فرن PECVD مدمج بحد أقصى 1200°م مع انزلاق تلقائي، وأنبوب 2 بوصة ومضخة تفريغ

نظرة عامة على المنتج

هذا النظام عالي الأداء للمعالجة الحرارية هو حل مدمج لترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)، صُمم خصيصًا لأبحاث المواد المتقدمة وتطوير الأغشية الرقيقة. ومن خلال دمج مولد بلازما RF قوي مع فرن أنبوبي مقسوم عالي الدقة، يمكّن هذا الجهاز الباحثين من تحقيق جودة أغشية فائقة عند درجات حرارة أقل بكثير من عمليات CVD التقليدية. وتكمن القيمة الأساسية في آلية الانزلاق الفريدة التي تسمح بنقل منطقة التسخين بسرعة إلى موقع العينة، مما يسهّل التعرض الفوري لدرجات حرارة عالية ودورات تبريد متسارعة للتحكم غير المسبوق في البنية المجهرية وتكوّن الأطوار.

صُمم أساسًا للبحث والتطوير في المختبرات وعلوم المواد الصناعية، وهو مثالي لترسيب مجموعة متنوعة من الأغشية، بما في ذلك أكاسيد السيليكون والنتريدات والسيليكون غير المتبلور. وتجعله مرونته حجر أساس للمختبرات المتخصصة في أشباه الموصلات والخلايا الشمسية والنانوتكنولوجيا. كما يتيح حجمه المدمج دمجه بسلاسة في البيئات المختبرية الحالية دون التضحية بقدرات التفريغ العالي ودرجات الحرارة العالية المطلوبة لتخليق المواد بمستوى احترافي.

تعتمد موثوقية هذا الجهاز على تصميمه. فهو مبني بمكونات صناعية عالية الجودة، بما في ذلك مولد RF قوي بتردد 13.56 ميغاهرتز وأنابيب معالجة كوارتز عالية النقاء، ما يوفر أداءً ثابتًا تحت دورات تشغيل مكثفة. كما يضمن دمج شفات تفريغ عالية الإحكام ومضخة تفريغ ثنائية المرحلة بيئة نظيفة ومضبوطة لعمليات ترسيب البخار الكيميائي الحساسة، مما يمنح الباحثين الثقة لتنفيذ بروتوكولات تجريبية معقدة ومتعددة الخطوات بدقة قابلة للتكرار.

الميزات الرئيسية

• آلية انزلاق تلقائي مدمجة: يُثبت الفرن على نظام سكة دقيق شديد التحمل، مما يتيح النقل السريع لمنطقة التسخين. يتيح هذا التصميم الهندسي تسخين العينة وتبريدها بشكل فوري، وهو أمر بالغ الأهمية للتحكم في نمو الحبيبات وتجميد الأطوار شبه المستقرة.
• توليد بلازما RF عالي الكفاءة: مزود بمولد RF بقدرة 300 واط يعمل عند 13.56 ميغاهرتز، ويولّد النظام تفريغًا بلازمياً مستقراً. يتيح ذلك حدوث التفاعلات الكيميائية عند درجات حرارة منخفضة للركيزة، مما يحمي المواد الحساسة للحرارة ويقلل الإجهاد الحراري في الأغشية المترسبة.
• إدارة دقيقة لدرجة الحرارة: يستخدم الجهاز نظام تسخين بقدرة 300 واط يتم التحكم فيه بواسطة متحكم PID رقمي قابل للبرمجة من 30 مقطعًا. ويضمن ذلك دقة ±1°م، ويسمح بتنفيذ ملفات حرارية معقدة، بما في ذلك مراحل الرفع والنقع والتبريد، تلقائيًا.
• سلامة تفريغ فائقة: مع شفات تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 وأختام مزدوجة بحلقتي O، يحقق النظام حالة تفريغ عالٍ تصل إلى 3 × 10E-3 تور. كما يتيح مقياس Pirani الرقمي والصمامات الإبرية عالية الجودة تحكمًا دقيقًا في بيئة المعالجة.
• تصميم فرن مقسوم: صُمم جسم الفرن كوحدة مفصلية مقسومة، مما يسهّل تحميل العينات وتفريغها، والاستبدال السريع لأنبوب المعالجة، والتبريد الطبيعي الأسرع عند عدم استخدام آلية الانزلاق.
• تحكم معزز في التوافق الكيميائي: من خلال ضبط قدرة البلازما ومعدلات تدفق الغاز والضغط، يمكن للمستخدمين ممارسة تحكم دقيق في التركيب الكيميائي وإجهاد الغشاء للمواد المترسبة، مما يجعله أداة مرنة للغاية لتطبيقات الطلاء المتخصصة.
• سلامة قوية والامتثال: النظام حاصل على شهادة CE ويشتمل على ميزات حماية مثل مزيل ضباب الزيت لمضخة التفريغ وخيارات لمراقبة الأكسجين لمنع الأكسدة غير المرغوبة أثناء دورات الترسيب الحساسة.

التطبيقات

المواصفات الفنية

لماذا تختار نظام PECVD هذا

• مرونة حرارية لا مثيل لها: يتيح الجمع بين سكة انزلاق تلقائي والترسيب المعزز بالبلازما نافذة تجريبية أوسع من الأفران القياسية، مع دعم كل من المعالجة الحرارية السريعة والتفاعلات الكيميائية منخفضة الحرارة.
• هندسة دقيقة: تم اختيار كل مكوّن، من مولد RF بتردد 13.56 ميغاهرتز إلى مجموعة التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، لقدرتها على الحفاظ على التفاوتات الصناعية الصارمة خلال التشغيل طويل الأمد.
• تكامل شامل: يصل هذا النظام كحل متكامل يشمل الفرن ومولد البلازما ومضخة التفريغ وأجهزة المراقبة، مما يقلل زمن الإعداد ويضمن توافق المكونات.
• قابل للتوسع والتخصيص: مع خيارات لمحطات خلط غازات متعددة القنوات، وأنظمة تبخير السوائل، والتحكم البرمجي المتقدم، يمكن تخصيص الوحدة لتلبية ميزانيات البحث والمتطلبات التقنية المحددة.
• موثوقية مثبتة: صُمم ليتجاوز معايير المختبر، ويدعمه شبكة خدمة عالمية والتزام بتصنيع عالي الجودة، مما يضمن حماية استثمارك في البحث والتطوير.

تواصل مع فريق المبيعات الفنية لدينا اليوم لطلب عرض سعر أو لمناقشة كيف يمكننا تخصيص نظام PECVD هذا لتلبية متطلبات ترسيب الأغشية الرقيقة الخاصة بك.