 درجة مئوية، طول تسخين 35.4 بوصة، أنبوب بقطر داخلي 8 بوصات
يتميز هذا الفرن الأنبوبي المقسم ثلاثي المناطق عالي الأداء بمنطقة تسخين بطول 35.4 بوصة وأنبوب بقطر 8 بوصات للمعالجة الحرارية المتقدمة. حقق درجات حرارة قصوى تصل إلى 1200 درجة مئوية مع إدارة مستقلة للمناطق للحصول على تجانس فائق في أجواء الفراغ أو الغاز.
فرن أنبوب الكوارتز ثنائي المنطقة بقطر 80 مم ودرجة حرارة قصوى 1200 درجة مئوية، مزود بخلاط غاز ثلاثي القنوات ونظام مضخة تفريغ
يتميز هذا الفرن الأنبوبي الكوارتز المتقدم ثنائي المنطقة بأنبوب بقطر 80 مم، وخلط غاز مدمج ثلاثي القنوات، ونظام تفريغ عالي الأداء. مثالي لأبحاث CVD والمواد، حيث يوفر معالجة حرارية دقيقة بدرجة 1200 درجة مئوية وقدرات مراقبة تفريغ مقاومة للتآكل.